【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.成像光学系统(8),配置为成直线系统,其部件(M1至M6;M1至M8;M1至M10)因此能够全部与同一个连续光轴(19)相关联,且该成像光学系统(8)将至少一个物平面(6;6a,6b)中的至少一个物场(4,5;4a,5a)成像到至少一个像平面(11;11,11a)中的至少一个像场(9,10;9a,10a),其特征在于至少两个物场(4,5;4a,5a),该至少两个物场(4,5;4a,5a)空间上彼此分离并与类似空间上彼此分离的两个像场(9,10;9a,10a)相关联;至少两个物场之间的成像光路;和共同使用成像光学系统的至少一个光瞳平面的至少两个像场。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:汉斯于尔根曼,
申请(专利权)人:卡尔蔡司SMT有限责任公司,
类型:发明
国别省市:DE
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