一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在水路管道一上的电磁控制阀一、安装在水路管道二上的电磁控制阀二、对数控磨床中需冷却部位温度进行检测的温度检测单元、对数控磨床主驱动轴的转速进行检测的转速检测单元及控制器和参数输入单元，控制器根据转速检测单元和温度检测单元所检测信号对电磁控制阀一和电磁控制阀二的开闭状态和开度大小进行控制调整。本实用新型专利技术电路设计合理、接线方便、投入成本低且操作简便、使用效果好，将自来水供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来，简便且有效地达到节水目的。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种节水装置，尤其是涉及一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置。
技术介绍
数控磨床是利用磨具对工件表面进行磨削加工的机床，大多数的数控磨床都是使用高速旋转的砂轮进行磨削加工，且上述砂轮通过驱动主轴与驱动电机进行传动连接。目前，市场上出现的许多数控磨床在实际使用过程中，都需用自来水，而使用自来水的作用主要是冷却和清洁，则供送自来水只需在数控磨床进行有效生产加工时进行。但是，目前数控磨床本身不能有效控制用水情况，因而实际使用过程中一旦打开水路控制阀门后，无论数控磨床处于有效生产加工状态还是处于有效生产加工状态，接通的水路均始终处于开通状态，这样便增加了生产成本，较大程度上浪费了水资源。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其电路设计合理、接线方便、投入成本低且使用操作简便、使用效果好，将自来水的供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来，能简单、方便且有效地达到节水目的。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征在于包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元、对所述电磁控制阀一和电磁控制阀二的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器以及与所述控制器相接的参数输入单元，所述温度检测单元、转速检测单元、电磁控制阀一和电磁控制阀二均与控制器相接，且控制器根据转速检测单元和温度检测单元所检测信号对电磁控制阀一和电磁控制阀二进行控制。上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征是还包括分别对所述水路管道一和水路管道二的内部流程进行实时检测的流量检测单元一和流量检测单元二，所述流量检测单元一和流量检测单元二均与控制器相接。上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征是所述控制器为所述数控磨床上所安装的主控计算机。上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征是所述温度检测单元为安装在数控磨床中需冷却部位上的红外测温传感器，且转速检测单元为安装在所述主驱动轴上的编码器。上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征是还包括与控制器进行双向通信的手持式遥控器，所述手持式遥控器与控制器之间通过无线通信模块进行连接。上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征是还包括由控制器进行控制的告警提示单元，所述告警提示单元与控制器相接。上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征是还包括与控制器相接的显示单元。本技术与现有技术相比具有以下优点1、电路设计合理、接线方便且投入成本低。2、使用操作简便，智能化程度较高，无需投入过多的人力和物力。3、使用效果好，能根据数控磨床的实际运行状态和实际冷却需求，对水路管道的通断状态和流量进行控制调整，能大幅度减少水资源浪费。同时，无需人为对水路控制阀门进行手动控制，因而实际操作起来非常方便。因而，本技术将自来水的供给状态与机床主轴(即主驱动轴)的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况联系起来，能简单、方便且有效地达到节水目的。4、经济实用且推广应用前景广泛，能有效适用至其它类型的数控机床中。综上所述，本技术电路设计合理、接线方便、投入成本低且使用操作简便、使用效果好，将自来水的供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来，能简单、方便且有效地达到节水目的，大幅度减少数控磨床使用过程中的水资源浪费问题。下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。附图说明图1为本技术的电路原理框图。附图标记说明1-电磁控制阀一 ；2-电磁控制阀二 ； 4-控制器；5-温度检测单元；7-流量检测单元一 ；8-流量检测单元二 ；10-显示单元； 11-手持式遥控器。具体实施方式如图1所示，本技术包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一 1、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二 2、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元5、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元3、对所述电磁控制阀一1和电磁控制阀二 2的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器4以及与所述控制器4相接的参数输入单元6，所述温度检测单元5、转速检测单元3、电磁控制阀一 1和电磁控制阀二 2均与控制器4相接，且控制器4根据转速检测单元3和温度检测单元5所检测信号对电磁控制阀一1和电磁控制阀二 2进行控制。本实施例中，本技术还包括分别对所述水路管道一和水路管道二的内部流程进行实时检测的流量检测单元一 7和流量检测单元二 8，所述流量检测单元一 7和流量检测3-转速检测单元 6-参数输入单元 9-告警提示单元4单元二8均与控制器4相接。实际使用时，所述控制器4为所述数控磨床上所安装的主控计算机，因而无需单独设置控制器4。实际布设安装时，所述温度检测单元5为安装在数控磨床中需冷却部位上的红外测温传感器，且转速检测单元3为安装在所述主驱动轴上的编码器。同时，为实现远程操控，本技术还包括与控制器4进行双向通信的手持式遥控器11，所述手持式遥控器11与控制器4之间通过无线通信模块进行连接。本实施例中，本技术还包括由控制器4进行控制的告警提示单元9，所述告警提示单元9与控制器4相接。同时，还包括与控制器4相接的显示单元10。实际使用时，为操作方便，所述显示单元10和参数输入单元6集成为触摸式显示屏。实际使用过程中，通过转速检测单元3实时对主驱动轴的转速进行实时检测，与此同时温度检测单元5对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测，且将所检测转速信息和温度信息同步上传至控制器4，控制器4对所接收的转速信息和温度信息进行分析， 并相应对电磁控制阀一 1和电磁控制阀二 2进行控制，具体控制过程是当转速检测单元3 检测到所述主驱动轴停止运转且温度检测单元5所检测信息未超过设计阈值时，则控制器 4控制电磁控制阀一 1和电磁控制阀二 2关闭，并切断水路管道一和水路管道二 ；当转速检测单元3检测到所述主驱动轴开始运转时，则控制电磁控制阀一 1和电磁控制阀二 2关闭水路管道一和水路管道二打开，并接通水路管道一和水路管道二 ；当转速检测单元3检测到所述主驱动轴的转速逐渐增大时，则对电磁控制阀一 1和电磁控制阀二 2的阀门开度进行调整，使得水路管道一和水路管道二的流量逐渐增大；当转速检测单元3检测到所述主驱动轴停止运转，而温度检测单元5检测到需冷却部位温度超过设定阈值时，则控制电磁控制阀一 1关闭，控制电磁控制阀二 2打开。另外，实际使用过程中，还通过流量检测单元一 7和流量检测单元二 8实时对水路管道一和水路管道二的流量进行实时检测，并将所检测的流量信息同步传送至控制器4，控制器4对所检测流量信息进行分析，当检测到水路管道一和水路管道二的流量信息与其控制达到的流量值不一致时，则控制告警提示单元9进行报警提示，同时，通过显示单元10可对各检测单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征在于：包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一（１）、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二（２）、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元（５）、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元（３）、对所述电磁控制阀一（１）和电磁控制阀二（２）的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器（４）以及与所述控制器（４）相接的参数输入单元（６），所述温度检测单元（５）、转速检测单元（３）、电磁控制阀一（１）和电磁控制阀二（２）均与控制器（４）相接，且控制器（４）根据转速检测单元（３）和温度检测单元（５）所检测信号对电磁控制阀一（１）和电磁控制阀二（２）进行控制。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔺文，贺鹏，
申请(专利权)人：西安华晶电子技术股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：87