提供一种载架组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件。该背面安装电极载架包括电极容纳孔，其转而包括构造为限制设在该孔中的电极的横向移动的侧壁结构。该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，其支撑设在该孔中的电极的重量。该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极，并且促使该电极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。还考虑范围更广和更窄的额外实施方式。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开大体上涉及用于搬运和处理电极的电极载架，更具体地，涉及用于多部件 电极的背面安装的载架，该电极用作等离子处理系统的激励电极。
技术介绍
尽管本公开不限于特定类型的电极或使用待运载电极的环境，但是为了说明目 的，这里参照硅基电极组件描述载架，其中“内”、碟形、喷头硅电极粘合于衬板。实施本专利技术 的那些人将发现这里提出的一些载架设计将在多种类型的电极和非电极环境下获得良好 的效用。图1说明包括内部喷头电极20和外部环形电极30的电极组件10。图2孤立地说 明该内部多部件电极20。图3孤立地说明该外部多部件电极30。通常，该电极组件10由两 种多部件电极形成-碟形、内部多部件喷头电极20和环形、外部多部件电极30。这两种多 部件电极20、30包括粘合于导电衬板M、34的硅电极22、32。该内部电极在图1中说明并 包括在本领域中通常称作喷头通道的气体通道沈阵列。该外部电极30包括一系列外围硅 分段，拼接在一起以围绕该内部电极20的边缘。该电极20、30和该电极组件10的其他特 定特征超出了本公开所关注的范围，所以这里不再详细描述。类似于图1-3中描述的电极 组件结构的更多教导可在美国公开2007/00686 、2007/0235660和2007/(^84246中找到， 其相关部分通过引用结合在这里。另外的相关教导可在美国专利6，073，577,6, 148，765、 6，194，322,6, 245，192,6, 376，385 和 6，506，254，以及美国专利公开 2005/0241765 中找到。
技术实现思路
按照一个实施方式，提供一种载架组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件。 该背面安装电极载架包括电极容纳孔，其转而包括构造为限制设在该孔中的电极的横向移 动的侧壁结构。该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，其支撑设在该孔中的电 极的重量。该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极并且促 使该电极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。在另一实施方式中，提供一种背面安装电极载架，其中该电极载架的背面包括多 个接收槽，其每个构造为固定载架支撑的支撑腿的对应末端。每个接收槽限定各个转锁路 径，允许该载架支撑固定该载架的电极容纳孔中的电极。还考虑范围更广和更窄的额外实 施方式。附图说明当结合下面的附图阅读时，可最佳地理解下面对具体实施方式的详细描述，其中 类似的结构用类似的参考标记标明，其中图1说明包括内部喷头电极和外部环形电极的电极组件；图2孤立地说明图1的内部电极；图3孤立地说明图1的外部电极；图4A和4B说明背面安装电极载架的两个主要部件；图5说明图4A和4B装配后的部件；图6说明保持在图5说明的背面安装电极载架装配后的部件中的多部件电极；图7说明图6的装配后的载架的背面；图8是图6的装配后的载架的局部分解视图，包括背面安装板；图9是与图6的装配后的载架一起使用的清理板的等轴测视图；以及图10是图6的装配后的载架和相关的与该载架一起使用的清理板和三脚架的局 部分解视图。具体实施例方式如上面所述的，本公开涉及用于多部件电极的背面安装的载架。本公开的概念不 应当限于特定的电极或电极组件构造。例如，图1-3中说明的多部件、内部和外部电极20、 30可包括多种衬板构造，包括(但不限于)导电的基于铝或基于石墨的衬板对、34。另外， 该硅电极22、32可以多种方式粘合于对应的导电衬板对、34。通常，聚合物粘结剂施加在该 电极和衬板之间的分界面，并且使用机械装置来固定该粘合。还设想在该分界面使用非粘 性垫圈，并且可机械粘合该电极和衬板。对于该硅电极22、32，注意这里对硅电极或包括硅 的电极的参照应当解读为覆盖多种电极，在其结构中采用多种形式的硅中的任一种。尽管这里描述的该背面安装电极载架的特定特征可变化，按照本公开的一个特定 构造这里参照图4-10描述。更具体地，图4A和4B说明按照本公开的一个实施方式的背面 安装电极载架50的两个主要半部件50A、50B。图5说明图4A和4B的装配的部件。通常， 如在图5-8中进一步说明的，该电极载架50包括正面52、背面M和电极容纳孔55。该电极容纳孔55包括侧壁结构56，其构造为限制设在该电极容纳孔55中的电极 20的横向移动。为了描述和限定本专利技术的目的，注意“横向，，移动包括在该载架50的平面 内的移动，与之相对的是，“轴向”移动包括沿延伸穿过孔阳(其平行于该载架50)的平面的 轴线的移动。该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部57，其构造为当该电极20坐在 该侧壁突出部57上时支撑该电极20的重量。图6和7示出该电极20坐在该侧壁突出部 57上。