本发明专利技术涉及用于半导体、平板显示器、太阳能等行业的镀膜的基板传输装置和基板传输方法。一种用于镀膜的基板传输装置，包括基板驱动机构，而传输装置还包括独立于基板驱动机构的基板支撑机构。用于镀膜的基板传输方法的步骤为将基板放置在镀膜源的一侧或两侧，使基板的待涂膜面朝向镀膜源的镀膜源工作面，基板与镀膜源工作面的间距为1～100mm；使基板与水平面保持65°～115°自由站立在基板驱动机构上并同时使基板的上部背面依靠在基板支撑机构上进行传输。本发明专利技术使用相互独立的基板驱动机构和基板支撑机构，能使基板无边框自由站立，基板传输装置使镀膜源实现连续进行基板稳定传输镀膜、保证镀膜均匀、源材料利用率高、生产成本低。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于半 导体、平板显示器、太阳能等行业的镀膜的基板传输装置和基板传输方法。
技术介绍
非柔性基板，特别是易碎基板，如玻璃的传输方案很大程度上决定着生产的稳定性和良品率。对于易碎基板通常采用水平放置在平行的辊轮组上，但这种方案只适用于膜面向上的工艺，而且只能进行单基板的镀膜，生产效率低。若要进行双面同时镀膜，基板则需垂直运输，现有技术的垂直运输需要使用基板夹持器或机械手(US2002/0078892， 2002-6-27)或边框设计，固定基板的装置需要同时与基板的正反面接触，结构复杂、成本高、设备维护费用增加、可靠性低。Optisolar公司的美国专利US2010/0151680 (2010-6-17)公开了太阳能电池制备中能够加强温度均勻性的基板载体装置，通过在垂直基板的一面安装背板、在基板的四周安装载体框、同时使用筋条及0型环等配件形成载体装置，使基板在沉积镀膜中通过加热器后再传过背板进行加热或冷却。该专利公开文件提及安装了载体装置的基板可垂直传输，然而该装置至少有六个缺点第一，在基板上安装较多的金属固定件会导致装置安全性降低且基板损耗率高；第二，基板与金属固定件的接触之处无法镀膜，造成基板镀膜不均勻；第三，源材料蒸汽会沉积在金属固定件上，造成源材料浪费；第四，镀膜装置的腔体壁镀膜严重，装置清洁度差，温度不稳定，源材料利用率低；第五，该载体装置设计复杂、生产成本高；第六，基板与金属固定件之间的装卸工作量大。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是提供一种可连续进行两片以上基板镀膜的、保证镀膜均勻、 源材料利用率高、生产成本低的用于镀膜的基板传输装置。本专利技术的目的之二是提供一种利用所述用于镀膜的基板传输装置传输基板的方法。本专利技术的第一技术目的是通过以下技术方案得以实现的—种用于镀膜的基板传输装置，包括基板驱动机构，所述基板驱动机构用于实现基板相对于镀膜源的移动，而所述传输装置还包括独立于所述基板驱动机构的基板支撑机构。本专利技术使用相互独立的基板驱动机构和基板支撑机构，能使基板无边框自由站立，所述基板传输装置使镀膜源实现同时对两片以上基板镀膜、保证镀膜均勻、源材料利用率高、生产成本低。作为本专利技术技术方案的一种优选，所述基板驱动机构和所述基板支撑机构均只有一个工作面用于和基板接触，所述基板支撑机构工作面与水平面的夹角为65° 115°。基板驱动机构的工作面即基板驱动机构与基板接触所在平面，基板支撑机构的工作面即基板支撑机构与基板背面即非镀膜面接触所在平面；所述基板传输装置能使基板保持斜角站立，使基板传输稳定；当基板厚度足够大时，基板可垂直站立，基板传输装置使基板稳定传输。作为本专利技术技术方案的一种优选，所述基板驱动机构为传送带或传送链条。作为本专利技术技术方案的一种优选，所述基板驱动机构包括马达和通过马达驱动的传动轮。更优选地，所述马达为一个，所述传动轮为两个以上，所述传动轮之间连接有链条、传动齿轮或传动带。更优选地，所述传动轮的截面为三角形、矩形或弧形。更优选地，所述传动轮与所述马达之间连接有弹性联轴器。本专利技术所述基板支撑机构或传动轮的材料可以是高温材料如铝、铜、碳化硅、氮化硅、石英、玻璃陶瓷或石墨陶瓷，用于耐高温基板如玻璃基板在高温环境中的镀膜；也可以是低温材料，例如一些有机材料，用于有机基板在低温环境中的镀膜。