一种超高压短弧汞导电钼箔的焊接方法以及该超高压短弧汞灯技术

本发明专利技术实施例公开了一种将超高压短弧汞灯导电钼箔焊接方法，包括：钼箔与包含有垫片或钼杯的金属杆相焊接导通，包括以下步骤：所述垫片或所述钼杯固定在所述金属杆上；使用焊接材料固定所述钼箔在所述垫片或所述钼杯上，所述焊接材料至少包括钽箔或铌中的一种。本发明专利技术实施例还公开了一种超高压短弧汞灯。采用本发明专利技术实施例的将超高压短弧汞灯导电钼箔与电极连接的焊接方法以及该超高压短弧汞灯，使用焊接材料钽箔或铌通过点焊或其他手段把将导电钼箔和所述垫片或所述钼杯牢固连接起来，使电流可以通过导电钼箔从灯外导通到灯内的电极，工艺结构简单，保证了焊接部位的可靠性，提高了产品的寿命以及使用安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻制造领域，尤其涉及一种超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法以及该超高压短弧汞灯。
技术介绍
一直以来，超高压短弧汞灯的爆炸问题，一直困扰着制造业，业界投入了大量人力和物力，因一直无法找到造成爆炸的原因，所以爆炸的问题一直无法得到解决。参见图1，为超高压短弧汞灯的结构示意图，其中，金属帽7通过钼箔8与包含有垫片92的金属杆9相焊接导通。现有技术中，由于超高压短弧汞灯金属帽需要与灯的内部形成电连接，因此，超高压短弧汞灯需要使用焊接材料将不同的部件包括导电钼箔和电极之间焊接起来以灯内外电的导通。目前，超高压短弧汞灯的导电钼箔的焊接方法通常使用钼金箔(即纯钼金或基材为钼，表面镀钼金的焊接材料)固定钼箔8在垫片92上，由于钼金是超高压短弧汞灯焊接工艺中的基本焊料，其不仅应用于钼箔8与包含有圆形垫片金属杆的焊接中，还应用于钼箔8与包含有浆形垫片金属杆的焊接中。公司经过大量的研究发现，超高压短弧汞灯的爆炸，是由于白金焊料会致使超高压短弧汞灯在使用中存在安全隐患，具体的，在超高压短弧汞灯工作中，公司经过研究发现，钼金与超高压短弧汞灯中的汞蒸气会发生反应，从而使钼箔与垫片间的连接逐步松动而导致脱落，接触电阻及温度都会随之升高发生爆炸，这种隐患不仅会炸坏光学刻机而且会对光学系统造成一定程度的损坏，更可造成生产的停顿。公司改用钽箔或铌箔后，经过大量实验发现，钽和铌对汞及其蒸汽有非凡的耐蚀性，也随之解决一直困扰业界的超高压短弧汞灯爆炸问题。
技术实现思路
本专利技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法以及该超高压短弧汞灯，使用焊接材料钽箔或铌固定所述钼箔在所述垫片或所述钼杯上，提高了产品的寿命以及使用安全性。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法，包括钼箔与包含有垫片或钼杯的金属杆相焊接导通，其特征在于，包括以下步骤所述垫片或所述钼杯固定在所述金属杆上；使用焊接材料固定所述钼箔在所述垫片或所述钼杯上，所述焊接材料至少包括钽箔或铌中的一种。优选的，所述垫片包括圆形垫片，所述钽箔或所述铌焊接固定在所述圆形垫片与所述钼箔之间。优选的，所述垫片包括浆形垫片，所述钽箔或所述铌焊接固定在所述浆形垫片与3所述钼箔之间。优选的，所述钽箔或所述铌焊接固定在所述钼杯与所述钼箔之间。优选的，所述钽包括钽合金箔，所述铌包括铌合金箔。本专利技术还公开了一种超高压短弧汞灯，由包括上述超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法制成。实施本专利技术实施例的超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法以及该超高压短弧汞灯，由于使用焊料钽箔(包括钽合金箔)或焊料铌箔(铌合金箔)应用在钼箔与包含有圆形垫片金属杆的焊接中，钼箔与包含有浆形垫片金属杆的焊接中，以及钼杯与钼箔之间的焊接中，焊料钽箔或焊料铌箔不会与高温的汞蒸气发生反应，避免了使用钼金焊料安全隐患的发生，提高了超高压短弧汞灯产品的寿命以及使用安全性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有技术中超高压短弧汞灯的结构示意图；图2是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的金属杆与圆形垫片相连接的结构示意图；图3是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的圆形垫片与钼箔相焊接的结构示意图；图4是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的圆形垫片与钼箔相焊接的局部放大结构示意图；图5是本专利技术第一实施例超高压短弧汞灯中圆形垫片与钼箔相焊接的结构示意图；图6是本专利技术第一