电极形成用玻璃组合物和电极形成材料制造技术

技术编号:7134913 阅读:254 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的电极形成用玻璃组合物,其特征在于:作为玻璃组成,用下述氧化物换算的质量%表示,含有Bi2O373.1~90%、B2O32~14.5%、ZnO0~25%、MgO+CaO+SrO+BaO(MgO、CaO、SrO、BaO的总量)0.2~20%、SiO2+Al2O3(SiO2、Al2O3的总量)0~8.5%。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电极形成用玻璃组合物和电极形成材料,涉及适合形成硅太阳能电池 (包含单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池、微晶硅太阳能电池、无定形硅太阳能电池) 的受光面电极、背面电极的电极形成用玻璃组合物和电极形成材料。
技术介绍
硅太阳能电池具有半导体基板、受光面电极、背面电极、防反射膜,半导体基板具 有P型半导体层和η型半导体层。受光面电极、背面电极通过将电极形成材料(包含金属 粉末、玻璃粉末和载体)烧结而形成。一般地,受光面电极使用Ag粉末,背面电极使用Al 粉末。防反射膜使用氮化硅膜、氧化硅膜、氧化钛膜、氧化铝膜等,现在主要使用氮化硅膜。在硅太阳能电池中形成受光面电极的方法,有蒸镀法、镀敷法、印刷法等,最近 印刷法已成为了主流。印刷法是采用丝网印刷将电极形成材料涂布于防反射膜等后,在 650 850°C下进行短时间烧成,形成受光面电极的方法。在印刷法的情况下,利用烧成时电极形成材料贯通防反射膜的现象,通过该现象 将受光面电极和半导体层电连接。该现象一般称为烧穿(fire-through)。如果利用烧穿, 在形成受光面电极时,不需要防反射膜的蚀刻,并且不需要防反射膜的蚀刻与电极图案的 对位,硅太阳能电池的生产效率飞跃般提高。此外,背面电极通常采用厚膜法形成。厚膜法是为了形成所需的电极图案,将电极 形成材料丝网印刷于硅半导体基板,在最高温度660 900°C下将其短时间烧成(具体地, 从烧成开始到结束为2 3分钟,在最高温度下保持5 20秒),使Al扩散于硅半导体基 板,从而在硅半导体基板形成背面电极的方法。用于形成背面电极的电极形成材料,含有Al粉末、玻璃粉末和载体等。如果将该 电极形成材料烧成,Al粉末与硅半导体基板的Si反应,在背面电极和硅半导体基板的界面 形成Al-Si合金层,并且在Al-Si合金层和硅半导体基板的界面形成ρ+电解层(也称为 Back Surface Field层、BSF层)。如果形成ρ+电解层,能够享受防止电子的复合、改善生 成载流子的收集效率的效果、所谓BSF效果。作为结果,如果形成P+电解层,能够提高硅太 阳能电池的光电转换效率。专利文献1 特开2004-87951号公报专利文献2 特开2005-56875号公报专利文献3 特表2008-527698号公报专利文献4 特开2000-90733号公报专利文献5 特开2003-165744号公报受光面电极的电极形成材料贯通防反射膜的程度(以下称为烧穿性),因电极形 成材料的组成、烧成条件而变动,特别是玻璃粉末的玻璃组成的影响最大。这是因为烧穿主 要因玻璃粉末与防反射膜的反应而产生。此外,硅太阳能电池的光电转换效率与电极形成 材料的烧穿性相关,如果烧穿性不足,该特性降低,太阳能电池的基本性能降低。目前为止,受光面电极的电极形成材料所含的玻璃粉末,主要使用以I^bO为主成 分的铅玻璃,但铅玻璃的耐水性不足,硅太阳能电池的长期可靠性容易受损。此外,对于受光面电极的电极形成材料所含的玻璃粉末,除了要求⑴烧穿性良 好以外,还要求( 热稳定性良好,(3)能够在低温下烧结等。此外,背面电极的电极形成材料所含的玻璃粉末,具有促进Al粉末与Si的反应、 在Al-Si合金层和硅半导体基板的界面形成ρ+电解层、赋予BSF效果的作用(参照专利文 献 4、5)。但是,如果使用以往的玻璃粉末,具体使用铅硼酸系玻璃粉末,Al粉末和Si的反 应变得不均勻,Al-Si合金的生成量局部增大,在背面电极的表面容易产生气泡、Al的凝 聚,硅太阳能电池的光电转换效率降低,并且在硅太阳能电池的制造工序中硅半导体基板 容易产生裂纹等,硅太阳能电池的制造效率降低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,通过专利技术出具有铅玻璃以上的耐水性,并且烧穿性、热稳定性 良好,并且能够在低温下烧结的玻璃组合物,从而提高硅太阳能电池的光电转换效率、长期可靠性。