异常处理的方法以及用于工艺控制的异常处理方法技术

本发明专利技术提供一种异常处理的方法以及用于工艺控制的异常处理方法，该异常处理方法包括存取一异常事件的一异常类型，根据至少一定义标准，过滤历史数据以提供一数据列，其中数据列包括多数据集，每一数据集包括一历史条件以及一历史控制参数，并且根据每一历史条件，分配一权重系数至每一数据集；以及利用权重系数及历史控制参数，提供一目前控制参数至每一数据集。本发明专利技术降低公知处理程序的维持负载，以及降低公知处理程序决定控制参数的计算时间。

【技术实现步骤摘要】
异常处理的方法以及用于工艺控制的异常处理方法
本专利技术涉及半导体元件工艺，尤其涉及工艺控制中异常事件的处理。
技术介绍
一般而言，半导体元件工艺中的异常事件经常发生，异常事件可能中断及阻碍工艺控制系统中的常态控制流程。举例而言，这些异常事件可能为新投片(new-tape-out；NTO)、长时间停机(long-time-no-run；LTNR)、定期维修(periodicmaintenance；PM)及新腔室释气(newchamberrelease)等诸如此类。异常事件的影响可能导致工艺控制的参数与仪器的实际状态或工艺不匹配。一般而言，上述异常事件的影响在模块化的过程中是不明确的，或典型地使常态控制演算规则的模块过程变得非常困难。在异常事件发生后，工程师一般会输入一控制参数企图修正不匹配的参数值。工程师所输入的控制参数通常是基于工程师本身熟知的经验及判断而决定的，因此导致异常事件发生后的工艺结果差异非常大，且不同的工程师彼此亦存在不同的差异，特别是经验较浅与经验较深的工程师之间。当手动处理异常事件时通常需要相当长的一段时间，一工程师在一适当控制参数的决定上可能就要花费数小时，其导致一大的持续工作量且降低产能。以上为本实施例欲克服的缺点。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供一种异常处理的方法，包括存取一异常事件的一异常类型(exceptiontype)，根据至少一定义标准，过滤历史数据以提供一数据列(datatrain)，其中数据列包括多数据集，每一数据集包括一历史条件以及一历史控制参数，并且根据每一历史条件，分配一权重系数至每一数据集；以及利用权重系数及历史控制参数，提供一目前控制参数至每一数据集。本专利技术最后揭示一种用于工艺控制的异常处理方法，包括当一异常事件发生时，判断一异常类型，并根据异常类型，初始化多过滤器中之一者以及多权重计算器中之一者。使用已初始化的过滤器过滤一历史数据，用以提供包含多数据集的一数据列，每一数据集包含一历史条件以及一历史控制参数，以及根据每一数据集的历史控制参数以及每一数据集中由已初始化的权重计算器所提供的一权重系数，提供一建议参数。本专利技术的实施例可达成公知处理程序所无法达成的优势。本专利技术的实施例比较公知处理程序，其可降低公知处理程序的维持负载，以及降低公知处理程序决定控制参数的计算时间。例如实施例可将计算参数的时间由数小时降低至数秒，如由原本的五小时降低至十分钟。同时本实施例可达到改善产品间的误差。本专利技术者实验本实施例时，发现先进工艺技术作业平台(APC)系统中的多晶硅沉积工艺(polysilicondepositionprocess)，其覆盖范围平均改善近乎30％，晶片周转率改善近乎14-32％，其工艺等待时间(Q-time)增加近乎24-46％，以及运作速率亦改善从35至1.5％，一96％的改善。附图说明图1为本专利技术中的处理器系统的方块图。图2为本专利技术中的智慧型生产程序控制保证系统的流程图。图3为本专利技术中的广义的工作流程图。上述附图中的附图标记说明如下：10～处理器系统12～处理器单元14～中央处理器16～存储器18～大量存储装置20～总线22～视频配接器24～输入/输出接口26～网络接口28～显示器30～输入/输出装置32～区域网络或广域网络50～智慧型生产程序控制保证系统52、82～情境决定单元54、56、58～异常事件60～历史数据62～核心64～过滤器66～加权计算器68～建议参数70～先进工艺技术作业平台(APC)参数80～广义的工作流程图90～提供数据92～核心94～建议先进工艺技术作业平台参数96～先进工艺技术作业平台系统具体实施方式以下将详细讨论本专利技术各种实施例的制造及使用方法。然而值得注意的是，本专利技术所提供的许多可行的专利技术概念可实施在各种特定范围中。这些特定实施例仅用于举例说明本专利技术的制造及使用方法，但非用于限定本专利技术的范围。本专利技术将以一在先进工艺技术作业平台(advanceprocesscontrolAPC)下的异常处理智慧型制造程序控制系统为例说明，本专利技术亦适用于其他状况的异常处理以及其他工艺控制系统。图1为一处理器系统10的方块图，其为本专利技术的一实施例。处理器系统10为一般用途的一计算机平台，且可用以实现任一或所有本文讨论的方法。处理器系统10可包括一处理器单元12，例如一桌上型计算机、一工作站、一笔记型计算机或一特定用途的属的客制化单元。处理器系统10可装设一显示器28以及一个或一个以上的输入/输出装置30，例如一鼠标、一键盘或一打印机。处理器单元12可包含一中央处理器(CPU)14、一存储器16、一大量存储装置18、一视频配接器22以及一输入/输出接口24，输入/输出接口24连接至一总线20。总线20可为一个或一个以上的任何类型的多总线架构，上述多总线架构包括一存储器总线或一存储器控制器、一周边总线或一视频总线。中央处理器14可包括任何类型的电子数据处理器，以及存储器16可包括任何类型的系统存储器，例如静态随机存取存储器(SRAM)、动态随机存取存储器(DRAM)或只读存储器(ROM)。大量存储装置18可包括任何类型的存储装置，用以存储数据、程序及其他信息，并且使上述的数据、程序及其他信息可传输至总线20。大量存储装置18可包括的例如一个或一个以上的硬盘机、磁碟机或一光碟机。视频配接器22以及输入/输出接口24提供多个沟通接口用以将外部的输入以及输出装置耦接至处理器单元12。如图1所示，举出了一种外部的输入以及输出装置，其包含显示器28耦接至视频配接器22以及输入/输出装置30。输入/输出装置30好比一鼠标、键盘、打印机以及它等诸如此类的装置，其耦接至输入/输出接口24。另外，可利用外加或较少数的接口卡耦接其他装置至程序处理器单元12。例如一串行接口卡(无图示)可用以提供一串行接口给一打印机。处理器单元12亦可包含一网络接口26，其可连接至一区域网络(LAN)或广域网络(WAN)32及/或一无线网络。其值得注意的是处理器系统10亦可包含其他元件。例如，处理器系统10可包含多电源供应、多电缆、一主机板、多可移动式存储媒体、多外壳以及其它等诸如此类的元件。上述的其他元件虽然无显示于图示上，但仍视为本专利技术处理器系统10的一部分。本专利技术的实施例可实施在处理器系统10上，例如利用中央处理器14执行程序码。虽然本说明书中仅讨论了一些相关可实施的实施例，但本领域普通技术人员应能轻易地了解如下所描述的程序在处理器单元12的其他应用。图2所示为对应于本实施例的一智慧型生产程序控制保证(intelligentmanufacturingprocesscontrolassurance；IMPCA)系统50的流程图。智慧型生产程序控制保证系统50包括一情境决定单元(scenariofunction)52用以触发智慧型生产程序控制保证系统50的运算以及决定一异常类型。如图2所示，情境决定单元52用以提供一第一异常事件54、一第二异常事件56以及第三异常事件58。情境决定单元52能搭载任何数量的异常类型，图中所示的三个异常事件只为说明之用，事实上不具数量限制。举例而言，异常事件为一新投片(NTO)、长时间停机(no-time-no-runLTNR)、定期维本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种异常处理的方法，包括：存取一异常事件的一异常类型（ｅｘｃｅｐｔｉｏｎ　ｔｙｐｅ）；根据至少一定义标准，过滤历史数据以提供一数据列（ｄａｔａ　ｔｒａｉｎ），上述数据列包括多数据集，其中每一数据集包括一历史条件以及一历史控制参数；根据每一历史条件，分配一权重系数至每一数据集；以及利用上述权重系数及上述历史控制参数，提供一目前控制参数至每一数据集。

