对于安装在探针卡上的多个继电器，无须接触探针尖端便可自动地且连续地进行检查。探针卡包括：电路板、探针、连接到所述探针的继电器、继电器控制器、将所述继电器和所述探针连接到检查机的测量通道。所述检查机包括：ＤＣ电源、控制所述继电器控制器的控制用电路板、所述测量通道、连接到所述ＤＣ电源以及电压表的测量电路。所述测量电路包括：具有规定时间常数的电阻、连接到所述测量通道的开关と、该开关将所述测量通道切换连接到所述ＤＣ电源或所述电阻。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术与相关。
技术介绍
近年来，随着半导体设备集成化的进一步发展，通过在一片大直径硅片上制造众多裸片以降低单价，同时在硅片测试工序中采用BIST(Built-in self-tes t)技术、 BOST(Built-out self-test)技术等来提高测试效率和降低成本。相应地，在用于硅片测试工序的探针卡中也需要安装特殊的电路及设备，特别是用于测试内存装置的探针卡需要安装数量众多的继电器(参考专利文献1)。目前有多种方法可用来对探针卡中的继电器驱动进行检查。如果继电器数量少则可用手动方法检查，亦即在检查对象继电器上施加电压以驱动继电器，以此状态在电路上直接接触到便携式测试表，对继电器切换电路动作(导通、不通)进行检查。另外，在使用设备的检查方法中，譬如在继电器控制通道施加电压，用测试端子自动接触到连接对象通道的探针尖端，以检查探针尖端与电路板垫之间电路的切换(导通、 不通)。如探针卡上安装了数量众多的继电器，由于探针卡由主电路板、和安装多个继电器的模块化副电路板所构成，因此过去对主电路板和副电路板分别进行检查。参考文献专利文献专利文献1 (日本)特开平6-151531号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的课题上述以往对继电器的驱动检查存在以下若干问题。例如，如果手动进行检查则检查时间过长，根据探针卡上产品的安装密度有时还无法进行检查。另外，如果用设备进行检查，则只能驱动具有特定电路结构的继电器，并且由于将对应的探针尖端分别进行接触来检查，所以存在检查中导致探针尖端损伤等问题。而且当对于安装多个继电器的探针卡进行继电器驱动检查时只能进行个别检查， 基本上无法在主电路板中组合模块化副电路板的最终状态进行检查，所以无法保证探针卡在安装继电器的状态下保证继电器驱动。为了解决上述以往技术中的课题，本专利技术的目的在于提供无须接触探针尖端并用半导体测试系统的检查机便可对安装到探针卡后的多个继电器，自动地且连续地进行检查的。解决课题的技术方案本专利技术是一种包括探针卡及检查机的半导体测试系统，其特征在于，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、以及将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道；所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1测量通道及所述DC电源的第1电路；所述第1电路包括连接到所述第一测量通道的电压表、具有规定时间常数的第一电阻、连接到所述测量通道的第1切换开关；所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换。本专利技术的一种半导体测试系统还可以具有如下内容所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，在相对于所述第2测量通道的所述第2 继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻；所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2 电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接。本专利技术的一种半导体测试系统还可以具有如下内容所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道，所述第2测量通道中相对于所述第2继电器更靠近所述检查机侧配置有上拉电阻，所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换，所述检查机设置电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述第1、2通道的连接。本专利技术是一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法，其中，所述半导体测试系统包括探针卡和检查机，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、将所述继电器连接到所述探针检查机的第1测量通道；所述检查机包括DC电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第1测量通道和所述DC电源以及电压表的第1电路；所述第1测量电路包括具有规定时间常数的第1电阻以及连接到所述测量通道的第1切换开关，所述DC电源和所述第1电阻连接到所述第1切换开关，而所述第1测量通道则由所述第1切换开关在连接到所述DC电源或者连接到所述第1电阻之间进行切换，其特征在于，将所述第1继电器设为断路状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述第1电阻开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，利用最小二乘法求得放电公式以计算出所述第1继电器断路时的静电容量Coff，在放电结束后，利用所述控制用电路板将所述第 1继电器设为接通状态，介由所述第1切换开关将第1测量通道连接到所述DC电源，在所述第1测量通道和GND之间施加电压对电容充电，充电后，利用所述第1切换开关将所述第 1测量通道连接到所述第1电阻并开始放电，在开始放电的同时开始测量时间，用所述电压表测量规定时间的放电电压并对时间和电压数据进行若干采样，计算出继电器接通时的静电容量Con，计算出所述第1继电器接通时的静电容量Con和断路时的静电容量Coff之差， 以判定所述继电器运行是否良好。并且本专利技术的一种半导体测试系统的继电器驱动检查方法还可以具有如下内容 所述探针卡的电路板上设有连接到第2探针的第2继电器、用于所述第2继电器的继电器控制器、将所述第2继电器和所述第2探针连接到所述检查机的第2测量通道；当相对于所述第2测量通道的所述第2继电器更靠近所述第2探针侧配置有上拉电阻时，由于所述检查机设有第2电路，所述第2电路包括具有规定时间常数的第2电阻、以及连接到所述第 2测量通道的第2切换开关；所述第2电路连接到所述DC电源以及所述电压表，所述DC电源和所述第2电阻连接到所述第2切换开关，而所述测量通道则由所述第2切换开关在连接所述DC电源或者连接所述第2电阻之间切换；所述检查机设置有电路切换开关以及切换控制盘，其中，所述电路切换开关用于在连接所述第1电路和电压表、及连接所述第2电路和所述电压表之间进行切换，所述切换控制盘用于切换所述第1、2电路和所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种半导体测试系统，所述半导体测试系统包括探针卡及检查机，其特征在于，所述探针卡包括设有探针的电路板，所述电路板进一步设有与所述探针相连接的继电器、用于所述继电器的继电器控制器、将所述继电器连接到所述探针检查机的第１测量通道，所述检查机包括ＤＣ电源、控制所述继电器用控制器的控制用电路板、连接到所述第１测量通道和所述ＤＣ电源以及电压表的第１电路，所述第１测量电路包括具有规定时间常数的第１电阻以及连接到所述测量通道的第１切换开关，所述ＤＣ电源和所述第１电阻连接到所述第１切换开关，而所述第１测量通道则由所述第１切换开关在连接到所述ＤＣ电源或者连接到所述第１电阻之间进行切换。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：松野新吾，
申请(专利权)人：日本电子材料株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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