在所说明的实施方式中，该侧壁突出部57包括相对独立的突耳，但是设想该侧壁突 出部57可具有许多形式并且可沿该侧壁结构56提供任意数目。例如，一个极端情况是单 个、连续的侧壁突出部沿该侧壁结构56的整个内部边缘提供为圆周凸缘。如图4A和4B所述，所述实施方式的电极容纳孔55包括裂孔构造，该裂孔构造包 括通过一对榫槽分界面51、53啮合的两个主要半部件50A、50B。每个半部件可在该分界面 51、53利用合适的啮合硬件彼此固定，如一对螺纹PEEK插入件59。然而，设想该电极载架 不必表现为两个半部件，只要该电极20可方便地设在该电极容纳孔55中即可。还设想该 电极20可设在该电极容纳孔55中或该载架50的两个半部件50A、50B可在载架安装座的 帮助下设在该电极20附近，该安装座构造为允许该电极在适当的高度坐在受控的清洁表 面上，以允许围绕该电极设置该载架。该载架还将设在受控的、清洁表面上。图8是包括该内部喷头电极20、该背面安装电极载架50和电极安装硬件40的组件的局部分解视图。如这里进一步描述的，该电极安装硬件40构造为从该载架50的背面 54啮合该电极20，并促使该电极20抵靠该侧壁突出部57以便限制该电极20在该电极容 纳孔55中的轴向移动。同时参照图7和8，该电极安装硬件40包括电极啮合扩展部42和载架支撑44。 该电极啮合扩展部42可包括例如螺纹PEEK螺钉或其他类型插入件，其构造为啮合对应的 该电极20的后面观中的螺纹或非螺纹孔25，并且与该载架支撑44 (构造为啮合该载架50 的背面54)配合促使该电极20的后面观抵靠该载架50的侧壁突出部57。该安装硬件40 同时将促使该载架支撑44抵靠该电极载架50的背面M以将该电极20有效固定在该电极 容纳孔55中。因为该电极啮合扩展部42相对较短的长度，只有其头部在图8中示出。图 9 (在下面更详细讨论)还说明该电极啮合扩展部42啮合该电极20的后面观中的孔25的 方式。尽管图7和8所述实施方式包括载架支撑44，其构造成包括多个支撑腿46的相对 复杂的蜘蛛板(spider plate)，但是设想该电极安装硬件40可以使多种形式，可包括或者 不包括电极啮合扩展部42或载架支撑44。在实施本公开的这个方面时，所要求的只是从该 载架50的背面M啮合该电极20以促使该电极20抵靠一个或多个侧壁突出部57从而限 制该电极20在该载架50中的轴向移动的某些类型的硬件。与该电极20的啮合应当是非 永久的，并且可利用机械、本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件，其中： 该背面安装电极载架包括正面、背面和该载架正面中的电极容纳孔； 该电极容纳孔包括构造为限制设在该电极容纳孔中的电极的横向移动的侧壁结构； 该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，该侧壁突出部构造为支撑设在该电极容纳孔中并坐在该侧壁突出部上的电极的重量；以及 该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极，并促使该电极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US12/164,2852008年6月30日1.一种组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件，其中该背面安装电极载架包括正面、背面和该载架正面中的电极容纳孔； 该电极容纳孔包括构造为限制设在该电极容纳孔中的电极的横向移动的侧壁结构； 该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，该侧壁突出部构造为支撑设在该电 极容纳孔中并坐在该侧壁突出部上的电极的重量；以及该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极，并促使该电 极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。2.根据权利要求1所述的组件，其中该电极安装硬件构造为啮合设在该电极容纳孔中 的电极的后面并且促使该电极的后面抵靠该侧壁突出部。3.根据权利要求1所述的组件，其中该电极安装硬件包括电极啮合扩展部和载架支撑；该电极啮合扩展部构造为啮合设在该电极容纳孔中的电极的后面；该载架支撑构造为啮合该载架的背面；以及该安装硬件构造为促使该载架支撑抵靠该电极载的背面并且同时促使该电极的后面 抵靠该侧壁突出部。4.根据权利要求3所述的组件，其中该电极啮合扩展部包括螺纹插入件且该电极的后 面包括螺纹孔。5.根据权利要求3所述的组件，其中该载架支撑是构造成包括多个支撑腿的蜘蛛板。6.根据权利要求5所述的组件，其中该电极载架的背面包括多个接收槽，每个构造为 固定该支撑腿之一的对应末端部分。7.根据权利要求6所述的组件，其中该接收槽和该支撑腿限定转锁构造。8.根据权利要求1所述的组件，其中该电极安装硬件包括多个电极啮合扩展部，以及 该电极的后面包括孔阵列，该孔阵列构造为容纳在多个不同方位的该电极啮合扩展。9.根据权利要求1所述的组件，其中该电极安装硬件包括多个电极啮合扩展部和包括多个支撑腿的载架支撑； 该电极的后面包括对应的孔，该孔构造为容纳该电极啮合扩展部； 该电极载架的背面包括多个接收槽，其每个构造为固定该支撑腿之一的对应末端部 分；以及该接...
【专利技术属性】
技术研发人员：杰森·奥古斯蒂诺，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US
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