热电转换模块的制造方法和热电转换模块技术

提供一种不需要热电转换元件的定位，能够获得绝缘性高且高密度的热电转换模块的热电转换模块的制造方法、以及由此制造的热电转换模块。热电转换模块（１）的制造方法具备：覆盖工序，以绝缘膜（１５）覆盖ｐ型热电转换元件（３）的表面中的至少除了应该与电极相向的面（３ａ、３ｂ）之外的面和／或ｎ型热电转换元件（４）的表面中的至少除了应该与电极相向的面（４ａ、４ｂ）之外的面；以及将ｐ型热电转换元件（３）的表面中的除了应该与电极相向的面（３ａ、３ｂ）之外的面、以及ｎ型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面（４ａ、４ｂ）之外的面，经由绝缘膜（１５）重合的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及热电转换模块的制造方法和热电转换模块。
技术介绍
作为用于使热电转换模块高密度化的模块的制造方法的一种，举出使ρ型热电转换元件和η型热电转换元件之间的宽度缩窄的方法，但在该情况下，需要对P型热电转换元件与η型热电转换元件之间进行绝缘。在专利文献1中，公开了为了提高绝缘可靠性，在预先定位了的P型热电转换元件和η型热电转换元件之间的间隙中使绝缘性树脂流入的模块的制造方法。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2003-282972号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题可是，P型热电转换元件和η型热电转换元件的定位由于热电转换元件小等原因，是使热电转换模块的制造变得麻烦的一种作业。因此，本专利技术的目的在于提供一种不需要热电转换元件的定位，能够获得绝缘性高且高密度的热电转换模块的热电转换模块的制造方法、以及由此制造的热电转换模块。用于解决课题的方案本专利技术热电转换模块的制造方法，具备覆盖工序，以绝缘膜覆盖P型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面和/或η型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面；以及将P型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面、以及η型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面，经由绝缘膜重合的工序。根据本专利技术，以绝缘膜覆盖ρ型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面和/或η型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面，将P型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面、以及η型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面，经由绝缘膜重合，因此P型热电转换元件和η型热电转换元件通过绝缘膜而被绝缘，不进行定位，就能够制造绝缘性高且高密度的热电转换模块。在这里，优选在覆盖工序中，以绝缘膜覆盖P型热电转换元件的全部表面和/或 η型热电转换元件的全部表面，进而，具备绝缘膜除去工序，针对在重合工序中重合了的ρ 型热电转换元件和η型热电转换元件，进行ρ型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面和/或η型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面的研磨，除去绝缘膜。根据本专利技术，因为以绝缘膜覆盖ρ型热电转换元件的全部表面和/或η型热电转换元件的全部表面，所以对热电转换元件的表面覆盖绝缘膜的工序例如将P型热电转换元件和/或η型热电转换元件浸渍在用于形成绝缘膜的组成物中即可实现，变得简便。此外， 针对经由绝缘膜重合了的ρ型热电转换元件和η型热电转换元件，除去ρ型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面和/或η型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面的绝缘膜的工序，也对各热电转换元件的与电极相向的面进行一次研磨来除去绝缘膜，因此比较简便。因此，与以和电极相向的面不被绝缘膜覆盖的方式仅对各热电转换元件的表面的一部分有选择地形成绝缘膜的情况相比，作为整体的工序被简略化。此外，优选在绝缘膜除去工序之前，还具备通过将在所述重合工序中重合了的P 型热电转换元件和η型热电转换元件整体地固定，从而获得热电转换块的工序。通过将经由绝缘膜重合的P型热电转换元件和η型热电转换元件整体地固定，形成热电转换块，重合的P型热电转换元件和η型热电转换元件被充分固定。由此，在本工序后，能够容易地进行用于除去P型热电转换元件的表面中的与电极相向的面和/或η型热电转换元件电极的表面中的与电极相向的面的绝缘膜的研磨。