降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台制造技术

技术编号:7111798 阅读:347 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具,挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。本实用新型专利技术通过挂钩夹具上连接的标线来进行氮化硅的涂层喷涂限制,使得坩埚内壁氮化硅涂层的免喷高度易于控制,而且不易污染,操作简易,飘散的氮化硅仍然附着在坩埚内壁,自然过渡。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池
用坩埚加热旋转台,尤其是一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台
技术介绍
在太阳能电池制作
,制作硅晶锭的坩埚内壁需要喷涂氮化硅,主要是为了防止硅与坩埚粘连,即粘锅,因为液态硅具有一定的溶解能力。粘锅将会造成晶锭破裂, 即裂锭,因为坩埚与硅的热膨胀率系数不同。另外,喷涂氮化硅可降低对晶锭质量的污染。 因此,氮化硅的涂层喷涂很重要。但是由于一般的坩埚高度均大于所需制作晶锭的高度,因此,坩埚内壁上部具有免喷高度,常规的在坩埚内壁喷涂氮化硅时,采用在坩埚内壁画线, 但这种方式易污染,一喷涂即看不到画线。或者,用夹子将裁好的纸板夹在坩埚内壁,这种方式下纸板易污染易受潮,喷在纸板上的悬浮液易流淌到坩埚内造成喷涂不合格,同时飘散的氮化硅附在纸板上也是一种浪费。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,使氮化硅喷涂不易污染,操作建议,飘散的氮化硅仍然附着在坩埚上,自然过渡。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,所述的夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具,所述的挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩, 第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。具体地,所述的挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,所述的柱形悬挂部件开有可连接标线的上、下两个通孔。具体地,所述的挂钩具有圆柱形连接部件与悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,所述的悬挂部件包括与圆柱形连接部件固定连接的柱形连接部分、与柱形连接部分连接的圆柱形悬挂部分,圆柱形悬挂部分开有可连接标线的中心通孔。具体地,所述的挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,所述的柱形悬挂部件开有横向孔与纵向 ?L,横向孔与纵向孔相通,纵向孔与柱形悬挂部件的底部相通。本技术的有益效果是本技术通过挂钩夹具上连接的标线来进行氮化硅的涂层喷涂限制,使得坩埚内壁氮化硅涂层的免喷高度易于控制,而且不易污染,操作简易,飘散的氮化硅仍然附着在坩埚内壁,自然过渡。以下结合附图对本技术作进一步说明。附图说明图1是本技术的实施例一中挂钩的结构示意图;图2是本技术的实施例二中挂钩的结构示意图;图3是本技术的实施例三中挂钩的结构示意图。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图, 仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。实施例一如图1所示,一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具, 挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,柱形悬挂部件开有可连接标线的上、下两个通孔。实施例二 如图2所示,一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具, 挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。挂钩具有圆柱形连接部件与悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,悬挂部件包括与圆柱形连接部件固定连接的柱形连接部分、与柱形连接部分连接的圆柱形悬挂部分,圆柱形悬挂部分开有可连接标线的中心通孔。实施例三如图3所示,一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具, 挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,柱形悬挂部件开有横向孔与纵向孔,横向孔与纵向孔相通,纵向孔与柱形悬挂部件的底部相通。本技术通过在挂钩上连接的标线作为坩埚内壁氮化硅免喷涂层的标示线,有效控制氮化硅涂层的喷涂限制,使得坩埚内壁氮化硅涂层的免喷高度易于控制,而且不易污染,操作简易,飘散的氮化硅仍然附着在坩埚内壁,自然过渡。降低氮化硅单耗的理论依据坩埚内壁高度:400mm ;晶锭高度250-295mm ;理论氮化硅粉免喷高度400-295 = 105mm ;实际氮化硅粉免喷高度100mm ;实际免喷面积840*100*4= 33600mm2 ;J;甘埚内表面积840*840+840*400*4 = 2049600mm2 ;可免喷比例33600/2049600= 1/6 ;减少氮化硅用量420g*l/6 = 70g。以上述依据本技术的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。权利要求1.一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,其特征在于具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,所述的夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具,所述的挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。2.根据权利要求1所述的降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,其特征在于所述的挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,所述的柱形悬挂部件开有可连接标线的上、下两个通孔。3.根据权利要求1所述的降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,其特征在于所述的挂钩具有圆柱形连接部件与悬挂部件,圆柱形连接部件开有中心通孔,圆柱形连接部件与第三支架固定连接,所述的悬挂部件包括与圆柱形连接部件固定连接的柱形连接部分、与柱形连接部分连接的圆柱形悬挂部分,圆柱形悬挂部分开有可连接标线的中心通孔。4.根据权利要求1所述的降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,其特征在于所述的挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件,圆柱形连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台,其特征在于:具有坩埚本体,坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板,所述的夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具,所述的挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩,第一支架固定安装在夹具挡板上,第二支架与第一支架铰接连接,第三支架与第二支架铰接连接,第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩,夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张继兵应建平
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司
类型:实用新型
国别省市:32

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