本发明专利技术公开一种电子显微镜的观察室隔离装置，属于电子显微镜领域。该装置由支撑外壳、底盘组件、滑动导轨组件、阀体组件和驱动气缸连接构成；通过气缸驱动阀体组件，隔离或开通设置在支撑外壳的环形凹槽内的底盘组件的通孔，实现开关的目的。该隔离装置结构简单，便于操作，装配及维修方便，并且采用驱动气缸作为驱动装置，气动驱动具有体积小、作用力大、工作可靠、无污染等优点；阀体的运动配合机械限位，通过接触面的互相配合的凹槽和台阶，带动滑块运动，使隔离阀打开或关闭，在占用体积有限的情况下实现隔离阀功能。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子显微镜的观察室隔离装置，具体而言，涉及一种适用于电子显微镜的观察室的隔离装置。
技术介绍
电子显微镜是一种可以观察微小物质的重要仪器，人们利用它可以观察0.25nm 以下的物质。电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。达到高真空状态是电子显微镜工作的先决条件，电子显微镜的镜筒要获得真空除了有机械泵扩散泵以外，还必须用管道将抽气装置与镜筒联接，在联接处必须配置一系列真空阀门。观察室隔离阀位于投影镜下方，观察室上方，观察室隔离阀就是一个真空阀门， 它的作用是与一个预抽阀、一个放气阀将观察室与照相机单独成一个抽气系统，从而使照相机更换底片时，仪器可以正常操作使用。另外在对镜筒抽真空时，观察室隔离阀与电子枪隔离阀将其分为三个部分，从而大大提高了抽气效率。此外，当镜筒内出现故障时，隔离阀关闭，可以保护未出故障的部分和方便排除查找故障。但现有各种观察室的隔离阀大多存在下述缺点机械结构设计比较复杂、零部件使用较多，体积较大；且不便装配、不便维修。
技术实现思路
本专利技术实施方式的目的是提供一种电子显微镜的观察室隔离装置，具有结构简单，体积小，便于装配和维修。本专利技术的目的是通过下述技术方案实现的本专利技术实施方式提供一种电子显微镜的观察室隔离装置，包括支撑外壳、底盘组件、滑动导轨组件、阀体组件和驱动气缸；其中，支撑外壳中间部位设有环形凹槽，环形凹槽底部的支撑外壳上设有通孔，通孔与环形凹槽内连通；底盘组件嵌装在所述支撑外壳中间部位的环形凹槽内，底盘组件中间部位设有通孔，底盘组件侧壁上设有安装阀体组件的通槽，所述通槽与所述底盘组件中间部位的通孔连通；滑动导轨组件设置在所述底盘组件侧壁的通槽内，滑动导轨组件上设有能沿该滑动导轨组件滑动从所述底盘组件侧壁的通槽处伸出或缩回从而隔断或开通所述底盘组件通孔的阀体组件；与底盘组件侧壁的通槽对应的支撑外壳侧壁上设置气缸安装通孔，驱动气缸通过所述气缸安装通孔安装在所述支撑外壳侧壁上，驱动气缸前端的活塞杆与所述阀体组件连接，驱动所述阀体组件沿所述滑动导轨组件从底盘组件侧壁的通槽处向该底盘组件中间部位的通孔处伸出或从所述通孔处缩回。4此外，所述支撑外壳为圆柱形结构，其中间部位的环形凹槽内设有多个环形凹台， 多个环形凹台形成阶梯式结构；支撑外壳侧壁上设置的气缸安装通孔是两侧为弧形的条形通孔，所述气缸安装通孔与支撑外壳中间部位的环形凹槽内连通。3、根据权利要求1所述的电子显微镜的观察室隔离装置，其特征在于，所述底盘组件为圆柱形结构，其中间部位的通孔外周设置一环形槽；通槽设置在底盘组件的底部，通槽中间部位与底盘组件中间部位的通孔连通，通槽一侧贯通底盘组件侧壁，通槽两侧设有起导轨作用的台阶。此外，所述滑动导轨组件包括导片和限位部件；其中，所述导片设置在底盘组件贯通底盘组件侧壁一侧的通槽处；所述限位部件设置在底盘组件的另一侧通槽内，与导片相对，限位部件由压片和滚轮构成，压片设置在对应于设置导片的底盘组件另一侧的通槽内，压片内设置活动的滚轮。此外，所述阀体组件包括阀体本体、滑片、支架、滑轴、滑块、弹簧钩钉、拉簧和密封圈；其中，阀体本体为方形结构，其一侧壁处设置突起，所述突起上设置连接驱动气缸活塞杆的连接轴，阀体本体的中间部位设有矩形通孔，矩形通孔两侧的阀体本体上各设有一限位凹槽，限位凹槽的一侧面为斜坡状；滑片一端设置在阀体本体上，滑片的自由端设置在所述阀体本体的矩形通孔内；支架设置在所述阀体本体的矩形通孔内，支架底部设置活动的滑轴，支架与滑轴配合穿设在所述矩形通孔内的所述滑片的自由端上，支架通过滑轴能沿滑片相对滑动；滑块固定设置在所述支架上，盖在所述阀体本体上，滑块与阀体本体的凹槽接触处各设置一定位凸台，定位凸台形状与阀体本体的限位凹槽相匹配；滑块两侧分别设置弹簧钩钉，弹簧钩钉与阀体本体上设置的拉簧连接；滑块上设有密封圈槽，密封圈槽内设置密封圈。此外，所述阀体本体上设置的拉簧是通过阀体本体两侧设置的弹簧钩钉设置在阀体本体上。