本发明专利技术涉及溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法。溅镀用旋转靶材的粘接方法包括如下步骤：(a)将背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经表面处理的背板和靶材；(d)在经冷却的背板的外周面上结合靶材并固定于平板上；(e)将固定的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在加热背板和靶材的同时，使其振动；(g)在加热并振动背板和靶材的同时，向背板和靶材的空间投入粉末状媒介粉末；(h)熔融投入铟并使其均匀分布；及(i)在停止加热及振动背板和靶材的状态下进行冷却。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，尤其涉及在构成溅镀用旋转靶材的背板外周面上粘接靶材时，可利用将市场上容易购买且价廉的成分混合于少量铟制备而成的粘接合成物进行粘接的。
技术介绍
一般而言，溅镀(Sputtering)是指以膜的形式附着于目标物表面的技术，而上述溅镀用于为了在陶瓷或半导体材料上形成电子电路，从而通过在高真空状态下蒸发固体形成薄膜(Thin film)或厚膜(Thick film)的情况。换言之，上述溅镀(Sputtering)为在真空状态下充入惰性气体(主要是氩气(Ar gas))的同时，在基片和靶材(Target 被附物质Cr、Ti等)之间加上直流电压，从而通过使离子化的氩与靶材碰撞，在基片上形成靶材物质膜。另外，可通过充入与氩气一样微量的 02、N2气体，进行反应性溅镀(ITO、TiN等)。上述溅镀属于干式镀金法，在进行镀金处理时无需将需要涂布的对象物置于液体或高温气体之中。因此，在各种基片材料(树脂、玻璃、陶瓷及其他)的板载物、成型品中用作电极、防护罩(Shield)及蒙板(Masking)。另外，如上所述，在完成涂布或镀膜等镀金处理的溅镀设备上，作为施加高电压的电极使用旋转靶材。上述溅镀用旋转靶材，包括圆筒形背板和结合于背板外周面的圆筒形靶材，而靶材通过铟(Indium)的熔融结合粘接于背板外周面上成为一体。上述铟(Indium)为属于元素周期表13组的硼组的稀有金属元素，1863年由F.赖希和H.T.里希特在锌矿中发现银白色光泽的铟，而且因其发出独特的靛蓝色(indigo)光谱线而得名。但是，上述铟(Indium)具有融化之后附着于或弄湿干净的玻璃及其他表面的独特的特性，从而用于焊接密封玻璃、金属、石英、陶瓷、大理石之间的缝隙，而且因可增加耐蚀性并在表面形成粘接性油膜，从而用于涂布飞机用引擎轴承。但是，使圆筒形靶材熔融结合于构成上述溅镀用旋转靶材的圆筒形背板外周面上的铟(Indium)，因其属于稀有金属，因此价格昂贵，从而增加溅镀用旋转靶材的制造成本。而且，使圆筒形靶材熔融结合于构成上述溅镀用旋转靶材的圆筒形背板外周面上的铟(Indium)，因其属于稀有金属，因此供应量有限，从而导致市场价格非常不稳定，而且难以购得。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术之不足而提供，其在背板外周面上粘接靶材时，利用将市场上容易4购买且价廉的成分混合于少量铟制备而成的粘接合成物进行粘接，从而节省成本，降低生产单价。本专利技术的另一目的在于，提供，其在背板外周面上粘接靶材时，利用将市场上容易购买且价廉的成分混合于少量铟制备而成的粘接合成物进行粘接，从而稳定地购得所需材料。为达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案如下本专利技术溅镀用旋转靶材的粘接合成物，在可旋转地设置于溅镀用真空室并被驱动电机驱动旋转地同时，施加高电压的溅镀用旋转靶材的呈圆筒形的背板外周面，粘接结合圆筒形靶材，而上述溅镀用旋转靶材的粘接合成物由如下物质混合制备而成5 50重量％的铟(Indium)；及50 95重量％的非磁性体且比重大于铟(Indium)的媒介粉末(Media powder)。另外，在上述本专利技术的构成中，媒介粉末(Media Powder)由从沙子(Sand)、不锈钢(S/S)、铜(Cu)、钨(W)、六羰基钨(Tungsten hexacarbonyl)氧化铝(Al2O3)中选择的一种以上物质构成。此时，若选择两种以上物质混合制备媒介粉末(Media powder)，则可以相同的比例混合。另外，在上述本专利技术的构成中，媒介粉末(Media powder)的大小可为0. 