【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉检测设备
，特别是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构。
技术介绍
现有的单晶炉在排气管路中设置压力检测口，压力检测口通过手阀开闭，在压力检测口上连接真空探头，真空探头检测绝对压力2700 以下压力值，用于炉内拉晶工艺压力控制。仅有该真空探头，压力检测范围小，无法对单晶炉在各个工作状态时的压力进行检测，在单晶炉故障时及时报警。而且真空探头之间安装在压力检测口上，容易受粉尘污染， 造成真空探头损坏。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，方便连接真空压力传感器，完善压力检测范围，同时减少粉尘污染检测元件。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，包括三通装置，三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，支管上具有用于与真空压力传感器连接的快拆法兰装置。在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。本技术的有益效果是通过加装的三通结构，增加了压力检测途径，可方便的与真空压力传感器连接，扩大压力检测范围，当设备故障时可以及时发出警报。同时加装的三通结构增加了检测元件距离压力检测口的距离，减少了粉尘污染，粉尘过滤装置更是进一步保护了真空压力传感器。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明；附图说明图1是本技术的结构示意图；图中，1.真空探头，2.真空压力传感器，3.三通装置，4.单晶炉报警输出回路， 5.快拆法兰装置。具体实施方式如图1所示，一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，包括三通装置...
【技术保护点】
１．一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，其特征是：包括三通装置（３），所述的三通装置（３）包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头（１）连接，支管上具有用于与真空压力传感器（２）连接的快拆法兰装置（５）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戴建中，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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