【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，所述反射面板由固定环固定在所述快速热处理机台上，所述清洁装置包括外盘与内盘，其特征在于，所述外盘与固定环匹配，所述外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；所述内盘与反射面板匹配，所述内盘的表面包裹清洁布，所述内盘与所述外盘活动连接，所述内盘与所述外盘之间设有第二定位销。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许鹖，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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