可自动调平的光刻平台制造技术

本实用新型专利技术公开一种可自动调平的光刻平台，包括菲林架、底板、平台大玻璃、支撑平台和基板玻璃，支撑平台安装在底板上，基板玻璃定位安放于支撑平台上，菲林架与底板铰连翻盖于支撑平台上，所述菲林架包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口设有防止平台大玻璃脱出上框体的限位件；所述下框体大于支撑平台，所述底板上设有支撑下框体使菲林架放平的调整垫块，菲林架放平后下框体低于支撑平台。本实用新型专利技术中的平台大玻璃可依靠自身的重量，自动调整，使其可以和基板玻璃紧密贴合，实现自动对位，无需人工调节，且对位准确，提高图形的精度，保证曝光的质量。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶显示屏(LCD)的玻璃基板制造领域，具体涉及一种可自动调平的光刻平台。
技术介绍
在液晶面板的生产过程中，在对基板玻璃进行曝光时，要使平台大玻璃(即菲林玻璃)和基板玻璃严格贴平，以提高图形的精度，保证曝光的质量。现有的用于液晶显示屏 (LCD)的玻璃基板在进行曝光时的光刻平台，主要包括菲林架，基板玻璃和支撑平台，所述菲林架为框架，菲林架通过活页连接翻盖于支撑平台上，基板玻璃放置在支撑平台上，其中菲林架内安装有位置固定的平台大玻璃，当菲林架盖合在支撑平台上时，基板玻璃应与平台大玻璃紧密贴合，而对平台大玻璃的校平是通过调节菲林架来完成的，每次换版时都需重新调平菲林架，给操作带来不便。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种平台大玻璃可在菲林架内上下活动， 自动对位，无需专人调节，安装后便可使用的可自动调平的光刻平台。为解决上述问题，本技术所设计的可自动调平的光刻平台，包括菲林架、底板、平台大玻璃、支撑平台和基板玻璃，支撑平台安装在底板上，基板玻璃定位安放于支撑平台上，菲林架与底板铰连翻盖于支撑平台上，所述菲林架包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口设有防止平台大玻璃脱出上框体的限位件；所述下框体大于支撑平台，所述底板上设有支撑下框体使菲林架放平的调整垫块，菲林架放平后下框体低于支撑平台，而平台大玻璃则落在基板玻璃上，并依靠自身的重量与基板玻璃自动紧密贴合，提高对位精度。所述限位件为铰连于菲林架上可转进、转出上框体框口的挡块，平台大玻璃安装过程中，挡块转出上框体框口，安装完毕挡块转进上框体框口对平台大玻璃限位。为适应不同规格尺寸平台大玻璃的安装，上框体尺寸比平台大玻璃稍大一些，因此所述上框体的四周框面上设有防止平台大玻璃在上框体内前后左右串动的调节销。所述支撑平台与底板之间安装有调平支撑平台的中间板。与现有技术相比，本技术在上框体的框口上设置了限位件，该限位件可转进、 转出上框体框口，方便平台大玻璃安装；菲林架在往下盖合时，平台大玻璃不会脱落出来， 且平台大玻璃可依靠自身的重量，自动调整，使其可以和基板玻璃紧密贴合，实现自动对位，无需人工调节，且对位准确，提高图形的精度，保证曝光的质量；在上框体的四周框面上还设有调节销，使平台大玻璃的不可以前后、左右运动，平台大玻璃不会偏移，进一步提高曝光的质量。附图说明3图1为本技术一种实施方式的结构示意图；图2为图1中的A向视图； 图3为图1的侧视图。图中标号为1、菲林架；2、底板；3、平台大玻璃；4、支撑平台；5、基板玻璃；6、调整垫块；7、挡块；8、调节销；9、中间板；10、转轴。具体实施方式本技术可自动调平的光刻平台的结构如图1、图2、图3所示，包括菲林架1、 底板2、平台大玻璃3、支撑平台4和基板玻璃5，支撑平台4通过可调平支撑平台4的中间板9安装在底板2上，基板玻璃5定位安放于支撑平台4上，菲林架1与底板2上的水平转轴10铰连后可翻盖于支撑平台4上，转轴10由两端可调节高度的轴座支撑；所述菲林架 1包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃3可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口铰装有防止平台大玻璃3脱出上框体的挡块7，上框体的四周框面上设有防止平台大玻璃3前后左右串动的调节销8 ；所述下框体大于支撑平台4，所述底板2上设有支撑下框体使菲林架1放平的调整垫块6，调整垫块6与转轴10的轴座共同调整菲林架1的高度，菲林架1放平后下框体低于支撑平台4。如图1、图2、图3所示，挡块7转出上框体框口，待平台大玻璃3装入上框体后挡块7转进上框体框口，平台大玻璃3被下框体托住，不会掉落出来，其上方有挡块7挡住，不会向上方脱出，平台大玻璃3的上下活动范围为上框体的深度。在通过手柄操纵菲林架1 盖合过程中，平台大玻璃3碰触到基板玻璃5时，菲林架1继续往下落，而平台大玻璃3则停留于基板玻璃5上直到两者紧密相贴，提高对位的精度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．可自动调平的光刻平台，包括菲林架（１）、底板（２）、平台大玻璃（３）、支撑平台（４）和基板玻璃（５），支撑平台（４）安装在底板（２）上，基板玻璃（５）定位安放于支撑平台（４）上，菲林架（１）与底板（２）铰连翻盖于支撑平台（４）上，其特征在于：所述菲林架（１）包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃（３）可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口设有防止平台大玻璃（３）脱出上框体的限位件；所述下框体大于支撑平台（４），所述底板（２）上设有支撑下框体使菲林架（１）放平的调整垫块（６），菲林架（１）放平后下框体低于支撑平台（４）。

【技术特征摘要】
1.可自动调平的光刻平台，包括菲林架(1)、底板(2)、平台大玻璃(3)、支撑平台(4) 和基板玻璃(5)，支撑平台(4)安装在底板(2)上，基板玻璃(5)定位安放于支撑平台(4) 上，菲林架(1)与底板(2)铰连翻盖于支撑平台(4)上，其特征在于所述菲林架(1)包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃(3)可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口设有防止平台大玻璃(3)脱出上框体的限位件；所述下框体大于支撑平台(4)，所述底板(2)上设有支撑下框体使菲林架...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶茂贤，
申请(专利权)人：广西钦州天山微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：45