进而，能够容易地对该热电转换块进行电极的接合等。此外，本专利技术的热电转换模块具有ρ型热电转换元件；η型热电转换元件；电极， 对P型热电转换元件和η型热电转换元件进行电连接；绝缘膜，覆盖ρ型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面；以及绝缘膜，覆盖η型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面，P型热电转换元件和η型热电转换元件经由2个绝缘膜重合。根据本专利技术，以绝缘膜覆盖ρ型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面、以及η型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面，并且ρ型热电转换元件和η型热电转换元件经由2个绝缘膜重合，由此能够提供ρ型热电转换元件和η型热电转换元件的绝缘可靠性特别优越，并且高密度的热电转换模块。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种不需要热电转换元件的定位，能够简便地获得绝缘性高且高密度的热电转换模块的热电转换模块的制造方法、以及由此制造的热电转换模块。附图说明图1是本专利技术的第1实施方式涉及的热电转换模块11的制造方法的一例的示意图。图2是本专利技术的实施方式涉及的热电转换模块1的一例的剖面图。图3是本专利技术的第2实施方式涉及的热电转换模块11的制造方法的一例的示意图。图4是本专利技术的实施方式涉及的热电转换模块1的另一例的剖面图。 具体实施例方式以下，一边参照附图，一边针对本专利技术的优选实施方式详细地进行说明。再有，在附图的说明中，对同一或相当要素赋予同一符号，省略重复的说明。此外，各附图的尺寸比率并不一定与实际的尺寸比率一致。首先，针对本实施方式的热电转换模块的制造方法进行说明。(第1实施方式涉及的热电转换模块的制造方法)首先，针对第1实施方式涉及的热电转换模块(module)的制造方法进行说明。图1是示意地表示第1实施方式涉及的热电转换模块的制造方法的图。第1实施方式的热电转换模块的制造方法具备(a)热电转换元件准备工序；(b)向热电转换元件的绝缘膜覆盖工序；(c)热电转换元件的重合工序；(d)电极接合工序。(a)热电转换元件准备工序首先，例如如图1 (a)所示，准备长方体的P型热电转换元件3和η型热电转换元件4。 热电转换元件的形状不被特别限定，是长方体等的六面体、六棱柱、圆柱、圆盘状也可。构成各热电转换元件的材料只要是具有P型半导体或η型半导体的性质的材料的话就不被特别限定，能够使用金属、金属氧化物等的各种材料。ρ型热电转换元件3和η型热电转换元件4的制造方法根据构成热电转换元件的材料而不同，但如果例如构成材料是金属的话，能够将金属的块体切割成所希望的形状，做成热电转换元件。此外，如果例如构成材料是金属氧化物的话，对包含构成金属氧化物的金属元素的化合物进行混合，在含氧的气氛下进行烧结，在切割出获得的烧结体之后，做成所希望的形状，由此能够获得热电转换元件。作为ρ型热电转换元件3和η型热电转换元件4的材料，举出下述材料。例如，作为ρ型热电转换元件3的材料，举出NaxCc^2 (0<x<l) Xa3Co4O9等的金属复合氧化物、MnSi1.73、Fei_xMnxSi2、Sia8Gq2 =B (B 掺杂 Sia8Gea2)、β -FeSi2 等的硅化物、CoSb3、 FeSb3、RFe3CoSb12 (R 表示 La、Ce、或 Yb)等的方钴矿、BiTeSb, PbTeSb, Bi2Te3^ Sb2Te3> PbTe 等的含有iTe的合金、Zn4Sb3等。此夕卜，作为η型热电转换元件4的材料，例如举出SrTio^ZrvxAlxCKCaMnOyLaNiOy BaTiO3^ TihNbxO 等的金属复合氧化物 Mg2Si、Fe1^xCoxSi2, Si0.8Ge0.2 :P(P 掺杂 Sia8Gq2)、 β -FeSi2 等的硅化物、CoSb3 等的方钴矿、Ba8本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种热电转换模块的制造方法，其中，具备：覆盖工序，以绝缘膜覆盖ｐ型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面和／或ｎ型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面；以及重合工序，将所述ｐ型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面、以及所述ｎ型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面，经由所述绝缘膜重合。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：广山雄一，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP