石英坩埚清洗机制造技术

一种石英坩埚清洗机，它有一个机架，在机架内下部设有支撑座，在支撑座上安装有可旋转的空心轴，在空心轴上端固接有转盘，在转盘上表面均布有卡盘爪，在空心轴内贯穿有上水管，在上水管上端连接有U形内喷淋管，在机架上设有驱动装置，驱动装置通过传动机构与空心轴下端连接传动，在机架上位于转盘一侧设有弧形外喷淋管，上水管和外喷淋管下端分别与进水管路连通，在机架下部围设有水槽。优点是：通过该石英坩埚清洗机能够对石英坩埚内、外表面进行高压清洗，清洗干净彻底，能够彻底清洗掉坩埚表面的油污或手印，可提高石英坩埚的质量，最终提高拉单晶硅的质量和合格率；同时能够降低工人劳动强度，提高工作效率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术特别涉及一种石英坩埚清洗机。
技术介绍
目前，石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃态器皿，经过切磨、 检验、浸泡、清洗、烘干等工艺直接投入生产是国内外坩埚生产厂家的普遍做法。这种做法制成的坩埚在熔制成型后，在切磨和检验过程中表面容易粘有油或手印，虽然要通过手工浸泡、清洗，但难以清洗干净，在投入生产时会影响拉单晶硅的质量和合格率，而且手工清洗劳动强度大，工作效率低。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术存在的上述问题，提供一种可对石英坩埚内、 外表面进行高压清洗，清洗干净彻底，能够提高石英坩埚的质量，最终提高拉单晶硅的质量和合格率，并可降低劳动强度，提高工作效率的石英坩埚清洗机。本技术是这样实现的它有一个机架，在机架内下部设有支撑座，在支撑座上通过轴承座安装有可旋转的空心轴，在空心轴上端固接有转盘，在转盘上表面均布有卡盘爪，在空心轴内贯穿有上水管，在上水管上端连接有U形内喷淋管，在机架上设有驱动装置，驱动装置通过传动机构与空心轴下端连接传动，在机架上位于转盘一侧设有弧形外喷淋管，在U形内喷淋管和外喷淋管上分别均布有喷嘴，上水管和外喷淋管下端分别与进水管路连通，在机架下部围设有水槽。上述的石英坩埚清洗机，所述的支撑座、轴承座和空心轴下部位于水槽内。上述的石英坩埚清洗机，所述的驱动装置是由固定在机架上端的电机和减速机连接而成。上述的石英坩埚清洗机，在空心轴上端固接有一个法兰盘，所述的转盘通过法兰盘与主轴相连接。上述的石英坩埚清洗机，所述的传动机构是由垂直安装在机架内一侧的传动轴和连接传动轴与空心轴的皮带传动机构构成，所述的传动轴上端与驱动装置输出轴通过联轴器连接。本技术的优点是通过该石英坩埚清洗机能够对石英坩埚内、外表面进行高压清洗，清洗干净彻底，能够彻底清洗掉坩埚表面的油污或手印，可提高石英坩埚的质量， 最终提高拉单晶硅的质量和合格率；同时能够降低工人劳动强度，提高工作效率。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是图1的左视图。图中机架1，支撑座2，皮带传动机构3，轴承座4，法兰盘5，转盘6，卡盘爪7，上水管8，内喷淋管9，轴座10，传动轴11，电机12，减速机13，支架14，外喷淋管15，石英坩埚 16，喷嘴17，进水管路18，水槽19，空心轴20。具体实施方式如图所示，本技术有一个机架1，在机架1下部围设有水槽19，在水槽19内中部固设有支撑座2，在支撑座2上通过轴承座4和轴承安装有可旋转的空心轴20，在空心轴 20上端固接有一个法兰盘5并通过法兰盘5连接有一个转盘6，在转盘6上表面均布有卡盘爪7。在空心轴20内贯穿有上水管8，在上水管8上端连接有U形内喷淋管9。在机架1 上设有驱动装置，驱动装置是由固定在机架1上端的电机12和减速机13连接而成。驱动装置通过传动机构与空心轴20下端连接传动，所述的传动机构是由通过轴座10垂直安装在机架1内一侧的传动轴11和连接传动轴11与空心轴20的皮带传动机构3构成，所述的传动轴11上端与减速机13输出轴通过联轴器连接。