一种剥离硅片的铲刀制造技术

一种剥离硅片的铲刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄与刀身连接，所述刀身的下面为腹面，上面为背面，腹面设置为弧面结构；背面设置为斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮树脂制成一体式结构。刀柄依然采用PVC材料制成，刀柄上设置安装孔。刀身采用聚醚醚酮树脂材料制作，耐磨性有很大提高，增加了铲刀的使用寿命。腹面采用弧面，有效增加了操作便捷度并且充分发挥了尖端高精度设计。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种铲刀，具体涉及一种剥离硅片的铲刀，用于半导体材料的生产。
技术介绍
随着电子信息技术的日新月异，对衬底的要求越来越高，比如平坦度水平，而提高平坦度水平必然促使有蜡抛光技术的广泛应用。在有蜡抛光过程中，剥离是必不可少的环节，剥离过程中铲刀的好坏直接影响到产品的良率水平。目前，被广泛应用到有蜡抛光过程中的剥离铲刀，如图1-2所示，剥离铲刀，包括刀柄120和刀身110，所述刀柄120与刀身110连接。刀身上设置安装孔130。刀身110的下面为腹面114，刀身110的上面为背面113。腹面114为一水平设置的平面，背面113为一斜平面。刀身110的前端可以加工成厚度0. 5mm。由于刀身110的腹面113 —般采用平面设计，在使用过程中受人为施力方向的影响，刀身110往往朝下弯曲，使得尖端精度较高的设计不能发挥作用。剥离铲刀多采用特氟龙材料所制，尽管其弹性较好，但耐磨性较差，铲刀前端磨损速率较快，需重复加工，才能保证正常使用。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种剥离硅片的铲刀，以克服现有剥离铲刀所存在的刀身的腹面为平面设计、尖端精度差、刀身采用特氟龙材料所制、耐磨性较差等缺点和不足。本技术增加了剥离铲刀的使用便捷度。一种剥离硅片的铲刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄与刀身连接，其特征在于所述刀身的下面为腹面，上面为背面，腹面设置为弧面结构；背面设置为斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮树脂制成一体式结构。其中，所述刀身腹面的弧面的曲率半径R4为1300 1800mm。其中，所述刀身的前端厚度小于刀身的后端厚度。进一步，所述前端厚度为0.2mm。其中，所述刀柄上设置安装孔。进一步，所述安装孔的半径R3为2 5mm。所述剥离铲刀的刀柄依然采用PVC材料制成条状结构。本技术的有益效果1、本铲刀的腹面为弧面结构，在使用过程中刀身本来就朝下弯曲，有效增加了操作便捷度。2、由于本铲刀的刀身采用聚醚醚酮树脂材料制作，较特氟龙剥离铲刀的耐磨性有很大提高，一次加工成型后可长期使用，无需再次加工，大大增加了铲刀的使用寿命。3、本技术的尖端精度好，刀身的前端的厚度为0. 2mm。4、传统的铲刀如果采用倒角方法制造，则谁锐角或者直角的边缘。本技术的刀身的左前方和右前方设置为圆弧形结构，在使用的过程中不容易挫伤产品，减少产品的破损、缺口甚至碎片的产生，从而产品的提高合格率。附图说明图1为现有技术的主视图。图2为现有技术的仰视图。图3为本技术的主视图。图4为本技术的仰视图。附图标记刀身110、背面113、腹面114、刀柄120、安装孔130 ；刀身210、背面213、腹面214、刀柄220、安装孔230。具体实施方式以下结合具体实施例，对本技术作进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本技术而非用于限定本技术的范围。实施例一种剥离硅片的铲刀，如图3-4所示，包括刀身210和刀柄220、刀柄220与刀身 210连接，刀柄220上设置安装孔230。刀身210包括前端、后端、背面213、腹面214。刀身210的前端的厚度小于后端的厚度。刀身的前端的厚度加工为0.2mm。刀身210的下面为腹面214，腹面214设置为弧面结构；刀身210的上面为背面 213，背面213设置为斜平面。腹面214的弧面的曲率半径R4为1300 1800mm，优选为1500mm。将刀身210接上PVC的刀柄220，用螺钉通过安装孔230固定于机器上即可使用。 安装孔230的半径R3为2 5mm，优选为2. 2mm。再次参看图3，以刀身210为前方，刀身210为后方，则刀身210的左前方和右前方设置为圆弧形结构，且左圆弧2136的半径Rl为10 20mm，优选为IOmm ；左圆弧2136的半径R2为10 20mm，优选为10mm。传统的铲刀如果采用倒角方法制造，则谁锐角或者直角的边缘。本铲刀的背面弧度设计，在使用的过程中不容易挫伤产品，减少产品的破损、缺口甚至碎片的产生，从而产品的提高合格率另外，本剥离铲刀的腹面214设置为弧面结构，当使用铲刀进行剥离作业时，前端由于受硅片阻挡，腹面将发生弯曲，使腹面弧度增大，进而产生自然向前的弹性恢复力，在弹性恢复力作用下，前端高精度部分将轻易滑入硅片下方贴近陶瓷板的倒角缝隙内，使硅片剥离。这相比无弧度设计的铲刀，大大增加了操作便捷度并且充分发挥了尖端高精度设计。刀身210采用聚醚醚酮树脂(Polyetheretherketone，简称PEEK)通过压铸成型工艺制作成，再用高精度数控铣，将尖端加工到所需精度，如前端的厚度为0. 2mm。聚醚醚酮树脂，是一种高端的特种工程塑料。其具有高弹性模量，高耐磨性能等特点。与特氟龙材料相比。它的层间断裂韧性高IJ数量级，强度高25%，疲劳寿命高1倍。这种复合材料对冲击损伤不敏感，在结构设计中损伤容限较大，一次加工成型后可长期使用， 无须再次加工，可以使铲刀的使用寿命增加2年以上。刀柄220可采用聚氯乙烯(Polyvinylchloride，PVC)材料制作。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种剥离硅片的铲刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄与刀身连接，其特征在于：所述刀身的下面为腹面，上面为背面，腹面设置为弧面结构；背面设置为斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮树脂制成一体式结构。

【技术特征摘要】
1.一种剥离硅片的铲刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄与刀身连接，其特征在于所述刀身的下面为腹面，上面为背面，腹面设置为弧面结构；背面设置为斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮树脂制成一体式结构。2.根据权利要求1所述的铲刀，其特征在于，所述刀身腹面的弧面曲率半径R4为 1300 1800mm。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：李彬，洪漪，邱昕，龚祥，
申请(专利权)人：上海申和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31