【技术实现步骤摘要】
本技术属于多晶硅生产的还原炉系列的设备,特别是还原炉电极校正器。
技术介绍
多晶硅的多晶硅生产多采用三氯氢硅还原法,即三氯氢硅和氢气反应生成多晶硅并沉积积累在硅芯电极表面形成硅棒,但是在生产过程中常常会出现会出现非正常停炉、 倒棒这类异常问题,经过多重分析,这类问题情况的出现时,均与硅芯在生长过程中发生倾斜有关,而硅芯是否倾斜和电极的水平垂直度有着直接的关系。目前,在硅芯安装过程中,一般都是是根据生产人员的安装经验和肉眼判断来对硅芯电极进行校正,没有具体的校正工具,所以容易出现偏差,从而就导致了硅芯在生长过程中出现非正常停炉和倒棒的问题。
技术实现思路
本技术为解决多晶硅的硅芯发生倾斜情况,提供了还原炉电极校正器,该校正器可以减少电极校正损伤,延长电极使用的寿命,避免了在硅芯安装中时才发现电极倾斜导致硅芯安装不正需要重新校正电极的问题,可以保证硅芯无倾斜(前提是硅芯本身无倾斜),从而也就对后期的产品正常生产和有效的提高了开炉成功率起到了极为重要的作用,同时提高了工作效率很好的节约了非正常情况下的时间。本技术的具体技术方案如下还原炉电极校正器,其特征在于包括上套接件和下套接件,上套接件位于下套接件上端,上套接件与下套接件上下固定连接,上套接件的顶面镶嵌设置有水平仪;所述下套接件下端设置有套接电极的中空部分,该套接电极的中空部分呈与电极外形相适配的椎台状。所述上套接件呈正六棱柱套接件。所述下套接件呈圆柱形套接件。所述水平仪的显示窗位于上套接件顶面。所述下套接件为不锈钢材质。具体使用方法为在待装的还原炉盘上,将本技术的圆柱形套接件套在每个电极上,对每个电极进行快捷的 ...
【技术保护点】
1.还原炉电极校正器,其特征在于:包括上套接件(1)和下套接件(2),上套接件(1)位于下套接件(2)上端,上套接件(1)与下套接件(2)上下固定连接,上套接件(1)的顶面镶嵌设置有水平仪(3);所述下套接件(2)下端设置有套接电极的中空部分(4),该套接电极的中空部分(4)呈与电极外形相适配的椎台状。
【技术特征摘要】
1.还原炉电极校正器,其特征在于包括上套接件(1)和下套接件(2),上套接件(1)位于下套接件(2)上端,上套接件(1)与下套接件(2)上下固定连接,上套接件(1)的顶面镶嵌设置有水平仪(3);所述下套接件(2)下端设置有套接电极的中空部分(4),该套接电极的中空部分(4)呈与电极外形相适配的椎台状。2.根据其权利要求1所述的还原炉电...
【专利技术属性】
技术研发人员:幸晓伟,
申请(专利权)人:天威四川硅业有限责任公司,
类型:实用新型
国别省市:90
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