振动促动器、振动促动器的制造方法、透镜镜筒及相机技术

本发明专利技术提供一种驱动性能良好的振动促动器、振动促动器的制造方法、透镜镜筒及相机。振动促动器包括：机电转换元件，将电能转换成机械能；弹性体，通过机电转换元件的激振而产生振动波；树脂层，由具有导电性的热塑性树脂形成，将机电转换元件和弹性体接合；和相对移动部件，与弹性体加压接触，并通过振动波而相对于弹性体移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种振动促动器、振动促动器的制造方法、透镜镜筒及相机。
技术介绍
以往公知有如下的振动促动器利用机电转换元件的伸缩而在弹性体和相对移动 部件的接触面上产生行进性振动波(以下称为行进波)，使相对移动部件与通过行进波在 驱动面产生的椭圆运动的波峰加压接触，而驱动相对移动部件。一般来说，在这种振动促动 器中机电转换元件和弹性体通过粘结剂接合。在专利文献1中公开了利用具有导电性的粘结剂将层压型压电元件的相对的端 面电极与共用电极连接的例子。专利文献1 JP特开平11-58736号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题接合弹性体和机电转换元件的这样的粘结剂层的膜厚，有时会根据机电转换元 件、弹性体的接合面的平面性、尺寸精度、机电转换元件的接合面上形成的电极部的平面性 等，而在厚度上产生不均。尤其是，在利用银膏等形成电极部时，容易将电极的中央部的厚 度形成得比端部薄，电极部和弹性体之间形成的粘结剂层的膜厚容易变得不均。因这样的粘结剂层的膜厚不均，从机电转换元件向弹性体传递的振动的大小产生 不均，振动促动器的驱动变得不稳定，驱动效率下降。本专利技术的课题在于提供一种驱动性能良好的振动促动器、振动促动器的制造方 法、透镜镜筒以及相机。用于解决问题的手段本专利技术通过以下解决手段而解决上述课题。技术方案1的专利技术为一种振动促动器，其包括机电转换元件，将电能转换成机械 能；弹性体，通过上述机电转换元件的激振而产生振动波；树脂层，由具有导电性的热塑性 树脂形成，将上述机电转换元件和上述弹性体接合；和相对移动部件，与上述弹性体加压接 触，并通过上述振动波而相对于上述弹性体移动。技术方案2的专利技术，在技术方案1所述的振动促动器中，其特征在于，上述树脂层 的上述机电转换元件侧的面，整个面与上述机电转换元件直接接触。技术方案3的专利技术，在技术方案1或2所述的振动促动器中，其特征在于，上述树 脂层是向上述机电转换元件输入电能的电极部。技术方案4的专利技术，在技术方案1 3中任一项所述的振动促动器中，其特征在 于，上述机电转换元件的上述弹性体侧的面，整个面与上述树脂层直接接触。技术方案5的专利技术，在技术方案1 4中任一项所述的振动促动器中，其特征在 于，上述机电转换元件在与上述弹性体相反侧的面上具有第2电极部，该第2电极部利用具3有上述导电性的热塑性树脂形成。技术方案6的专利技术为一种振动促动器的制造方法，其特征在于，包括树脂层形成 工序，在机电转换元件上涂敷具有导电性的热塑性树脂，而形成树脂层；极化工序，利用上 述树脂层，将上述机电转换元件极化；和接合工序，将上述机电转换元件和弹性体接合。技术方案7的专利技术为一种透镜镜筒，具有技术方案1 5中任一项所述的振动促 动器。技术方案8的专利技术为一种相机，具有技术方案1 5中任一项所述的振动促动器。另外，上述构成不限于此，可以适当改良下述实施方式的构成，或将至少一部分代 替成其他构成物。进而，其配置无特别限定的构成要件，不限于实施方式所示的配置，可以 配置在能够实现其功能的位置。根据本专利技术，能够提供一种驱动性能良好的振动促动器、振动促动器的制造方法、 透镜镜筒以及相机。附图说明图1是用于说明实施方式的相机的图。图2是实施方式的超声波马达的剖视图。图3是用于说明实施方式的树脂层及电极图案部的图。图4是对实施方式的超声波马达及比较例的超声波马达的压电体和弹性体的接 合部分进行比较的图。图5是表示实施方式的超声波马达的制造方法的工序图。图6是用于说明实施方式的振动元件的制造过程的图。符号说明1 相机3 透镜镜筒10 超声波马达12:弹性体13:压电体15 移动元件24 树脂层25:电极图案部具体实施例方式以下参照附图详细说明本专利技术的实施方式。