用于传送基板承载器的传送器组件和方法技术

本发明专利技术涉及一种适于在基板加工系统（８００）中使用的传送器组件（１００），所述传送器组件包括：具有基板承载表面（１０９）的至少一个基板承载器（１０８），所述基板承载表面用于支撑至少一个基板；加工轨道；返回轨道；用于沿着加工轨道和返回轨道驱动基板承载器（１０８）的驱动系统；和至少一个旋转单元（５００），所述旋转单元被构造成使基板承载器（１０８）绕大体水平的轴线从第一定向旋转至第二定向，和／或反之亦然。本发明专利技术还提供了一种用于传送基板承载器（１０８）的方法，所述方法包括：提供基板承载器（１０８）；将基板承载器（１０８）设置在第一定向中；沿着第一轨道传送基板承载器（１０８）；和使基板承载器（１０８）绕大体水平的轴线旋转至第二定向。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及适合于用在基板加工系统中的传送器组件，包括具有基板承载表面的至少一个基板承载器，所述基板承载表面用于支撑至少一个基板；加工轨道；返回轨道； 以及用于沿着加工轨道和返回轨道驱动所述至少一个基板承载器的驱动系统。这种传送器组件可以从例如以本专利技术申请人的名义申请的欧洲专利EP 1，365，040 中得知。在基板(特别是易碎基板，例如薄(例如250 μ m或更薄的)玻璃板或半导体晶片)的加工过程中，存在明显的基板碎裂的风险。基板的碎裂例如可能由于加工条件(例如极端温度)而导致，或由于实际处理过程中或加载台(loading station)和卸载台中的基板处理过程中与基板的机械接触而导致。上述类型的传送器系统用于使用基板承载器沿着一个或多个加工台传送基板，所述基板承载器提供用于放置基板的表面。当在加工过程中基板碎裂时，其碎片留在承载器的基板承载表面上。在向承载器再次加载新的基板之前， 需要清除损坏基板的残渣。由于普通基板机械手(handler)依赖于基板的完整性，因此这是一个它们可能无法执行的任务。因此EP 1，365，040中披露的基板处理组件装配有用于将基板残渣从承载器表面真空吸走的特殊台。然而，胡佛吸尘台(hoovering stations)是一种相对复杂、昂贵且相当大的装置， 并且清理干净承载器表面需要相当长时间。本专利技术的目的是提供一种改进的传送器组件， 特别是一种相对紧凑、并能够有效地除去破碎基板的残渣和/或其它残留物的组件。为此，本专利技术提供了上述类型的传送器组件，其特征是它包括旋转单元，所述旋转单元被构造成使基板承载器绕大体水平的轴线从第一定向旋转成第二定向，和/或反之亦然。这种传送器组件允许使基板承载器连同它的基板承载表面倾斜或甚至转动以使得任何不牢固的残留物(例如破碎基板的残渣或由于寄生沉积而产生的沉积废料)从承载器上掉下。从承载器上掉落的材料可收集在设置于旋转单元下面的容器中。如下面将说明的，可以使用相当少的机械部件构成旋转单元，使它成为简单、可靠、可经济加工的装置。由于旋转单元可以快速操作，因此它还适合于与生产能力高于1000个(或更大)晶片/小时的高产量基板加工系统结合使用。在另一个实施例中，传送器组件(例如旋转单元)还可被构造成使基板承载器经历补充平移动作，以将基板承载器从第一定向转换成第二定向。如果需要这样，旋转单元(或组件的不同部分)可在基板承载器上施加摇摆动作， 以便抖掉承载器表面上的任何残留物。它还可包括止动件，可在所述止动件上轻轻敲打承载器，以清除例如由于前面的加工处理而导致稍粘的残渣。可替换的，可以使旋转单元暴露于气体/空气流或震动以使粘性片从承载器上脱离。例如取决于在沿着轨道的特定位置处发生基板破碎的可能性，可将所述旋转单元设置在加工轨道中、返回轨道中、或加工轨道与返回轨道之间。此外，旋转单元可以自动或手动操作。自动操作的旋转单元可以通过以下任意一种方式被启动根据用于检查每个通过的基板承载器的承载器表面的基板破碎传感器(诸如照相机)的输出偶然地启动，或与承载器表面状态的任何指示无关地针对每个通过的承载器而连续地启动。关于本文中使用的术语，应当注意到短语“大体水平”倾向于包含包括小于45度 (特别是20度)的锐角的任何方向，具有垂直于重力方向的平面。同样，短语“大体垂直” 倾向于包含包括在45度与90度之间(特别是70度至90度之间)的锐角的任何方向，具有垂直于重力方向的平面。还应当考虑到加工轨道和返回轨道可能不构成完全分离的轨道， 而是构成例如同一个轨道，或构成部分重合的轨道。根据本专利技术的进一步解释，第一定向对应于基板承载器的大体水平定向的基板承载表面。