001 Imm0本专利技术溅镀用旋转靶材的粘接方法，包括如下步骤(a)将构成溅镀用旋转靶材的背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经(a)步骤进行加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟(Indium)并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经(b)步骤进行表面处理的背板和靶材；(d)在经(c)步骤冷却的背板的外周面上结合靶材并纵向固定于平板上；(e)将经(d)步骤固定于平板的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在经(e)步骤将背板和靶材加热至一定温度以上的同时，使其振动；(g)在经(f)步骤加热并振动背板和靶材的同时，向背板的外周面和靶材内周面之间的空间，熔融投入铟(Indium) ； (h)经(g)步骤熔融投入铟(Indium)之后，将粒子状的媒介粉末(Media powder)投入背板的外周面和靶材内周面之间的空间，并通过振动使熔融铟 (Indium)均勻分布至媒介粉末的粒子之间；及(i)经(h)步骤使熔融铟(Indium)分布于媒介粉末的粒子之间之后，在停止加热及振动的状态下进行冷却。本专利技术另一溅镀用旋转靶材的粘接方法，包括如下步骤(a)将构成溅镀用旋转靶材的背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经(a)步骤进行加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟(Indium)并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经(b)步骤进行表面处理的背板和靶材；(d)在经(C)步骤冷却的背板的外周面上结合靶材并纵向固定于平板上；(e)将经(d)步骤固定于平板的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在经(e)步骤将背板和靶材加热至一定温度以上的同时，使其振动；(g)在经(f)步骤加热并振动背板和靶材的同时，向背板的外周面和靶材内周面之间的空间，按一定比例同时投入熔融铟(Indium)和粒子状媒介粉末(Media powder)；及(h)经 (g)步骤投入铟(Indium)和媒介粉末(Media powder)之后，在停止加热及振动的状态下进行冷却。本专利技术溅镀用旋转靶材的粘接方法，包括如下步骤(a)将构成溅镀用旋转靶材的背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经(a)步骤进行加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟(Indium)并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经(b)步骤进行表面处理的背板和靶材；(d)在经(c)步骤冷却的背板的外周面上结合靶材并纵向固定于平板上；(e)将经(d)步骤固定于平板的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在经(e)步骤将背板和靶材加热至一定温度以上的同时，使其振动； (g)在经(f)步骤加热并振动背板和靶材的同时，向背板的外周面和靶材内周面之间的空间，投入一定量的粒子状媒介粉末(Media powder) ； (h)经(g)步骤投入媒介粉末(Media powder)之后，熔融投入一定量的铟(Indium)，并通过振动使熔融铟(Indium)均勻分布至媒介粉末的粒子之间；及(i)经(h)步骤使熔融铟(Indium)分布于媒介粉末的粒子之间之后，在停止加热及振动的状态下进行冷却。在上述本专利技术的构成中，铟(Indium)和媒介粉末(Media powder)的合成比可为 5 50 50 95重量％。另外，在本专利技术的构成中，媒介粉末(Media Powder)由从沙子(Sand)、不锈钢(S/ S)、铜(Cu)、钨(W)、六羰基钨(Tungsten hexacarbonyl)氧化铝(Al2O3)中选择的一种以上物质构成。此时，若选择两种以上物质混合制备媒介本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种溅镀用旋转靶材的粘接合成物，在可旋转地设置于溅镀用真空室并被驱动电机驱动旋转地同时，施加高电压的溅镀用旋转靶材的呈圆筒形的背板外周面，粘接结合圆筒形靶材，而上述溅镀用旋转靶材的粘接合成物由如下物质混合制备而成：５～５０重量％的铟；及５０～９５重量％的非磁性体且比重大于铟的媒介粉末。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：W·R·辛普森，韩淳锡，
申请(专利权)人：TCB韩国公司，
类型：发明
国别省市：KR
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