剪刀式升举传送自动控制仪器制造技术

兹描述一种传送自动控制仪器（ｒｏｂｏｔ）的方法与设备，其可用于一真空环境中。该传送自动控制仪器包括一升举组件，其包含一第一平台与一第二平台；多个支撑构件，其耦接该第一平台与该第二平台，该多个支撑构件包含一第一支撑构件对与一第二支撑构件对；一第一驱动组件，其耦接至所述多个支撑构件其中一部分，该第一驱动组件对所述多个支撑构件提供一移动力，以使该第二平台以相对于该第一平台的一第一线性方向移动；以及一端效器（ｅｎｄ　ｅｆｆｅｃｔｏｒ）组件，其配置在该第二平台上且可藉由一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正交。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】剪刀式升举传送自动控制仪器专利技术背景专利
本专利技术的实施方式一般关于一种传送自动控制仪器(robot)，其用于大面积平面媒介(例如大面积基板)的传送与支撑。现有技术的描述平面媒介(例如玻璃、塑料或其它材料的矩形、可挠性片材)一般用于制造平面显示器、太阳能装置等应用。用以形成平面媒介上的电子装置、薄膜与其它结构的材料藉由多种工艺而沉积在平面媒介上，这些工艺一般是在真空腔室中进行，其需要多次处理平面媒介以将平面媒介移进、移出真空腔室。为拥有更多可用以供沉积及电子器件制造的表面面积，平面媒介的尺寸随着每一世代而增大；目前的平面媒介包括4m2以上的处理表面面积。然而，平面媒介尺寸的增长对于传统自动控制仪器而言具有独特的处理挑战，这是因为媒介的可挠性本质；此外，自动控制仪器必须承受的低压与温度端值会造成挑战，其会限制驱动器、结构组件和类似物的选择。因此，本领域需要一种传送自动控制仪器，其经装设以承受低压与温度极值，以处理具有大表面面积的平面媒介。专利技术概述本文描述的实施方式一般提供一种传送自动控制仪器的方法与设备。在一实施方式中，描述了一种用于真空环境的传送自动控制仪器；该传送自动控制仪器包括一升举组件，其包括一第一平台与一第二平台，耦接该第一平台至该第二平台的多个支撑构件。该多个支撑构件包含一第一支撑构件对，其具有可旋转耦接(rotatably coupled)至该第一平台的一第一端以及藉由一第一线性组件而耦接至该第二平台的一第二端；以及一第二支撑构件对，其旋转连接至该第二平台且一第二端藉由一第二线性组件而耦接至该第一平台， 该第一与该第二支撑构件对在一中心处耦接在一起。该传送自动控制仪器更包括一第一驱动组件，其耦接至该第二支撑构件对，该第一驱动组件对该多个支撑构件提供一移动力，以改变该第二支撑构件对相对于该第一支撑构件对的角度，以使该第二平台以相对于该第一平台的一第一线性方向移动；以及一端效器(end effector)组件，其配置于该第二平台上且可藉由一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正 、-父。在另一实施方式中，描述了一种使用于真空环境的传送自动控制仪器。该传送自动控制仪器包括一升举组件，其包含可旋转耦接至一第二基座与一平台的一第一基座；多个支撑构件，其耦接该第二基座与该平台，该多个支撑构件包含一第一支撑构件对与一第二支撑构件对，第一支撑构件对具有可旋转耦接至该第二基座的一第一端以及藉由一第一线性组件耦接至该平台的一第二端，而第二支撑构件对可旋转耦接至该平台，且一第二端藉由一第二线性组件而耦接至该第二基座，该第一与该第二支撑构件对在一中心处耦接在一起；一第一驱动组件，其耦接至该第二支撑构件对，该第一驱动组件对该多个支撑构件提供一移动力，以改变该第二支撑构件对相对于该第一支撑构件对的角度，以使该平台以相对于该第二基座的一第一线性方向移动；以及一端效器组件，其配置于该平台上且可藉由配置于一密封壳体(enclosure)中的一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正交。在另一实施方式中，描述一种使用于真空环境的传送自动控制仪器。该传送自动控制仪器包含一第一组件，包含一固定第一基座，其藉由一第一马达耦接至一第二基座，该第一马达使该第二基座相对于该第一基座而旋转；一平台；多个支撑构件，其耦接该第二基座与该平台，该多个支撑构件在其一中心处枢接在一起；一第二马达，其耦接至该多个支撑构件中至少其一，该第二马达对该至少一支撑构件的一端提供一移动力，以使该至少一支撑构件相对于其它支撑构件枢转，以使该平台以相对于该第二基座的一第一线性方向移动；以及至少一第一端效器组件，其配置于该平台上，可藉由一第一线性驱动器而在一第二线性方向移动，该第一线性驱动器至少部分配置在一密封壳体中，该第二线性方向与该第一线性方向正交。