另外，在本实施方式中，作为振动促动 器以利用超声波的振动区域的超声波马达为例进行说明。图1是用于说明本实施方式的相机1的图。本实施方式的相机1包括具有摄像元件8的相机主体2 ；和具有透镜7的透镜镜 筒3。透镜镜筒3是可相对于相机主体2拆装的可换透镜。另外，在本实施方式中，示出 了透镜镜筒3为可换透镜的例子，但不限于此，例如也可以是与相机主体一体型的透镜镜筒。透镜镜筒3包括透镜7 ；凸轮筒6 ；齿轮4、5 ；超声波马达10等。本实施方式的超 声波马达10作为在相机1的聚焦动作时驱动透镜7的驱动源使用。从超声波马达10获得 的驱动力经由齿轮4、5而传递到凸轮筒6。透镜7是聚焦透镜，保持在凸轮筒6中，通过超 声波马达10的驱动力而与光轴方向(图1中所示的箭头L方向)大致平行地移动，进行焦 点调节。在图1中，通过设于透镜镜筒3内的未图示的透镜组(包括透镜7)，将被拍摄体像 成像到摄像元件8的摄像面上。通过摄像元件8将成像的被拍摄体像转换为电信号，并对 该信号进行A/D变换，从而获得图像数据。图2是本实施方式的超声波马达10的剖视图。本实施方式的超声波马达10包括振动元件11、移动元件15、输出轴18、加压部件 19等，成为振动元件11侧固定而旋转驱动移动元件15的方式。振动元件11是具有弹性体12和压电体13的大致圆环形状的部件。弹性体12由谐振尖锐度大的金属材料形成，其形状为大致圆环形状。该弹性体12 具有梳齿部12a、基底部12b、凸缘部12c。梳齿部1 通过在与压电体13接合的面的相反侧的面上切割多个槽而形成。该 梳齿部1 的前端面与移动元件15加压接触，成为驱动移动元件15的驱动面12d。对该驱 动面12d进行Ni-P(镍-磷)镀敷等润滑性的表面处理。设置梳齿部12a的理由是，使通 过压电体13的伸缩而在驱动面产生的行进波的中立面尽可能地向压电体13侧靠近，从而 放大驱动面的行进波的振幅。基底部12b是在弹性体12的圆周方向上连续的部分，在基底部12b的与梳齿部 1 相反侧的面(接合面12e)上接合有压电体13。凸缘部12c是向弹性体12的内径方向突出的凸缘状的部分，配置在基底部12b的 厚度方向的中央。通过该凸缘部12c，振动元件11被固定在固定部件16上。压电体13是将电能转换为机械能的机电转换元件。在本实施方式中，作为压电体 13使用了压电元件，但也可以使用电致伸缩元件。本实施方式的压电体13是大致圆环形状的部件，利用PZT(锆钛酸铅)形成。另 外，压电体13也可以使用其他的压电陶瓷材料等。在该压电体13的弹性体12侧的面(以下称为接合面13a)的整个面上形成有树 脂层24(参照图3(a)及图4(a))。压电体13经由该树脂层M与弹性体12接合。此外，在压电体13的与弹性体12相反侧的面(以下称为另一面13b)上形成有电 极图案部25 (参照图3(b)及图4(b))。关于树脂层M及电极图案部25在下文进行详细说明。柔性印刷基板14的配线与形成于压电体13的另一面13b上的电极图案部25的 各电极部电连接。从未图示的控制电路向柔性印刷基板14供给驱动信号，通过该驱动信号，压电体 13伸缩、激振。振动元件11通过该压电体13的伸缩而在弹性体12的驱动面上产生行进 波。移动元件15是由在弹性体12的驱动面12d上产生的行进波旋转驱动的部件。本实施方式的移动元件15通过铝等轻金属形成，对与振动元件11 (弹性体12的驱动面12d) 接触的面的表面进行了用于提高耐磨损性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动促动器，其特征在于，包括：　　机电转换元件，将电能转换成机械能；　　弹性体，通过上述机电转换元件的激振而产生振动波；　　树脂层，由具有导电性的热塑性树脂形成，将上述机电转换元件和上述弹性体接合；和　　相对移动部件，与上述弹性体加压接触，并通过上述振动波而相对于上述弹性体移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：刈谷智志，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP