本发明专利技术提供能够以简单的结构进行两光束的分支和两光束之间的间隔的调整的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。该光学装置具有：分束器(31)，其使从振荡器(2)振荡出的激光束(Lb)分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；第一反射镜(34)，其将从该分束器(31)出射的第一分支束(Lb1)再次向分束器反射；第二反射镜(36)，其将从该分束器(31)出射的第二分支束(Lb2)再次向分束器(31)反射；以及旋转部(37)，其使第一反射镜(34)和第二反射镜(36)以分束器(31)中的激光束(Lb)的分支点(32)为旋转中心一体地旋转。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及向晶片进行激光照射的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。
技术介绍
在半导体设备制造步骤中，根据在作为大致圆板状的半导体工件的表面上以格子状排列的切割道(切断线)，来划分为多个区域，通过沿着切割道切断在该划分的区域上形成有IC、LSI等的电路的半导体工件，对每个电路进行分割，制造各个半导体芯片。沿着半导体工件的切割道的切断，通常通过称为切片机的切削装置来进行，还可以进行照射激光光线来进行切断的加工方法(例如，参照专利文献1)。另外，还公开有为了提高加工效率，将激光束分支为两个而能够同时对两处进行加工的光学系统(例如，参照专利文献2、3)。专利文献1日本特开平10-305420号公报专利文献2日本特开2001-12U81号公报专利文献3日本特表2003-531393号公报上述的光学系统是分别使电流计镜或楔形棱镜旋转2轴以上，控制两光束的方式，存在驱动控制复杂，成本提高，空间变大的问题。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述问题而提出的，其主要的技术目的在于，提供一种通过比以往简单的结构，能够进行两束的分支和两束之间的间隔的调整的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。为了解决上述问题，实现目的，本专利技术提供一种光学装置，该光学装置具有振荡器，其振荡出激光束；分支机构，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为两束；以及聚光器，其对从该分支机构出射的两束激光束进行会聚，其特征在于，该分支机构具有分束器，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；第一反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束再次向该分束器反射；第二反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束再次向该分束器反射；旋转部，其使该第一反射镜和该第二反射镜以该分束器中的该激光束的分支点为旋转中心一体地旋转；以及控制部，其使该旋转部旋转而变更该第一分支束对该第一反射镜的入射角度和该第二分支束对该第二反射镜的入射角度，从而调整在被该第一反射镜反射之后被该分束器反射的第一分支束与在被该第二反射镜反射之后透过该分束器的第二分支束所成的角度，该聚光器配置在经如下过程后的该第一分支束和该第二分支束行进的光路上，该第一分支束经过的过程为在透过了该分束器之后被该第一反射镜反射而再次入射到该分束器，并被该分束器反射而从该分束器出射，该第二分支束经过的过程为在被该分束器反射之后被该第二反射镜反射而再次入射到该分束器中，并透过该分束器而从该分束器出射。另外，本专利技术的光学装置，在上述的专利技术中，其特征在于，该分束器为偏振分束器，该分支机构具有配设在该激光束的分支点与该第一反射镜之间的第一 1/4波长板；以及配设在该激光束的分支点与该第二反射镜之间的第二 1/4波长板。另外，本专利技术的光学装置，在上述的专利技术中，其特征在于，该分束器为半反镜。另外，本专利技术的光学装置，在上述的专利技术中，其特征在于，所述光学装置具有第一中间反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射；以及第二中间反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射，该第一反射镜被设定为，使被该第一中间反射镜反射的该第一分支束入射到该分束器中的、从由该振荡器振荡出的激光束入射的位置向所述旋转轴方向偏离的位置，该第二反射镜被设定为，使被该第二中间反射镜反射的该第二分支束入射到该分束器中的、从由该振荡器振荡出的激光束入射的位置向该旋转轴方向偏离的位置。另外，本专利技术还提供一种激光加工装置，该装置具有保持单元，其保持工件；以及加工单元，其对保持在该保持单元上的工件照射激光束而进行加工，其特征在于，该加工单元具有上述光学装置。根据本专利技术，能够仅以1轴的旋转驱动机构来实现能够进行两光束的分支和两光束之间的间隔的调整的光学装置以及激光加工装置。附图说明图1是本专利技术的实施方式1的光学装置的示意结构图。图2是表示本专利技术的实施方式1的光学装置中的分支机构的说明图。图3-1是表示本专利技术的实施方式1的对光学装置中的分支机构的反射镜的入射角度为0度时的分支束的图。图3-2是表示本专利技术的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向顺时针方向旋转了 θ 1的状态的图。图3-3是表示本专利技术的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向顺时针方向旋转了 θ 2的状态的图。图3-4是表示本专利技术的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向逆时针方向旋转了 θ 1的状态的图。图3-5是表示本专利技术的实施方式1的使光学装置中的分支机构的反射镜向逆时针方向旋转了 θ 2的状态的图。图4是表示本专利技术的实施方式2的使激光束入射到光学装置的分支机构的状态的立体图。图5是本专利技术的实施方式的激光加工装置的立体图。图6-1是晶片的分割预定线附近的剖面图。图6-2是表示对晶片的分割预定线的隔着规定间隔的位置照射分支束的状态的剖面图。图6-3是表示沿着晶片的分割预定线的宽度方向中央照射光束来形成分割槽的状态的剖面图。符号说明1 光学装置3、3A:分支机构5 驱动部31 分束器32 分支点34-1:第一中间反射镜35 第二 1/4 波长板36、36-2 第二反射镜100 激光加工装置Lb 激光束Lb2:第二分支束具体实施例方式以下，根据附图说明本专利技术的各实施方式的光学装置以及激光加工装置。(实施方式1)图1 图3表示了本专利技术的实施方式1的光学装置1。本实施方式的光学装置1 能够在沿着工件的分割预定线来进行分割时，进行激光加工的情况中应用。如图1所示，光学装置1具有振荡器2，其振荡出激光束Lb ；分支机构3，该分支机构3中入射从振荡器2振荡出的激光束Lb，将该激光束Lb分支为第一分支束Lbl和第二分支束Lb2这两个光束，或者将激光束Lb作为一个光束来出射；聚光器4，其对从分支机构 3出射的这些光束进行会聚，以相对于工件W为规定的光束直径的方式调整；驱动部5，其为了调节分支机构3而驱动；以及控制部6，其控制驱动部5。振荡器2是用于振荡出规定波长的激光光线的装置，例如能够应用YAG激光振荡器或YV04激光振荡器等各种激光光线振荡器。如图2所示，分支机构3具有分束器31，其使从振荡器2振荡出的激光束Lb分支为透过而行进的第一分支束Lbl和反射而行进的第二分支束Lb2 ；第一反射镜34，其将从该分束器31出射的第一分支束Lbl再次向分束器反射；第二反射镜36，其将从该分束器31 出射的第二分支束Lb2再次向分束器31反射；以及圆板状的旋转部37，其使第一反射镜34 和第二反射镜36，以分束器31中的激光束Lb的分支点32作为旋转中心一体地旋转。特别是，第一反射镜34和第二反射镜36以伴随旋转部37的旋转而在相同的圆上旋转移动的方式设定。换言之，第一反射镜34和第二反射镜36是以与分支点32间的距离相等的方式设定。2 振荡器 4:聚光器 6 控制部 31A 接合面 33 第一 1/4波长板 34,34-2 第一反射镜 36-1 第二中间反射镜 37 旋转部 101 保持机构 Lbl 第一分支束上述旋转部37通过使图1所示的驱动部5驱动、旋转，来变更第一分支束Lbl对第一反射镜34的入射角度和第二分支束Lb2对第二反射镜36的入射角度。因此，通过驱动旋转部37，来调整被第一反射镜本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种光学装置，其具有：振荡器，其振荡出激光束；分支机构，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为两束；以及聚光器，其对从该分支机构出射的两束激光束进行会聚，该光学装置的特征在于，该分支机构具有：分束器，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；第一反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束再次向该分束器反射；第二反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束再次向该分束器反射；旋转部，其使该第一反射镜和该第二反射镜以该分束器中的该激光束的分支点为旋转中心一体地旋转；以及控制部，其使该旋转部旋转而变更该第一分支束对该第一反射镜的入射角度和该第二分支束对该第二反射镜的入射角度，从而调整在被该第一反射镜反射之后被该分束器反射的第一分支束与在被该第二反射镜反射之后透过该分束器的第二分支束所成的角度，该聚光器配置在经如下过程后的该第一分支束和该第二分支束行进的光路上，该第一分支束经过的过程为：在透过了该分束器之后被该第一反射镜反射而再次入射到该分束器，并被该分束器反射而从该分束器出射，该第二分支束经过的过程为：在被该分束器反射之后被该第二反射镜反射而再次入射到该分束器中，并透过该分束器而从该分束器出射。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤优作，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：JP
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