一种大面积纳米缝电极并行制造方法技术

技术编号:7072831 阅读:276 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种大面积纳米缝电极并行制造方法,在刚性基材和具有应力集中豁口的电极材料之间引入一层有机聚合物材料,形成“刚性基材-有机聚合物材料-电极材料”的三明治结构,对刚性基材均匀加热,有机聚合物材料受热体积膨胀,从而使其表面的电极材料内部产生拉应力,当拉应力达到电极材料的断裂极限时,电极材料断裂,形成纳米级裂缝结构,本发明专利技术解决了传统金属薄膜断裂所需的应变来源问题,裂缝位置精确可控,控制加热温度和时间可以改变纳米缝宽度大小;同时,面板受热均匀,保证了阵列化纳米裂缝电极大面积并行制造的可行性和均匀性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种大面积纳米缝电极并行制造方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,制造有机聚合物材料的阵列化结构,选择刚性基材作为衬底,其表面做清洁处理,然后在其表面制备一层有机聚合物材料的阵列化结构,有机聚合物材料在受热情况下具有体积膨胀特性,有机侧释放,随着加热温度不断的升高,热量无法及时扩散出去,当电极材料薄膜所受的应力超过其破坏极限时,电极材料薄膜将在应力集中的豁口位置形成纳米级缝隙结构,控制材料厚度、加热温度和时间能够改变纳米缝宽度的大小。步,制造纳米缝结构图形,对第二步完成的电极材料图形结构的刚性基材均匀加热,温度控制在60°~100°,刚性基材的强度大,热向聚合物材料传递,聚合物材料受热开始膨胀,封闭空间内聚合物材料的膨胀给封闭边界带来压应力,压应力只能通过电极材料薄膜一料图形结构,形成“刚性基材-有机聚合物材料-电极材料”的三明治结构,电极材料图形结构上下边包含豁口,在应变作用下形成应力集中,从而控制裂缝在其中间位置生长,电极材料图形结构的制备采用掩膜蒸镀工艺、Lift-off工艺或湿法腐蚀工艺实现;第三聚合物材料采用环氧树脂、亚克立材料(PMMA)、聚氨酯塑料材料(PU)、硅胶材料(PDMS)或光阻材料,有机聚合物材料阵列化结构的制备采用光刻工艺或点阵喷胶工艺实现;第二步,制造电极材料图形结构,在刚性基材和有机聚合物薄膜表面制备一层电极材...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:邵金友丁玉成缪林林李欣黎相孟
申请(专利权)人:西安交通大学
类型:发明
国别省市:87

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