在另一实施方式中，描述了一种在真空环境中使用一传送自动控制仪器来支撑及传送大面积基板的方法，该传送自动控制仪器包含一第一基座、一第二基座以及一端效器组件，该方法包括以下步骤对该第二基座提供一第一移动力以使该第二基座相对于该第一基座而旋转；对耦接在该第二基座与该端效器组件之间的至少一支撑构件提供一第二移动力，该第二移动力使该至少一支撑构件在其一中心处枢转，以使该端效器以相对于该第二基座的一第一线性方向移动；以及对该端效器组件提供一第三移动力，以使该端效器组件以相对于该第一方向的一第二方向移动，该第二方向正交于该第一方向。附图简要说明为详细了解本专利技术的上述特征，参照实施方式而提出本专利技术的更特定内容，其已简要描述于上述
技术实现思路
，且部分实施方式描述于如附图中。然而，应知如附图仅描述本专利技术的典型实施方式，因此不应视为限制其范畴，本专利技术也允许其它等效实施方式。附图说明图1为一多腔室基板处理系统的上视平面图。图2A是可用于图1的处理系统中的传送自动控制仪器的一实施方式的等角视图。图2B为导管的一实施方式的截面图。图3A为传送自动控制仪器的另一实施方式的侧视图。图;3B为图3A所示的传送自动控制仪器的端视图。图4是图3A所示的端效器模块的截面图。图5是端效器组件的一实施方式的上视平面图。图6是图5所示的端效器组件的上视平面图。图7A是端效器组件的另一实施方式的示意上视图。图7B是图7A所示的第一驱动轨与第一导管的一部分的截面图。图8A是马达外壳的一实施方式的等角上视图。图8B是图8A所示的马达外壳的等角仰视图。具体描述本文所描述的实施方式提供了用于支撑大面积平面媒介(例如由玻璃、塑料或其它适合电子器件形成的材料所制成的大面积基板)的传送自动控制仪器的方法与设备，本5文的这些大面积基板包括面积大于约10，OOOcm2或更大的基板。应知此处所描述的传送自动控制仪器也可用于有利地传送较小的基板。图1是一多腔室基板处理系统100的上视平面图，其适用于薄膜晶体管(TFT)、有机发光二极管(OLED)的制造以及在平面媒体上的太阳能电池制造。系统100包括多个处理腔室105以及位于一中央传送腔室115周围的一或多个负载锁定腔室110。处理腔室105 可经装配以完成多个不同的处理步骤，以达到平面媒介(例如大面积基板120)的所需处理。位于中央传送腔室115内的是具有一端效器130的传送自动控制仪器125。端效器130经装配以受支撑并独立于传送自动控制仪器125而移动，以传送基板120。端效器 130包括一腕部135与适于支撑基板120的多个指部140。在一实施方式中，传送自动控制仪器125经装配以旋转及/或于垂直方向中线性驱动，而端效器130经装配以独立且相对于传送自动控制仪器125在水平方向线性移动。举例而言，传送自动控制仪器125使端效器130在中央传送腔室115内上升及下降(Z方向)至各个高程(elevation)，以使端效器 130对齐处理腔室105及负载锁定腔室110中的开口。当传送自动控制仪器125位于适当高程时，端效器130水平延伸(X或Y方向)，以传送及/或定位基板120进出处理腔室105 与负载锁定腔室110中任一者。此外，传送自动控制仪器125可旋转以使端效器130与其它的处理腔室105及负载锁定腔室110对齐。在基板处理期间，中央传送腔室115保持为低压。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于一真空环境中的传送自动控制仪器，其包含：一升举组件，该升举组件包含一第一平台与一第二平台；多个支撑构件，该多个支撑构件将该第一平台耦接该第二平台，该多个支撑构件包含：一第一支撑构件对，该第一支撑构件对具有可旋转耦接至该第一平台的一第一端以及藉由一第一线性组件而耦接至该第二平台的一第二端；以及一第二支撑构件对，该第二支撑构件对可旋转耦接至该第二平台且一第二端藉由一第二线性组件而耦接至该第一平台，该第一与该第二支撑构件对在一中心处耦接在一起；一第一驱动组件，该第一驱动组件耦接至该第二支撑构件对，该第一驱动组件对该多个支撑构件提供一移动力，以改变该第二支撑构件对相对于该第一支撑构件对的角度，以使该第二平台以相对于该第一平台的一第一线性方向移动；以及一端效器组件，该端效器组件配置于该第二平台上且可藉由一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正交。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗田真一，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US