【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.一种大面积纳米缝电极并行制造方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,制造有机聚合物材料的阵列化结构,选择刚性基材作为衬底,其表面做清洁处理,然后在其表面制备一层有机聚合物材料的阵列化结构,有机聚合物材料在受热情况下具有体积膨胀特性,有机侧释放,随着加热温度不断的升高,热量无法及时扩散出去,当电极材料薄膜所受的应力超过其破坏极限时,电极材料薄膜将在应力集中的豁口位置形成纳米级缝隙结构,控制材料厚度、加热温度和时间能够改变纳米缝宽度的大小。步,制造纳米缝结构图形,对第二步完成的电极材料图形结构的刚性基材均匀加热,温度控制在60°~100°,刚性基材的强度大,热向聚合物材料传递,聚合物材料受热开始膨胀,封闭空间内聚合物材料的膨胀给封闭边界带来压应力,压应力只能通过电极材料薄膜一料图形结构,形成“刚性基材-有机聚合物材料-电极材料”的三明治结构,电极材料图形结构上下边包含豁口,在应变作用下形成应力集中,从而控制裂缝在其中间位置生长,电极材料图形结构的制备采用掩膜蒸镀工艺、Lift-off工艺或湿法腐蚀工艺实现;第三聚合物材料采用环氧树脂、亚克立材料(PMMA)、聚氨酯塑料材料(PU)、硅胶 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邵金友,丁玉成,缪林林,李欣,黎相孟,
申请(专利权)人:西安交通大学,
类型:发明
国别省市:87
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