此外，所述驱动气缸包括缸体、缸盖、活塞、活塞杆、固定座和固定块；其中，缸体一端设置缸盖，缸盖上设有与缸体内连通的进排气管一；缸体另一端设置固定座，固定座上设有与缸体内连通的进排气管二，固定座前端设置定块，活塞设置在缸体内，活塞上连接活塞杆，活塞杆前端从缸体一端设置的固定座和定块中伸出。从本专利技术实施方式提供的技术方案中可以看出，本专利技术实施方式的电子显微镜的观察室隔离装置，通过驱动气缸驱动底盘组件和支撑外壳内的阀体组件，使阀体的运动配合机械限位，通过接触面互相配合的凹槽和台阶，带动滑块运动，可以方便的隔离封闭底盘组件中间部位的通孔，实现隔离装置的打开或关闭。该隔离装置结构简单，在占用体积有限的情况下实现隔离功能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。图1为本专利技术实施例提供的电子显微镜的观察室隔离装置的立体结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的电子显微镜的观察室隔离装置的正面结构示意图；图3为图2的A-A向的剖面结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的隔离装置的支撑外壳的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的隔离装置的底盘组件的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的隔离装置的底盘组件的另一角度结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的隔离装置的滑动导轨组件的导轨槽的结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的隔离装置的底盘组件上安装滑动导轨组件的结构示意图；图9为本专利技术实施例提供的隔离装置的阀体组件的结构示意图；图10为本专利技术实施例提供的隔离装置的阀体组件的背面结构示意图；图11为本专利技术实施例提供的隔离装置的阀体组件的阀体本体及其上部件的结构示意图；图12为本专利技术实施例提供的隔离装置的阀体组件的滑块的正面结构示意图；图13为本专利技术实施例提供的隔离装置的阀体组件的滑块的背面结构示意图；图14为本专利技术实施例提供的隔离装置的驱动气缸的立体结构示意图；图15为本专利技术实施例提供的隔离装置的驱动气缸的正向结构示意图；图16为图15的B-B向剖面结构示意图；图中各部件为1-支撑外壳；11-环形凹槽；12-环形凹台；13-支撑外壳的通孔； 14-气缸安装通孔；2-底盘组件；21-底盘组件的通孔；22-环形槽；23-通槽；24-台阶；3-阀体组件；31-滑块；3101-滑块的密封圈槽；3102-滑块的盘头螺钉槽； 3103-滑块的定位凸台；32-阀体本体；33-突起；34-连接轴；35-密封圈；36-弹簧钩钉； 37-拉簧；38-支架；39-滑轴；310-滑片；311-盘头螺钉；312-矩形通孔；313-限位凹槽； 314-阀体本体的弹簧钩钉；4-驱动气缸；41-缸体；42-缸盖；43-固定座；44-定块；45-活塞杆；46-进排气管一；47-进排气管二 ；48-活塞；5-滑动导轨组件；51-导片；511-导轨槽两侧边的突起；52-压块；53-滚轮。 具本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种电子显微镜的观察室隔离装置，其特征在于，包括：支撑外壳、底盘组件、滑动导轨组件、阀体组件和驱动气缸；其中，支撑外壳中间部位设有环形凹槽，环形凹槽底部的支撑外壳上设有通孔，通孔与环形凹槽内连通；底盘组件嵌装在所述支撑外壳中间部位的环形凹槽内，底盘组件中间部位设有通孔，底盘组件侧壁上设有安装阀体组件的通槽，所述通槽与所述底盘组件中间部位的通孔连通；滑动导轨组件设置在所述底盘组件侧壁的通槽内，滑动导轨组件上设有能沿该滑动导轨组件滑动从所述底盘组件侧壁的通槽处伸出或缩回从而隔断或开通所述底盘组件通孔的阀体组件；与底盘组件侧壁的通槽对应的支撑外壳侧壁上设置气缸安装通孔，驱动气缸通过所述气缸安装通孔安装在所述支撑外壳侧壁上，驱动气缸前端的活塞杆与所述阀体组件连接，驱动所述阀体组件沿所述滑动导轨组件从底盘组件侧壁的通槽处向该底盘组件中间部位的通孔处伸出或从所述通孔处缩回。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董全林，姚骏恩，张春熹，杨彦杰，袁水平，于成交，孟凡念，孙茂多，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11
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