与第一定向不同的第二定向例如可以通过旋转70度至270度之间的角度的转动动作获得，例如通过旋转90度和270度的角度的转动动作获得。第一定向优选是水平的，对应于从下面支撑一个或多个基板的基板承载器。相反， 第二定向最好选择成使承载表面不再支撑将要处理的残渣，使重力利用残渣的总重量来清除残渣。不同于第一水平的定向，这可以通过使承载器旋转70度至270度之间的角度实现。 假如基板承载器绕设置距离承载表面的侧面很近的轴线旋转，那么旋转约180度的角度可能需要很大的空间。例如，矩形形状的承载器绕与它的一个矩形边重合的轴线进行的180 度旋转(借此该轴线沿承载器的传送方向延伸)，将使传送轨道有效覆盖面积的宽度翻倍。 在大规模生产线中使用的设备优选保持紧凑，因此特别关注覆盖面积的最小化。因此，优选地，通过使承载器旋转70至120度之间的角度(例如，在90-120度范围内的角度，更具体为110度的角度)偏离第一定向而获得第二定向。根据本专利技术的进一步解释，传送器组件可包括两个旋转单元例如设置在加工轨道的终点与返回轨道的起点之间的第一旋转单元；以及例如设置在返回轨道的终点与加工轨道的起点之间的第二旋转单元。这两个旋转单元可以用于执行相反的动作。例如设置在用于将基板从承载器表面卸载的卸载台下游的第一旋转单元可以使承载器从其第一水平姿势旋转至其第二倾斜姿势以去除任何污染物。仍处于其第二姿势中的基板承载器接着沿着返回轨道被运回加工轨道的起点，在起点处它被旋转回其第一水平姿势以承载新的基板。这种设置的优势在于，由于可以以倾斜的、可能(接近)垂直的姿势运送基板承载器，所以返回轨道的覆盖面积可相对较小。为了执行基板承载器以第一和第二姿势的运送，加工轨道和返回轨道可设置有帮助确保基板承载器在运送过程中保持其给定定向的导向装置，例如导轨。根据本专利技术的进一步解释，将加工轨道大体设置在返回轨道的上方或下方。这不仅使传送器组件的覆盖面积最小化，还使得使用该传送器组件的相应系统整体具有改进的紧凑性。例如，如果将加工轨道设置在返回轨道的上方或下方，并且基板承载器以第一大体水平的定向沿着加工轨道被传送以及沿第二大约垂直的定向沿返回轨道被传送，那么可以分别在加工轨道的上方或下方(且邻近于返回轨道)得到加长的空间，可以利用所述空间容纳系统的一个或多个其它部件，例如，真空泵、电源、控制器等。与轨道和部件全部层叠或并置的系统相比，这种构造允许明显更小的覆盖面积和改进的紧凑性。这种系统可以是例如根据权利要求18的特征的基板加工系统。根据本专利技术的进一步解释，传送器组件包括多个辊，例如，安装在基板承载器上的滚轮；和沿加工轨道和/或返回轨道的至少一部分延伸的至少一个导轨，所述导轨被构造成与基板承载器上的辊配合，以使基板承载器沿着所述轨道的所述部分在导轨上可滚移地移动。在一个实施例中，例如，加工轨道的至少一部分由第一导轨限定，并且基板承载器包括被构造成用于与第一导轨配合的第一组辊，以使基板承载器沿着加工轨道的所述部分在第一导轨上通过辊移动。在另一个实施例中，返回轨道的至少一部分由第二导轨限定，并且基板承载器包括被构造成用于与第二导轨配合的第二组辊，以使基板承载器沿着返回轨道的所述部分在第二导轨上通过辊移动。在这些具体实施例的结合中，至少一个旋转单元可被构造成用于通过使基板承载器绕大体水平的轴线在其第一定向与其第二定向之间旋转，将基板承载器从加工轨道的第一导轨转移至返回轨道的第二导轨上，和/或反之亦然。为此，所述至少一个旋转单元可包括第一和第二导轨延伸部分，它们本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种适于用在基板加工系统（８００）中的传送器组件（１００），所述传送器组件（１００）包括：至少一个基板承载器（１０８），所述基板承载器（１０８）具有用于支撑至少一个基板的基板承载表面；加工轨道；返回轨道；驱动系统（１１２、１１４、１１６），用于沿着加工轨道和返回轨道驱动基板承载器；其特征在于，所述传送器组件进一步包括：至少一个旋转单元（５００），所述旋转单元被构造成使基板承载器绕大体水平的轴线从第一定向旋转至第二定向，和／或反之亦然。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：爱德华·雷尼尔·弗朗西斯卡·克雷尔克斯，
申请(专利权)人：OTB太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：NL