【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆的喷雾清洗方法，将待清洗的复数个晶圆竖直依次固定在卡盘上，卡盘固定在喷雾清洗台的传动装置上，其特征在于，该方法包括如下步骤： 开启快速排水槽，排干快速排水槽中残余的液体； 开启传动装置，同时启动一预定时长的定时器； 在定时器达到预定时长时，开启位于晶圆上方的喷嘴，传动装置带动卡盘以及固定于卡盘上的晶圆做上下运动的同时，喷雾清洗化学品液滴从喷嘴中沿着倾斜方向喷射到晶圆表面； 清洗结束后，关闭喷嘴、传动装置以及快速排水槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谢志勇，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31
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