【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜生产线中的设备，具体是是一种用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转。
技术介绍
真空镀膜技术是在真空中把靶材(金属、合金或化合物)进行蒸发(或溅射)，使其沉积在被涂覆的物体(称基片、基板或基体)上的方法。靶材在使用过程中需要周期性的更换。连续型镀膜生产线分为卧式和立式的。立式镀膜生产线的阴极系统和靶材安装在侧面的门上，换靶时，可将真空腔体从侧面打开，通过铰链将侧门(含阴极系统)打开90° 空间进行作业。而卧式镀膜生产线的阴极和靶材需安装至上盖上。换靶时必须将上盖翻转 180°后，进行作业。随着大尺寸镀膜玻璃基板在建筑、太阳能电池基板上的应用等，基板玻璃尺寸不断增大，导致镀膜设备不得不由立式转为卧式镀膜生产线。基板尺寸的增大，导致生产线的上盖(含阴极系统和靶材)也变得很沉重，而一条镀膜生产线上的靶位数又较多， 因此每次换靶作业时，需翻转较多的上盖(含阴极系统和靶材)。现国内的卧式连续镀膜生产线，如大型LOW-E玻璃镀膜生产线，镀膜箱体上盖的翻转，均采用车间顶部安装行车来起吊翻转实现，其对生产车间的净化度要求不高，上盖的翻转均采用车间顶部安装行车，将上盖吊起移至设备侧面，然后翻转180°。但随着镀膜工艺对车间净化度的提高，不允许净化车间内安装行车，因此镀膜箱体上盖的180°翻转就需要解决。此外，现有技术也不利于车间的整体外观效果，另外加装行车还需要将厂房的高度增加。而随着镀膜用靶位数的增多，行车吊起翻转操作，需要一个个吊起，效率相对较低， 也很耗时间。不能实现自动化翻转，还具有一定的危险性。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术旨在提供一...
【技术保护点】
１．一种用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转结构，包括箱体、盖于箱体上的含阴极系统的上盖，其特征在于：还包括一ｎ字型弯耳，其一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸；该下液压缸的另一端接在箱体的底部，其通过伸缩可使弯耳９０°翻转；所述上盖的一端铰接在弯耳上，弯耳的中部设有一凸起铰接一个上液压缸，该上液压缸的另一端铰接在上盖侧边，其通过伸缩可使上盖９０°翻转。
【技术特征摘要】
1. 一种用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转结构，包括箱体、盖于箱体上的含阴极系统的上盖，其特征在于还包括一 η字型弯耳，其一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸；该下液压...
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