【技术特征摘要】
2010.05.12 US 12/778,8551.一种异常处理的方法，包括：存取一异常事件的一异常类型(exceptiontype)；根据至少一定义标准，过滤历史数据以提供一数据列(datatrain)，上述数据列包括多数据集，其中每一数据集包括一历史条件以及一历史控制参数，上述历史控制参数为上述异常事件之前所发生的先前异常事件中用以提供给一先进工艺技术作业平台操作的参数，并且上述历史条件包括上述异常事件之前所发生的先前异常事件的类型、时间、工艺条件以及工艺结果；根据每一历史条件，分配一组合权重系数至每一数据集，其中分配上述组合权重系数至每一数据集的步骤包括根据每一数据集的上述历史条件进行一统计分析，其中上述组合权重系数为利用一相似加权、一时间加权及一性能加权分别对每一数据集的上述历史条件进行统计分析以分别获得一相似向量、一时间向量以及一性能向量，并将上述相似向量、时间向量以及性能向量进行矩阵相乘，以获得上述组合权重系数；以及将上述组合权重系数及上述历史控制参数相乘，以获得一目前控制参数，并提供上述目前控制参数至每一数据集，其中上述目前控制参数是用以提供给上述先进工艺技术作业平台，以修正上述异常事件不匹配的参数值。2.如权利要求1所述的异常处理的方法，其中上述相似加权为利用一高斯常态分布对上述数据集进行加权，并且上述历史条件包括一工艺条件。3.如权利要求1所述的异常处理的方法，其中上述时间加权利用一指数型衰减函数(exponentialdecayfunction)对上述数据集进行加权，其中上述指数型衰减函数为由一衰减因数为系数的指数所构成的，以及上述历史条件包括一第一差异，上述第一差异为对应于上述异常事件的一目前时间至对应于每一数据集的一历史时间的差异。4.如权利要求1所述的异常处理的方法，其中上述性能加权利用一线性函数对上述数据集进行加权，其中上述线性函数为由具有一常数系数的差异向量与一常数相加所构成的，以及上述历史条件包括一第二差异，上述第二差异为一性能目标与一性能量测的差异。5.如权利要求1所述的异常处理的方法，其中根据上述至少一定义标准过滤上述历史数据的步骤取决于上述异常类型，其中根据至少一第一定义标准的一第一过滤器用于过滤一第一异常类型，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡柏沣，宋金宁，曾衍迪，王若飞，牟忠一，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71