本实用新型专利技术公开了一种多晶硅生产废料全回收系统,它包括SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元,其底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口,萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接硅粉回收单元的杂质输入口,萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口,萃取剂回流单元的输出口分别连接SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口,硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口。本实用新型专利技术可从废料中回收硅粉、金属氯化物、SiCl4以及氯硅烷高聚物,既节约了能源,又无废渣、废水排出,不会对环境造成污染。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一 种废料回收系统,尤指一种对多晶硅生产过程中产生的废料进行全回收的系统。
技术介绍
由于全球能源日趋紧张,绿色能源——太阳能便被大规模开发利用。太阳能的电池原材料为多晶硅,因此,多晶硅的需求量日趋增大,多晶硅生产被作为绿色经济行业而得到了迅猛地发展。但是,多晶硅在生产过程中会排出一些废水、废渣、稀盐酸等废料,会给人类生存环境带来一定的污染,并且这些废料在排出的同时还会损失很多其它有用的原料,造成了一定的资源浪费。目前,许多生产厂家多采用水解方法来处理多晶硅生产过程中排出的废料,但是采用这种水解方法处理废料的同时还会继续产生废水和废渣,造成严重的二次污染。另外, 在处理废料的过程中也会出现堵塞工艺管道,磨损、腐蚀设备的情况,会给多晶硅的生产造成不良的影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多晶硅生产废料全回收系统,该系统从多晶硅生成过程中排放的废料中回收了生产原料,节约了能源,且无废渣、废水排出,不会对环境造成污染。为了实现上述目的,本技术采用了以下技术方案一种多晶硅生产废料全回收系统,其特征在于它包括废料罐、SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元、硅粉回收单元、金属氯化物回收单元,其中多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐的输入口输入,该废料罐的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的废料输入口,该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口,该萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接该硅粉回收单元的杂质输入口,该萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口,该萃取剂回流单元的输出口分别连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口,该硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口,洗涤剂罐的输出口分别连接该硅粉回收单元、该金属氯化物回收单元的洗涤剂输入口,该金属氯化物回收单元的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐的输入口、萃取剂回收罐的输入口,该萃取剂回收罐、萃取剂罐的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口。所述SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元包括萃取蒸馏塔釜;该萃取蒸馏塔釜的废料输入口连接所述废料罐的输出口 ;该萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口连接所述萃取剂罐、所述萃取剂回收罐、所述萃取剂回流单元的输出口 ;该萃取蒸馏塔釜底部的底料输出口连接所述萃取剂与杂质分离单元的输入口 ;位于该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl4输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口,该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl4回流口,该回流罐的产品输出口连接SiCl4产品输出罐的输入口 ;位于该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口, 该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物回流口,该回流罐的产品输出口连接高聚物产品输出罐的输入口。 所述萃取剂与杂质分离单元包括塔底料罐,所述萃取剂回流单元包括萃取剂回流罐,所述萃取蒸馏塔釜的底料输出口连接该塔底料罐的输入口,该塔底料罐的输出口连接一个过滤器的输入口,该过滤器的萃取剂输出口连接该萃取剂回流罐的输入口,该萃取剂回流罐的输出口连接所述萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口和所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口,该过滤器的杂质输出口连接所述硅粉回收单元的杂质输入所述硅粉回收单元包括硅粉洗涤罐,该硅粉洗涤罐的杂质输入口、洗涤剂输入口分别连接所述萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口、所述洗涤剂罐的输出口,该硅粉洗涤罐的输出口连接硅粉过滤器的输入口,该硅粉过滤器的液相输出口连接含金属氯化物的洗涤剂罐的输入口,该含金属氯化物的洗涤剂罐的输出口分两路,一路经由一个回流开关阀连接该硅粉洗涤罐的洗涤剂输入口,另一路经由一个输送开关阀连接所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口,该硅粉过滤器的固相输出口经由干燥器连接硅粉产品输出罐的输入口。所述金属氯化物回收单元包括萃取剂洗涤罐,该萃取剂洗涤罐的洗涤剂输入口、 含金属氯化物的萃取剂输入口分别连接所述洗涤剂罐的输出口、所述萃取剂回流单元的输出口,该萃取剂洗涤罐的输出口连接分离器的输入口,该分离器的上层输出口、下层输出口分别连接浓缩蒸发器的输入口、脱除金属氯化物的萃取剂罐的输入口,该脱除金属氯化物的萃取剂罐的输出口连接蒸发器的输入口,该蒸发器的洗涤剂输出口、萃取剂输出口分别连接一个冷凝器的输入口、所述萃取剂回收罐的输入口,该浓缩蒸发器的输入口连接所述硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口,该浓缩蒸发器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、结晶器的输入口,该结晶器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、金属氯化物产品输出罐的输入口,该冷凝器的输出口连接所述洗涤剂罐的输入口。本技术的优点是本技术可从多晶硅生成过程中排放的废料中完全回收硅粉、金属氯化物、 SiCl4以及氯硅烷高聚物,该金属氯化物包括A1C13、FeCl3、CuCl2,该SiCl4和氯硅烷高聚物中不含硅粉和金属氯化物,并且,本技术无废渣、废水排出,不会对环境造成二次污染。在本技术中,洗涤剂和萃取剂可再生重复使用,从而节省了洗涤剂和萃取剂的用量。总之,本技术从多晶硅生成过程中排放的废料中回收了生产原料,节约了能源,且无废渣、废水排出,不会对环境造成污染,有利于多晶硅行业的发展,特别适用于多晶硅生产、四氯化硅生产等企业。附图说明图1是本技术的组成框图2是本技术中的SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元、萃取剂与杂质分离单元、 萃取剂回流单元的组成示意图;图3是本技术中的硅粉回收单元的组成示意图;图4是本技术中的金属氯化物回收单元的组成示意图。具体实施方式如图1所示,本技术多晶硅生产废料全回收系统包括废料罐100、SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元200、硅粉回收单元600、金属氯化物回收单元500,其中多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐100的输入口输入,该废料罐100的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元200的废料输入口,该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元200的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元400的输入口,该萃取剂与杂质分离单元400的杂质输出口连接该硅粉回收单元600的杂质输入口,该萃取剂与杂质分离单元400的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元300的输入口,该萃取剂回流单元300的输出口分别连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元200的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元500的含金属氯化物的萃取剂输入口,该硅粉回收单元600的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元500的含金属氯化物的洗涤剂输入口,洗涤剂罐700的输出口分别连接该硅粉回收单元600、该金属氯化物回收单元500的洗涤剂输入口,该金属氯化物回收单元500的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐700的输入口、萃取剂回收罐900的输入口,该萃取剂回收罐900、萃取剂罐800的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元200的萃取剂输本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种多晶硅生产废料全回收系统,其特征在于:它包括废料罐、SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元、硅粉回收单元、金属氯化物回收单元,其中:多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐的输入口输入,该废料罐的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的废料输入口,该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口,该萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接该硅粉回收单元的杂质输入口,该萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口,该萃取剂回流单元的输出口分别连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口,该硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口,洗涤剂罐的输出口分别连接该硅粉回收单元、该金属氯化物回收单元的洗涤剂输入口,该金属氯化物回收单元的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐、萃取剂回收罐的输入口,该萃取剂回收罐、萃取剂罐的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:梁帮立,唐安东,柯细勇,
申请(专利权)人:唐安东,柯细勇,
类型:实用新型
国别省市:11
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