阀箱模块制造技术

本发明专利技术涉及一种阀箱模块，其包含一第一气体输入管线、至少一第一气体输出管线及至少一第二气体管线组。该第一气体输出管线连通于该第一气体输入管线，用来输出经由该第一气体输入管线所输入的一第一气体。该第二气体管线组连通于该第一气体输出管线，包含至少一第二气体输出管线、一气体阻断阀装置及一第二气体输入管线。该第二气体输出管线用来输出该第一气体或一第二气体。该气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一及第二气体输出管线之间的连通。该第二气体输入管线用来输入该第二气体至该第二气体输出管线。本发明专利技术不仅可提升阀箱模块在气体供应上的使用弹性，还可解决先前技术中所提到半导体处理的产能的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种阀箱模块，尤指一种使用气体阻断阀装置选择性地阻断第一气体输出管线以及第二气体输出管线的连通的阀箱模块。
技术介绍
一般而言，用来进行半导体处理气体的输出及输入的分阀箱(Valve Manifold Box, VMB)的结构设计通常是由一气体输入管线、至少一气体输出管线，以及一清洁气体输入管线所组成，清洁气体输入管线连通于各个气体输出管线，用来输入半导体处理所需的清洁气体(如处理用氮气等)，而气体输入管线连通于气体输出管线，藉此，分阀箱即可利用气体输入管线与气体输出管线之间的连通而从各个气体输出管线输出处理气体，以达到由单一输入管线输入即可同时提供处理气体至不同处理使用点的目的，从而提升处理气体的使用效率。然而，为了避免不同处理气体混合而导致管线污染的情况发生，分阀箱在同一时间内仅能提供单一气体，也就是说，在连续生产条件下，若其中的一气体输出管线欲输出不同于原本所输入的处理气体的其他气体(例如是一测试气体以供线上测试)时，则分阀箱内的其他气体输出管线就必须停止使用，但如此即会对半导体处理的产能造成影响。
技术实现思路
因此，本专利技术提供一种使用气体阻断阀装置选择性地阻断第一气体输出管线以及第二气体输出管线的连通的阀箱模块，藉以解决上述的问题。本专利技术提供一种阀箱模块，其包含一第一气体输入管线、至少一第一气体输出管线，以及至少一第二气体管线组。该第一气体输出管线连通于该第一气体输入管线，用来输出经由该第一气体输入管线所输入的一第一气体。该第二气体管线组连通于该第一气体输出管线，该第二气体管线组包含至少一第二气体输出管线、一气体阻断阀装置，以及一第二气体输入管线。该第二气体输出管线用来输出该第一气体或一第二气体。该气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间的连通。该第二气体输入管线连通于该第二气体输出管线，用来输入该第二气体至该第二气体输出管线。本专利技术另提供一种阀箱模块，其包含一第一气体输入管线、至少一第一气体管线组，以及至少一第二气体管线组。该第一气体输入管线用来输入一第一气体。该第一气体管线组连通于该第一气体输入管线，该第一气体管线组包含至少一第一气体输出管线以及一第一气体阻断阀装置。该第一气体输出管线连通于该第一气体输入管线，用来输出该第一气体或一第二气体。该第一气体阻断阀装置设置于该第一气体输出管线上。该第二气体管线组连通于该第一气体管线组，该第二气体管线组包含至少一第二气体输出管线、一第二气体阻断阀装置，以及一第二气体输入管线。该第二气体输出管线用来输出该第一气体或该第二气体。该第二气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间的连通。该第二气体输入管线连通于该第二气体输出管线，用来输入该第二气体。本专利技术的有益效果在于使用气体阻断阀装置选择性地阻断第一气体输出管线以及第二气体输出管线之间的连通方式，以使阀箱模块可根据实际气体供应需求而同时使用第一气体输出管线以及第二气体输出管线输出第一气体至不同处理使用点，或是在第一气体输出管线输出第一气体的情况下同时利用第二气体输出管线输出第二气体。如此一来， 不仅可提升阀箱模块在气体供应上的使用弹性，除此之外，亦可解决先前技术中所提到半导体处理的产能的问题。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。 附图说明图1为本专利技术一实施例的阀箱模块的示意图；图2为本专利技术另一实施例的阀箱模块的示意图；图3为本专利技术另一实施例的阀箱模块的示意图；图4为本专利技术另一实施例的阀箱模块的示意图。其中，附图标记102 第一气体输入管线104,306第一气体输出管线110、204气体阻断阀装置113清洁气体输入管线302,402第一气体管线组 308、406第一气体阻断阀装置100、200、300、400 阀箱模块106、202、304、404 第二气体管线组108,310,408 第二气体输出管线112,314,410第二气体输入管线312,412第二气体阻断阀装置具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本专利技术的目的、方案及功效，但并非作为本专利技术所附权利要求保护范围的限制。请参阅图1，其为本专利技术一实施例的一阀箱模块100的示意图。由图1可知，阀箱模块100包含一第一气体输入管线102、至少一第一气体输出管线104(于图1中显示四个， 但不受此限)，以及一第二气体管线组106。第一气体输出管线104连通于第一气体输入管线102，第一气体输出管线104用来输出经由第一气体输入管线102所输入的第一气体，以提供第一气体至不同处理使用点。第二气体管线组106连通于第一气体输出管线104，第二气体管线组106包含至少一第二气体输出管线108 (于图1中显示一个，但不受此限)、一气体阻断阀装置110，以及一第二气体输入管线112。第二气体输入管线112连通于第二气体输出管线108，第二气体输入管线112于测试与原第一气体不同的气体时，用来输入第二气体至第二气体输出管线108，而第二气体输出管线108用来根据阀箱模块100的实际气体输出需求而选择性地输出第一气体或第二气体，在此实施例中，第一气体与第二气体较佳地为具有相同成分但不同纯度的气体，藉以进一步地降低管线污染的发生机率，但不受此限。 另外，如图1所示，阀箱模块100可另包含一清洁气体输入管线113，清洁气体输入管线113连通于各个第一气体输出管线104以及第二气体输出管线108，用来输入半导体处理所需的清洁气体(如处理用氮气等)。上述的气体阻断阀装置110设置于第一气体输出管线104与第二气体输出管线 108之间，气体阻断阀装置110为一隔离阀，用来选择性地阻断第一气体输出管线104以及第二气体输出管线108之间的连通，在此实施例中，该隔离阀较佳地为一手动阀(Manual Valve)，但不受此限，其亦可采用其他具有相同气体阻断效果的阀门装置。于此针对阀箱模块100的操作进行详细的描述。请参阅图1，当阀箱模块100仅需输出第一气体时，也就是在第二气体输入管线112未输入第二气体的状况下，此时，除了可利用第一气体输出管线104输出经由第一气体输入管线102所输入的第一气体之外，阀箱模块100可开通气体阻断阀装置110以连通第一气体输出管线104以及第二气体输出管线 108，藉以达到可同时使用第一气体输出管线104以及第二气体输出管线108输出第一气体至不同处理使用点的目的，从而提升阀箱模块100的气体输出效能。另一方面，当阀箱模块100需要同时输出第一气体以及第二气体时，意即在阀箱模块100须使用第一气体输出管线104以及第二气体输出管线108分别输出第一气体以及第二气体的状况下，此时，气体阻断阀装置110会阻断第一气体输出管线104以及第二气体输出管线108之间的连通。如此一来，第一气体输入管线102所输入的第一气体就仅能经由第一气体输出管线104输出，而第二气体输入管线112所输入的第二气体也仅能经由第二气体输出管线108输出，藉此，阀箱模块100即可在利用第一气体输出管线104供应半导体处理所需的第一气体的情况下，同时利用第二气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种阀箱模块，其特征在于，包含：一第一气体输入管线；至少一第一气体输出管线，其连通于该第一气体输入管线，用来输出经由该第一气体输入管线所输入的一第一气体；以及至少一第二气体管线组，其连通于该第一气体输出管线，该第二气体管线组包含：至少一第二气体输出管线、一气体阻断阀装置和一第二气体输入管线，该第二气体输出管线用来输出该第一气体或一第二气体；该气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间的连通；该第二气体输入管线连通于该第二气体输出管线，用来输入该第二气体至该第二气体输出管线。