本专利技术的另一目的在于,通过专利技术出难以产生气泡、Al的凝聚并且适合Al-Si合 金层和P+电解层的形成的电极形成用玻璃组合物和电极形成材料,在提高硅太阳能电池 的光电转换效率等特性的同时,使硅太阳能电池的制造成本降低。本专利技术人深入研究的结果,发现作为电极形成用玻璃,使用铋系玻璃,并且将铋 系玻璃的玻璃组成限制在规定范围,从而能够解决上述技术问题,作为本专利技术而提出。 即,本专利技术(第一专利技术)的电极形成用玻璃组合物,其特征在于,作为玻璃组成,以下述 氧化物换算的质量%表示,含有Bi2O3 73. 1 90%、化03 2 14.5%、SiO 0 25%、 MgO+CaO+SrO+BaO(MgO, CaO、SrO, BaO 的总量)0· 2 20 %、Si02+Al203 (SiO2, Al2O3 的总 量)0 8. 5%。本专利技术的电极形成用玻璃组合物,将Bi2O3的含量限制在73. 以上。这样,玻璃 粉末与防反射膜的反应性提高,烧穿性改善,并且软化点降低,能够在低温下使电极形成材 料烧结。再有,如果在低温下形成电极,硅太阳能电池的生产率改善,并且半导体基板的晶 界的氢难以被放出,硅太阳能电池的光电转换效率改善。此外,如果将Bi2O3的含量限制在 73. 以上,则耐水性提高,能够提高硅太阳能电池的长期可靠性。另一方面,本专利技术的电 极形成用玻璃组合物将Bi2O3的含量限制在90%以下。这样,烧成时玻璃难以失透,结果玻 璃粉末与防反射膜的反应性难以降低,并且电极形成材料的烧结性难以降低。本专利技术的电极形成用玻璃组合物,将化03的含量限制在2%以上。这样,烧成时玻 璃难以失透,结果玻璃粉末与防反射膜的反应性难以降低,电极形成材料的烧结性难以降 低。另一方面,本专利技术的电极形成用玻璃组合物将氏03的含量限制在14.5%以下。这样, 软化点降低,能够在低温下使电极形成材料烧结,并且耐水性提高,能够提高硅太阳能电池 的长期可靠性。本专利技术的电极形成用玻璃组合物,将MgO+CaO+SrO+BaO的含量限制在0. 2%以上。 这样,烧成时玻璃难以失透,结果玻璃粉末与防反射膜的反应性难以降低,电极形成材料的烧结性难以降低。另一方面,本专利技术的电极形成用玻璃组合物将MgO+CaO+SrO+BaO的含量 限制在20%以下。这样,能够抑制软化点的不当上升,能够在低温下使电极形成材料烧结。本专利技术的电极形成用玻璃组合物,将Si&+Al203的含量限制在8. 5%以下。这样, 烧穿性难以降低,并且玻璃的软化点降低,能够在低温下使电极形成材料烧结。再有,本发 明的电极形成用玻璃组合物中,如果在玻璃组成中添加aio,能够提高玻璃的热稳定性。上述构成中,Bi2O3的含量可以为74. 3%以上。这样,本申请说明书第5页第M 26行中记载的效果进一步增大。上述构成中,BaO的含量可以为0. 2 15%。BaO在碱土类金属氧化物中不使软 化点上升,提高热稳定性的效果最大。因此,如果将BaO的含量限制在上述范围,能够在抑 制软化点上升的同时提高热稳定性。本专利技术的电极形成用玻璃组合物可以含有CuO,但在这种情况下,CuO的含量优选 为2. 5%以下。作为金属粉末,使用^Vg粉末的情况下,如果玻璃粉末的玻璃组成中含有大量 的CuO,在烧成电极形成材料时Cu和以Cu为主要成分的合金析出本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种电极形成用玻璃组合物,其特征在于,  作为玻璃组成,用下述氧化物换算的质量%表示,含有Bi↓[2]O↓[3]73.1~90%、B↓[2]O↓[3]2~14.5%、ZnO 0~25%、MgO+CaO+SrO+BaO 0.2~20%、SiO↓[2]+Al↓[2]O↓[3]0~8.5%。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:石原健太郎
申请(专利权)人:日本电气硝子株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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