在机架1上位于转盘6—侧固定有弧形支架14，在弧形支架14上固定有弧形外喷淋管15，在U形内喷淋管9和外喷淋管15上分别均布有喷嘴17，上水管8和外喷淋管15 下端分别管路与进水管路18连通。使用时，将进水管路18与高压泵连接，将石英坩埚16放入机架1内并且口朝下倒置于卡盘爪7对应的阶梯上，启动电机12，通过减速机13和传动机构带动空心轴20和转盘 6低速旋转，放置在转盘6上的石英坩埚16随之旋转，高纯水通过高压泵经内喷淋管9和外喷淋管15对坩埚内、外表面进行清洗。权利要求1.一种石英坩埚清洗机，其特征是它有一个机架，在机架内下部设有支撑座，在支撑座上通过轴承座安装有可旋转的空心轴，在空心轴上端固接有转盘，在转盘上表面均布有卡盘爪，在空心轴内贯穿有上水管，在上水管上端连接有U形内喷淋管，在机架上设有驱动装置，驱动装置通过传动机构与空心轴下端连接传动，在机架上位于转盘一侧设有弧形外喷淋管，在U形内喷淋管和外喷淋管上分别均布有喷嘴，上水管和外喷淋管下端分别与进水管路连通，在机架下部围设有水槽。2.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗机，其特征是所述的支撑座、轴承座和空心轴下部位于水槽内。3.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗机，其特征是所述的驱动装置是由固定在机架上端的电机和减速机连接而成。4.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗机，其特征是在空心轴上端固接有一个法兰盘，所述的转盘通过法兰盘与主轴相连接。5.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗机，其特征是所述的传动机构是由垂直安装在机架内一侧的传动轴和连接传动轴与空心轴的皮带传动机构构成，所述的传动轴上端与驱动装置输出轴通过联轴器连接。专利摘要一种石英坩埚清洗机，它有一个机架，在机架内下部设有支撑座，在支撑座上安装有可旋转的空心轴，在空心轴上端固接有转盘，在转盘上表面均布有卡盘爪，在空心轴内贯穿有上水管，在上水管上端连接有U形内喷淋管，在机架上设有驱动装置，驱动装置通过传动机构与空心轴下端连接传动，在机架上位于转盘一侧设有弧形外喷淋管，上水管和外喷淋管下端分别与进水管路连通，在机架下部围设有水槽。优点是通过该石英坩埚清洗机能够对石英坩埚内、外表面进行高压清洗，清洗干净彻底，能够彻底清洗掉坩埚表面的油污或手印，可提高石英坩埚的质量，最终提高拉单晶硅的质量和合格率；同时能够降低工人劳动强度，提高工作效率。文档编号B08B9/28GK202123090SQ20112021529公开日2012年1月25日 申请日期2011年6月23日 优先权日2011年6月23日专利技术者侯建, 王震 申请人:锦州佑鑫电子材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种石英坩埚清洗机，其特征是：它有一个机架，在机架内下部设有支撑座，在支撑座上通过轴承座安装有可旋转的空心轴，在空心轴上端固接有转盘，在转盘上表面均布有卡盘爪，在空心轴内贯穿有上水管，在上水管上端连接有Ｕ形内喷淋管，在机架上设有驱动装置，驱动装置通过传动机构与空心轴下端连接传动，在机架上位于转盘一侧设有弧形外喷淋管，在Ｕ形内喷淋管和外喷淋管上分别均布有喷嘴，上水管和外喷淋管下端分别与进水管路连通，在机架下部围设有水槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯建，王震，
申请(专利权)人：锦州佑鑫电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21