一种微型压电泵的制备方法技术

本发明专利技术公开一种微型压电泵的制备方法，首先在双抛双氧硅片上溅射一层铬铜种子层；在种子层上电镀金属作为压电陶瓷片的底层导电层；把压电陶瓷片连接在底层导电层上；减薄压电陶瓷片；在双抛双氧硅片背面开出二氧化硅的刻蚀窗口；刻蚀刻蚀窗口中的二氧化硅得到硅的刻蚀窗口；湿法刻蚀刻蚀窗口中的硅，得到泵的腔体；开出正面压电陶瓷片的刻蚀窗口；切出带压电陶瓷片的泵腔体；刻蚀未被光刻胶保护的压电陶瓷片得到压电陶瓷片的泵腔体；在泵腔体上粘接带有阀的PDMS腔体，PDMS腔体中的进口阀连接进液口，出口阀连接微针。本发明专利技术通过湿法刻蚀加工泵的腔体，方法简单，成本低；压电泵可以做的很小，可以控制微流量液体；工作可靠。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种微型压电泵的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，在双抛双氧硅片上溅射一层铬铜种子层；第二步，在种子层上电镀金属作为压电陶瓷片的底层导电层；第三步，把压电陶瓷片连接在底层导电层上；第四步，减薄压电陶瓷片；第五步，在双抛双氧硅片背面开出二氧化硅的刻蚀窗口；第六步，刻蚀刻蚀窗口中的二氧化硅得到硅的刻蚀窗口；第七步，湿法刻蚀刻蚀窗口中的硅，得到泵的腔体；第八步，开出正面压电陶瓷片的刻蚀窗口；第九步，切出带压电陶瓷片的泵腔体；第十步，刻蚀未被光刻胶保护的压电陶瓷片得到压电陶瓷片的泵腔体；第十一步，在泵腔体上粘接带有阀的ＰＤＭＳ腔体，ＰＤＭＳ腔体中的进口阀连接进液口，出口阀连接微针。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景全，闫肖肖，芮岳峰，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31