实施例超高压短弧汞灯中圆形垫片与钼箔相焊接的局部放大结构示意图；图7是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的浆形垫片的结构示意图；图8是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的金属杆与浆形垫片相连接的结构示意图；图9是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的浆形垫片与钼箔相焊接的结构示意图；图10是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的浆形垫片与钼箔相焊接的局部放大结构示意图；图11是本专利技术第二实施例超高压短弧汞灯中浆形垫片与钼箔相焊接的结构示意图；图12是本专利技术第二实施例超高压短弧汞灯中浆形垫片与钼箔相焊接的局部放大结构示意图；图13是本专利技术实施例超高压短弧汞灯的钼杯的结构示意图；图14是本专利技术第三实施例超高压短弧汞灯中钼杯与钼箔相焊接的结构示意图；图15是本专利技术第三实施例超高压短弧汞灯中钼杯与钼箔相焊接的局部放大结构示意图。具体实施例方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述。本专利技术实施例超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法，包括钼箔与包含有垫片或钼杯的金属杆相焊接导通，包括以下步骤所述垫片或所述钼杯固定在所述金属杆上；使用焊接材料固定所述钼箔在所述垫片或所述钼杯上，所述焊接材料至少包括钽箔或铌箔中的一种。优选的，垫片或钼杯固定在金属杆上的方式并不限定，可以采取焊接或机械固定的方式，金属杆为难熔的金属材料制成。优选的，垫片包括圆形垫片，所述钽箔或所述铌箔焊接固定在所述圆形垫片与所述钼箔之间。优选的，所述垫片包括浆形垫片，所述钽箔或所述铌箔焊接固定在所述浆形垫片与所述钼箔之间。优选的，所述钽箔或所述铌箔焊接固定在所述钼杯与所述钼箔之间。优选的，所述钽包括钽合金箔，所述铌包括铌合金箔。本专利技术实施例超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法的其他实施方式中，导电钼箔与金属杆相导通的方式并不限定，只要满足至少使用钽箔或铌箔中的至少一种焊料焊接固定钼箔在垫片或钼杯上即可。本专利技术实施例的超高压短弧汞灯由包括上述超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法制成，超高压短弧汞灯的具体结构包括，金属帽本体1、钼箔2以及金属杆3，金属杆3包括垫片32或钼杯34，金属帽本体1通过钼箔2与包含有垫片32或钼杯34的金属杆3相焊接导通。本专利技术的超高压短弧汞灯的第一实施例中，如图2所示，垫片32包括圆形垫片 322，圆形垫片322固定在金属杆3上，其中，圆形垫片322呈环形片状，金属杆3通过焊接或机械固定的方式与圆形垫片322相连接。结合参见如图3、图4所示，钼箔2呈狭长片状，钼箔2焊接固定在金属杆3具有的环状圆形垫片322上，具体的，钽箔或铌箔焊料4焊接固定在圆形垫片322与所述钼箔2之间。结合参见如图5、图6所示，本专利技术超高压短弧汞灯中钽箔或铌箔焊料4焊接固定在所述圆形垫片322与所述钼箔2之间的具体实施中，钽箔或铌箔焊料4的尺寸和位置并不限定，只要满足圆形垫片322与所述钼箔2之间具有钽箔或铌箔焊料4即可。本专利技术的超高压短弧汞灯的第二实施例中，如图7和图8所示，垫片32包括浆形垫片324，浆形垫片3 固定在金属杆3上，其中，浆形垫片3 呈环形片状，大致为多边形， 金属杆3通过焊接或机械固定的方式与浆形垫片3M相连接。结合参见如图9、图10所示，钼箔2呈狭长片状，钼箔2焊接固定在金属杆3具有的环状浆形垫片3M上，具体的，钽箔或铌箔焊料4焊接固定在浆形垫片324与所述钼箔2 之间。结合参见如图11、图12所示，本专利技术超高压短弧汞灯中钽箔或铌箔焊料4焊接固定在所述浆形垫片324与所述钼箔2之间的具体实施中，钽箔或铌箔焊料4的尺寸和位置并不限定，只要满本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种超高压短弧汞灯导电钼箔的焊接方法，包括：钼箔与包含有垫片或钼杯的金属杆相焊接导通，其特征在于，包括以下步骤：所述垫片或所述钼杯固定在所述金属杆上；使用焊接材料固定所述钼箔在所述垫片或所述钼杯上，所述焊接材料至少包括钽箔或铌中的一种。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜知，
申请(专利权)人：爱思普特殊光源深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：94