【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种镀膜玻璃制造工艺，特别地涉及一种使用旋转陶瓷靶制造镀膜玻璃的工艺。
技术介绍
目前镀膜玻璃的生产多采用磁控溅射技术，而其中所使用的靶一般分金属靶、非金属靶以及陶瓷靶。不管是哪种靶，目前的生产技术中的靶都是固定的。以陶瓷靶为例，在生产时将喷涂陶瓷靶固定于支架上进行喷涂。这种固定式的喷涂方式存在以下缺点固定式陶瓷靶材利用率低，浪费靶材，成本高。固定式陶瓷靶材生产的镀膜玻璃膜层不均，色差较大，平整度、光泽度不够，稳定性差。固定式陶瓷靶材喷涂技术科技含量低，工艺相对简单，性能相对较差。
技术实现思路
针对
技术介绍
中存在的缺点，本专利技术提供了一种旋转陶瓷靶的镀膜玻璃生产工艺，来克服上述缺点。该工艺的步骤如下将等离子喷涂设备通电，把电流设定为700A，电压设定为70V，对设备进行预热， 预热时间为15分钟左右；待温度升至80°C时，把电流设定为600A，电压设定为65V ；然后分别通入氩气、氮气、氢气；最后将气流调节为80m3/S ；喷枪与靶材的距离调节为20厘米左右，使用等离子喷涂设备进行喷镀，喷涂密度为5g/m3。其中使用的陶瓷靶被制成圆筒状，该圆筒状陶瓷靶套在旋转轴上，在使用等离子喷涂设备进行喷涂时，旋转轴保持每10分钟转一圈的速度勻速旋转。使用旋转陶瓷靶的好处在于旋转式陶瓷靶材利用率高，节省靶材，成本低；生产的镀膜玻璃膜层均勻，平整度、光泽度好，稳定性优异。具体实施例方式将等离子喷涂设备通电，把电流设定为700A，电压设定为70V，对设备进行预热， 预热时间15分钟；待温度升至80°C时，把电流设定为600A，电压设定为65V ；然后分别通入...
【技术保护点】
１．一种使用旋转陶瓷靶制造镀膜玻璃的工艺，其包括以下步骤：将等离子喷涂设备通电，把电流设定为７００Ａ，电压设定为７０Ｖ，对设备进行预热，预热时间为１５分钟左右；待温度升至８０℃时，把电流设定为６００Ａ，电压设定为６５Ｖ；然后分别通入氩气、氮气、氢气；最后将气流调节为８０ｍ３／ｓ；喷枪与靶材的距离调节为２０厘米左右，使用等离子喷涂设备进行喷镀，喷涂密度为５ｇ／ｍ３；其特征在于使用制成圆筒状的陶瓷靶，所述圆筒状陶瓷靶套在旋转轴上，使用等离子喷涂设备进行喷涂时，旋转轴保持每１０分钟转一圈的速度匀速旋转。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王进东，
申请(专利权)人：江苏宇天港玻新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：84
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