一种空气浮抬运送装置及空气运送方法，把形成平面基板(10)的运送路的空气浮抬单元(1)朝向平面基板运送方向地配列成线状，把该空气浮抬单元(1)的列并列配列多列。空气浮抬单元(1)包括有：形成平面基板(10)的运送路的背面板(13)、位于与背面板(13)的运送路方向平行的两侧面且具有向背面板(13)的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴(21)的一对空气供给管(11、12)。因此，能够按照液晶基板等平面基板的大小和重量灵活地构成，且能够在稳定的状态下运送平面基板。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体基板、液晶基板等平面基板的运送装置，特别是涉及利用空气使被浮抬而能够没有破损和擦伤地稳定进行运送的。本专利技术要求2006年11月22日向日本特许厅提出的特愿2006-315498号及2007 年8月10日向日本特许厅提出的特愿2007-210201号专利的优先权，在此引用其内容。
技术介绍
一般来说把平面板一边由空气浮抬一边进行运送的装置有各种提案。例如有图6A 和图6B所示的浮子(参照非专利文献1)。图8A表示浮子的概念图，图8B表示浮子的截面图(带钢行进方向的截面图)。图8A和图8B所示的浮子101在端部设置朝向内的一对窄缝喷嘴102，向与带钢 103移动方向平行的方向喷出流体以把带钢103浮抬。从窄缝喷嘴102喷出的流体在带钢 103的下面通过改变方向流出时运动量的变化而使产生静压，使带钢103被浮抬。但上述的浮子101用于使带钢103等连续形状的运送物被浮抬，在想运送半导体基板、液晶基板等一个一个形状的平面基板时，就必须把上述的浮子101朝向运送方向配置多个地敷设，有浮子101的个数多的问题。由于连续形状的运送物在运送方向的上游侧和下游侧被一直支承着，所以运送物的端部不会横跨(越过)浮子101，但一个一个形状的平面基板则基板端部需要顺次越过浮子101，有基板在浮子101之间上下波动、震动而基板端部与浮子碰撞的问题。现有技术有基板运送装置(参照专利文献1)。该基板运送装置的目的在于把高密度多层收容的玻璃基板任意且以最小程度的污染进行搬入搬出。图7表示被多层收容的玻璃基板内一块玻璃基板110的收容状态，表示玻璃基板110两侧边缘部内的一侧边缘部。 如图7所示，运送辊113 —边支承玻璃基板110的其两侧边缘部IlOa —边进行运送(向与纸面垂直的方向运送)。在运送玻璃基板110时从空气喷出管112向被运送辊113支承的玻璃基板110与背面板111之间喷出压缩空气。但上述现有技术的基板运送装置在利用运送辊113 —边支承玻璃基板110的其两侧边缘部IlOa—边进行运送时，向背面板111与玻璃基板110之间吹入空气，目的在于使背面板111与玻璃基板110不接触，由两端部进行支承，使基板载重的大部分由两端部的辊来承受，不适合把基板完全非接触的运送。专利文献1 (日本)特开2005-159141号公报非专利文献1 高原、平井、谷崎、神田、立原、“制铁处理线用带钢浮抬运送装置的实用化”、三菱重工技报、Vol 29,No 1 (1992-1)、p36 41则有如上述那样利用空气使被浮抬而能够没有破损和擦伤地进行运送的运送装置被各种提案。但近来液晶基板等被大型化，作为能够稳定运送它的空气浮抬运送装置则难于说已经是充分的。一边利用空气把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边运送的现有空气浮抬运送装置中，配置在所述运送面下的多个空气浮抬单元从其所述运送方向的下游侧端向该运送方向的上游侧喷出空气，有时使所述运送方向下游侧端附近的被运送物浮抬量增加(例如参照专利文献2)。专利文献2 (日本)特开2006-222209号公报上述的现有技术防止了被运送物的运送方向前端部(下游侧端部)在通过了空气浮抬单元的运送方向下游侧端后向下垂而与其前面的空气浮抬单元等产生干涉。上述空气浮抬运送装置在运送面下配列多个空气浮抬单元，根据被运送物的大小和重量等能够容易且灵活地设定其规格，在进一步还要应对运送线的规模等时，由于有时要扩展空气浮抬单元之间的间隔，所以希望把空气浮抬单元运送方向下游侧端附近的被运送物浮抬量更加增加。另一方面，为了抑制空气浮抬运送装置的运转负载则希望能够降低装置整体的空气喷出量(空气消耗量)。
技术实现思路
