承载装置及具有该承载装置的曝光机制造方法及图纸

一种承载装置，适于承载一待曝光工件，承载装置包含一基座及一可更换的承载盘，基座包括一顶面，及多数个设置于顶面的第一定位件，可更换的承载盘包括一可承载待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于顶面的底面，及多数个设置于底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载面的可更换的承载盘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种承载装置及具有该承载装置的曝光机，特别是涉及一种承载盘可更换地组装在基座上或由基座上拆卸的承载装置及具有该承载装置的曝光机。
技术介绍
如图1及图2所示，一般曝光机1包含一机台11，一设置于机台11上的承载装置 12、一锁固于机台11上且位于承载装置12上方的承载座13，及一设置于机台11上且位于承载座13上方的曝光头14，承载座13用以承载一光罩15。承载装置12包括一马达121、 一连接于马达121顶端的螺接件122、一螺接于螺接件122上的螺杆123，及一接合于螺杆 123顶端用以承载一待曝光工件16的承载盘124。在进行曝光作业时，待曝光工件16会通过移载装置(图未示)的输送而被置放在承载盘IM上，承载装置12会将承载盘IM往上推移，使得承载盘IM上的待曝光工件16 与承载座13上的光罩15贴平，接着，借由曝光头14所产生的光线通过光罩15对待曝光工件16曝光，使得光罩15上的预设图案能转印到待曝光工件16上。为了稳固地承载待曝光工件16，承载盘124的尺寸大都会设计与待曝光工件16的尺寸相当，若要进行其它不同尺寸的待曝光工件16的曝光作业时，必须将原本的承载装置12拆卸后，更换上另一个具有与该待曝光工件16尺寸相当的承载盘124的承载装置12，才可进行不同尺寸的待曝光工件16的曝光。然而，安装后的承载装置12与光罩15及曝光头14间会产生误差，需重新进行对位校正的动作，故在曝光作业时较为不便，且会耗费大量的工时，因此，如何构思出一种便于拆装且可更换不同尺寸大小的承载盘124的设计，遂成为本专利技术要进一步改进的主题。专利技术内容本专利技术的主要目的，在于提供一种承载装置，其承载盘能方便且迅速地组装在基座上或由基座上拆卸，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载盘。本专利技术的另一目的，在于提供一种具有承载装置的曝光机，承载装置的承载盘能方便且迅速地组装在基座上或由基座上拆卸，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载盘。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的承载装置，适于承载一待曝光工件，承载装置包含一基座及一可更换的承载盘。基座包括一顶面，及多数个设置于顶面的第一定位件；可更换的承载盘包括一可承载待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于顶面的底面，及多数个设置于底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载面的可更换的承载盘。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题还可以采用以下技术手段进一步实现。4各第一定位件为定位柱或定位孔其中之一，各第二定位件为定位柱或定位孔其中另一。基座还包括一由顶面向下凹陷的凹槽，及一一端与凹槽相连通的第一通孔，承载装置还包含一安装于第一通孔另一端的第一气嘴，第一气嘴可对第一通孔及凹槽抽气，使承载盘被吸附于基座的顶面。基座还包括一一端形成于顶面的第二通孔，承载盘还包括一贯穿承载面与底面且与第二通孔连通的气体流道，承载装置还包含一安装于第二通孔另一端的第二气嘴，第二气嘴可对第二通孔及气体流道抽气，使待曝光工件被吸附于承载盘的承载面。承载盘还包括一形成于承载面上的第一沟槽，及多数个形成于承载面上且与第一沟槽相连通的第二沟槽，第一沟槽呈十字形且中心处与气体流道相连通，所述第二沟槽呈同心圆状地排列且分别具有不同的直径。基座还包括一位于该顶面下方的容置空间，及多数个形成于该顶面并与该容置空间连通的第一穿孔，该承载盘还包括多数个贯穿该承载面与该底面且与所述第一穿孔连通的第二穿孔，该承载装置还包含一穿伸于该容置空间内的顶推件，该顶推件包括多数根分别穿设于所述第一、第二穿孔用以顶抵待曝光工件的顶针，顶推件可在一各顶针穿出承载面的第一高度位置，及一各顶针位于承载面下方的第二高度位置间往复运动。承载装置还包含一设置于基座上并可驱动顶推件在第一高度位置与第二高度位置间往复运动的汽缸。依据本专利技术提出的具有承载装置的曝光机，包括一机台、一承载件、一曝光头及一承载装置。承载件设置于机台上用以承载一光罩；曝光头设置于机台上且位于承载件上方； 承载装置适于承载一待曝光工件，承载装置包含一基座、一驱动机构，及一可更换的承载盘。基座设置于承载件下方并包括一顶面，及多数个设置于顶面的第一定位件；驱动机构安装于基座底端并可驱使基座上下往复运动；可更换的承载盘包括一可承载待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于顶面的底面，及多数个设置于底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应该待曝光工件尺寸的承载面的可更换的承载盘。借由上述技术方案，本专利技术承载装置的优点及有益效果在于通过可更换的承载盘设计，使得操作人员能方便且迅速地将承载盘组装在基座上或由基座上拆卸，借此，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载面的可更换的承载盘。附图说明图1是一般曝光机的示意图；图2是类似图1的示意图，说明伸缩装置将待曝光工件往上推移使其平贴光罩；图3是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的立体图；图4是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的承载装置的立体分解图；图5是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的承载盘的仰视图；图6是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的局部放大图，说明承载盘组装于基座的第二座体上，且第一定位件为定位柱，第二定位件为定位孔；图7是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的另一实施态样的局部放大图，说明第一定位件为定位孔，第二定位件为定位柱；图8是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的剖视图；图9是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的剖视图，说明顶推件位在第一高度位置；图10是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的剖视图，说明顶推件位在第二高度位置；图11是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的作动示意图，说明基座、 承载盘及待曝光工件在一初始位置；图12是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的作动示意图，说明待曝光工件抵压在光罩底面；图13是本专利技术具有承载装置的曝光机的一较佳实施例的操作示意图，说明承载装置能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载面的承载盘。图中2.曝光机；21.机台；22.承载件；23.曝光头；31.光罩；32.工件；32，·工件；4.基座；400.承载装置；41.第一座体；410.弧形凹槽；42.第二座体；420.弧形接合部；421.顶面；422.凹槽；423.槽壁；424.第一定位件；425.第一通孔；426.第一槽部； 427.第二槽部；428.第二通孔；429.容置空间；430.第一穿孔；431.侧向开口 ；5.承载盘； 5’.承载盘；51.承载面；51’.承载面；52.底面；53.第二定位件；54.气体流道；55.第一沟槽；56.第二沟槽；57.第二穿孔；6.驱动机构；61.驱动马达；62.活动架；71.第一气嘴； 72.第二气嘴；8.顶推件；81.顶针；9.汽缸。具体实施例方式有关本专利技术的前述及其它
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考图式的一个较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。通过具体实施方式的说明，当可对本专利技术为达成本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种承载装置，适于承载一待曝光工件；其特征在于：该承载装置包含一基座，及一可更换的承载盘，该基座包括一顶面，及多数个设置于该顶面的第一定位件，该可更换的承载盘包括一可承载该待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于该顶面的底面，及多数个设置于该底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当该待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应该待曝光工件尺寸的承载面的该可更换的承载盘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓志明，魏荣廷，
申请(专利权)人：亿力鑫系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71