离子注入机的分析器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。本实用新型专利技术的优点是结构简单、自动清理剥离物、大大减少了剥离物进入后段的可能性、也大大减少了维护人员的劳动力。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种离子注入机的分析器。
技术介绍
离子注入技术是近年来发展起来的一种材料表面改性高新技术，其基本原理是 用能量为几十到几百kev量级的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理和化学的相互作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得新的优异性能。由于无需在高温环境下进行，因此不会改变工件的外形尺寸和表面光洁度，离子注入后无需进行热处理和精加工，离子注入层由离子束与机体表面发生一系列物理和化学的相互作用而形成一个新的表面，它与基体之间不存在剥落问题。在离子注入机台生产过程中，反应气体中可能会夹杂少量的其它气体，这样从离子源吸取的离子中除了需要的杂质离子外，还会有其他离子。所以所有的离子束从离子源到晶圆端，必须经过一个筛选磁场的空间，也就是分析器，所述分析器包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，所述离子筛选管侧壁上的石墨的作用是避免离子筛选管内大量不需要的离子击穿离子筛选管，离子筛选管的入口端与离子源端在同一直线上，离子筛选管的出口端与真空腔室在同一直线上。这样在经过离子筛选管的过程中，有大量不需要的离子会打到离子筛选管的石墨上，时间一长，大量的剥离物会从石墨上脱落，现在使用的离子筛选管从离子源端到离子筛选管以及通到真空腔室是一个平面，离子筛选管中的剥离物到达真空腔室没有任何阻挡。所述剥离物会伴随离子束进入真空腔室而影响产品性能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种自动清理剥离物的离子注入机的分析器。本技术的技术解决方案是，离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，其特殊之处在于，所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。作为优选所述活动丝杆通过一活动真空轴承安装在离子筛选管侧壁上。作为优选所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。作为优选所述沟槽的深度为2-5厘米，沟槽宽度为3-5厘米。作为优选所述驱动机构为步进电机。作为优选所述伸缩刷子由耐高温、柔韧性好的高分子材料制成。作为优选所述高分子材料为橡胶或塑料或纤维。与现有技术相比，本技术的优点是结构简单、自动清理、大大减少了剥离物进入后段的可能性、也大大减少了维护人员的劳动力。附图说明图1是本技术离子筛选管的俯视图。具体实施方式本技术下面将结合附图作进一步详述图1示出了本技术的较佳实施例。请参阅图1所示，在本实施例中，离子注入机的分析器，包括离子筛选管1、离子筛选管侧壁11上的石墨111，所述离子筛选管的底壁12靠近侧壁11处设有沟槽121，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁11上穿设一活动真空轴承(图中未示)，活动丝杆21穿过活动真空轴承伸入离子筛选管1内，活动丝杆21在离子筛选管1内的一端装有伸缩刷子 211，活动丝杆21在离子筛选管1外的一端装有驱动机构212。因为对伸缩刷子211位置的精度要求较高，驱动机构212采用步进电机；伸缩刷子211由耐高温，柔韧性好的高分子材料制成，所述高分子材料可以为塑料、合成纤维、橡胶等。考虑现有离子注入机的离子筛选管的尺寸，沟槽121的深度可选为2-5厘米，沟槽121的宽度必须大于3厘米，太窄大一些的剥离物落不到沟槽121中去，沟槽121的宽度可选为3-5厘米。所述伸缩刷子211在伸展状态时，伸缩刷子211顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子211在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁11 一侧的沟槽121 内。本装置的工作原理如下在每天腔体环境监测之前，开启步进电机212带动活动丝杆21前后移动，带动伸缩刷子211动作5个来回之后停止步进电机212运动，这时将离子筛选管底壁12上的剥离物都清扫到沟槽121内，离子注入机再开始做腔体环境监测，沟槽121内的剥离物在做整个离子注入机的维护时拆下离子筛选管1进行清理。以上所述仅为本技术的较佳实施例，凡依本技术权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本技术权利要求的涵盖范围。权利要求1.一种离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，其特征在于所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。2.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于所述活动丝杆通过一活动真空轴承安装在离子筛选管的侧壁上。3.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。4.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于所述沟槽的深度为2-5 厘米，沟槽宽度为3-5厘米。5.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于所述驱动机构为步进电机。6.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于所述伸缩刷子由耐高温、 柔韧性好的高分子材料制成。7.根据权利要求6所述的离子注入机的分析器，其特征在于所述高分子材料为塑料或橡胶或纤维。专利摘要本技术涉及一种离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。本技术的优点是结构简单、自动清理剥离物、大大减少了剥离物进入后段的可能性、也大大减少了维护人员的劳动力。文档编号H01J37/317GK202142496SQ20112026525公开日2012年2月8日 申请日期2011年7月25日 优先权日2011年7月25日专利技术者史旭, 汪东, 许飞, 邢猛, 陈立峰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，其特征在于：所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许飞，陈立峰，邢猛，汪东，史旭，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31