本专利技术是为了解决这些问题而开发的，其目的在于提供一种，按照液晶基板等平面基板的大小和重量并通过选择空气浮抬单元的个数和配置来灵活构成空气浮抬运送装置，能够以稳定的状态来运送平面基板，通过使用简单结构的空气浮抬单元而能够降低空气浮抬运送装置的制造成本。本专利技术是为了解决上述课题而开发的，本专利技术的空气浮抬运送装置由形成平面基板运送路的多个空气浮抬单元构成，从所述空气浮抬单元喷出空气来浮抬所述平面基板进行运送，把所述空气浮抬单元朝向所述平面基板运送方向配列成线状的空气浮抬单元列并列配置多列，且所述空气浮抬单元具备从与平面基板运送方向正交的两侧方向向所述平面基板的下面喷出空气的机构。根据该结构，把空气浮抬单元的列并列配列多列，一个一个的空气浮抬单元从与平面基板运送方向正交的两侧方向向平面基板的下面喷出空气。由此，通过按照液晶基板等平面基板的大小和重量而选择空气浮抬单元的个数和配置，从而能够以稳定的状态来运送平面基板。由于能够使用简单结构的空气浮抬单元而能够降低空气浮抬运送装置的制造成本。且通过选择空气浮抬单元的个数和配置而能够灵活构成空气浮抬运送装置。本专利技术的空气浮抬运送装置把所述空气浮抬单元配列成两条轨道状。根据这种结构，把空气浮抬单元配列成两条轨道状，由此，能够稳定地浮抬平面基板。本专利技术的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元具备从所述平面基板运送方向的下游侧向所述平面基板的下面喷出空气的机构。根据这种结构，从平面基板运送方向的下游侧向平面基板的下面喷出空气，把平面基板的前端部抬起来。由此，即使在平面基板刚性小的前端部出现下垂部分的情况下，也能够把该下垂部分抬起来，所以在平面基板换乘空气浮抬单元时能够抑制前端部与空气浮抬单元产生干涉。本专利技术的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元具备从所述平面基板运送方向的下游侧和上游侧向所述平面基板的下面喷出空气的机构。根据这种结构，从平面基板运送方向的下游侧和上游侧向平面基板的下面喷出空气，把平面基板的前端部抬起来。由此，即使在平面基板刚性小的情况或空气浮抬单元之间的距离长的情况下，不仅从平面基板运送方向的下游侧，而且从上游侧也如愿地在空气浮抬单元之间向平面基板喷出空气，通过把平面基板向上方抬起来而在运送中的平面基板前端部出现下垂的情况下，结果也是能够把平面基板前端的下垂部分向上方抬起来，能够避免平面基板前端部与空气浮抬单元产生碰撞。本专利技术的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元具备背面板，其与所述平面基板的下面相对而形成所述平面基板的运送路；一对空气供给管，其位于所述背面板的与运送路方向平行的两侧面，具有向所述背面板的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴。根据这种结构，在形成平面基板运送路的背面板两侧配置空气供给管，从设置于该空气供给管的倾斜喷嘴向背面板的中央部上方喷出空气。由此，能够把空气浮抬单元的结构简单化。本专利技术的空气浮抬运送装置中，所述空气浮抬单元在所述背面板的位于与运送路方向正交的下游侧的侧面还具备空气供给管，具有向所述背面板的上方或中央部上方喷出空气的喷嘴。根据这种结构，在背面板的下游侧配置空气供给管，从设置于该空气供给管的倾斜喷嘴向背面板的上方或中央部上方喷出空气。因此，通过使用空气供给管这样的简单结构而使平面基板在换乘空气浮抬单元时，能够抑制前端部与空气浮抬单元产生干涉。本专利技术的空气运送方法是如下所述的空气浮抬运送装置的空气运送方法，该空气浮抬运送装置由形成平面基板运送路的多个空气浮抬单元构成，从所述空气浮抬单元喷出空气来浮抬所述平面基板进行运送，包本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种空气浮抬运送装置，利用空气一边把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边进行运送，其特征在于，配置在所述运送面下的空气浮抬单元在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部，位于所述运送方向下游侧端附近的所述侧部喷出部向所述单元宽度方向中央侧且向所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气；所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，在所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：北泽保良，须田佳雅，
申请(专利权)人：翔风技术有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。