【技术特征摘要】
2011.06.21 TW 1001216071.一种阀箱模块，其特征在于，包含一第一气体输入管线；至少一第一气体输出管线，其连通于该第一气体输入管线，用来输出经由该第一气体输入管线所输入的一第一气体；以及至少一第二气体管线组，其连通于该第一气体输出管线，该第二气体管线组包含至少一第二气体输出管线、一气体阻断阀装置和一第二气体输入管线，该第二气体输出管线用来输出该第一气体或一第二气体；该气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间的连通；该第二气体输入管线连通于该第二气体输出管线，用来输入该第二气体至该第二气体输出管线。2.如权利要求1所述的阀箱模块，其特征在于，该气体阻断阀装置为一三向阀，分别连接该第一气体输出管线、该第二气体输出管线、以及该第二气体输入管线，用以选择性连通该第一气体输出管线与该第二气体输出管线或连通该第二气体输出管线与该第二气体输入管线。3.如权利要求1所述的阀箱模块，其特征在于，该气体阻断阀装置为一隔离阀，其设置于该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间，用来选择性地阻断该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间的连通。4.如权利要求3所述的阀箱模块，其特征在于，该隔离阀为一手动阀。5.一种阀箱模块，其特征在于，包含一第一气体输入管线，其用来输入一第一气体；至少一第一气体管线组，其连通于该第一气体输入管线，该第一气体管线组包含至少一第一气体输出管线和一第一气体阻断阀装置，该第一气体输出管线连通于该第一气体输入管线，用来输出该第一气体或一第二气体；该第一气...

【专利技术属性】
技术研发人员：石明弘，张伟卿，江岱叡，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71