本专利技术的第二技术目的是通过以下技术方案得以实现的一种使用所述用于镀膜的基板传输装置传输基板的方法，包括以下步骤1)将基板放置在镀膜源一侧或两侧的所述基板驱动机构上，使基板的待涂膜面朝向镀膜源工作面；2)使基板与水平面保持65° 115°自由站立在所述基板驱动机构上，基板的上部背面依靠在所述基板支撑机构上，基板的待涂膜面与镀膜源工作面的间距为1 IOOmm ；3)操控所述基板驱动机构用于实现基板的传输。本专利技术步骤2)所述的间距是指基板的待涂膜面与镀膜源工作面之间的垂直间距。作为本专利技术技术方案的一种优选，利用包括马达和通过马达驱动的传动轮的基板驱动机构，将基板自由站立在所述传动轮上。更优选地，设置两个以上所述传动轮并设置所述传动轮间的间距小于基板在水平方向的一半长度。作为本专利技术技术方案的一种优选，利用固定的导轮作为所述基板支撑机构，并将所述导轮与基板背面的接触部设置于基板上半部。所述基板背面即基板的非镀膜面。作为本专利技术技术方案的一种优选，利用可移动的滑轮作为所述基板支撑机构，并将所述滑轮与基板背面的接触部设置于基板上半部。综上所述，本专利技术具有以下有益效果1、本专利技术使用相互独立的基板驱动机构和基板支撑机构，能使基板无边框自由站立，所述基板传输装置使镀膜源实现连续进行基板稳定传输镀膜、保证镀膜均勻、源材料利用率高、生产成本低；2、本专利技术的基板传输方法简单实用，可实现镀膜源同时对两片以上稳定自由传输的基板进行均勻的镀膜。附图说明图1是本专利技术一种实施例的用于镀膜的基板传输装置的示意图；图2是本专利技术一种实施例的用于镀膜的基板传输装置的侧视图；图3A是本专利技术一种传动轮的截面示意图；图3B是本专利技术另一种传动轮的截面示意图；图3C是本专利技术第三种传动轮的截面示意图；图4是本专利技术另一种实施例的用于镀膜的基板传输装置的侧视图；图中，1-基板；2-马达；3-传动轮；4-基板支撑机构；5-联轴器；6_镀膜源；7_真空腔体室；8-基板驱动机构工作面；9-基板支撑机构工作面；10-镀膜源工作面；11-传送市ο具体实施例方式以下结合附图对本专利技术作进一步详细说明。如图1所示，用于镀膜的基板传输装置包括基板驱动机构和独立于基板驱动机构的基板支撑机构4。如图2所示，基板驱动机构的工作面即基板驱动机构与基板1的底部接触的平面，在图中表示为基板驱动机构工作面8，基板支撑机构4的工作面即基板支撑机构 4与基板1接触的平面，在图中表示为基板支撑机构工作面9。实施例一如图1和图2所示，基板传输装置中的基板传输机构包括一个马达2和通过马达 2驱动的多个传动轮3，传动轮3之间通过链条传动，传动轮3的截面形状为三角形(见图 3A)，马达2和传动轮3用于实现基板1的稳定传输。基板支撑机构4为固定的导轮，基板支撑机构工作面9即基板1的底部。若基板1位于高温环境中，传动轮3与基板支撑机构 4的材料必须耐高温。传动轮3和基板支撑机构4的材料为碳化硅。为了更有效地防止基板1翻倒，将导轮设置在距基板1的底部的高度为基板1的高度的四分之三处。为了使基板传输更稳定，传动轮3之间的间距为基板在水平方向的三分之一宽度。实际镀膜工作时，基板传输装置位于真空腔体室7内，基板1自由站立在传动轮3 上，基板1的背面即非镀膜面斜靠在基板支撑机构4上，基板1与水平面的夹角即基板支撑机构工作面9与水平面的夹角为89. 5°，镀膜源6的两侧各放置一块基板1，镀膜源6的镀膜源工作面10与基板1平行并保持IOmm的间距，实现镀膜源6同时对两片稳定自由传输的基板1进行均勻的镀膜。实施例二用于镀膜的基板传输装置结构同实施例一，不同的是马达2有多个，每个马达2连接一个传动轮3，传动轮3与马达2之间连接有弹性联轴器5，对基板1的输送具有减震和缓冲作用；基板支撑机构4为可移动的滑轮，距基板1的底部的高度为基板1的高度的五分之四；传动轮3的截面形状为矩形(见图3B)，传动轮3之间的间距为基板在本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种用于镀膜的基板传输装置，包括基板驱动机构，所述基板驱动机构用于实现基板相对于镀膜源的移动，其特征在于：所述传输装置还包括独立于所述基板驱动机构的基板支撑机构。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵军，梅芳，
申请(专利权)人：上方能源技术杭州有限公司，
类型：发明
国别省市：86
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