MEMS光阀、显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的实施例公开了一种MEMS光阀、显示装置。所述MEMS光阀包括：固定光栅，所述固定光栅具有第一透光部；与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅具有第二透光部；中心轴，所述可动光栅以所述中心轴为中心旋转，所述第二透光部与所述第一透光部随所述可动光栅的旋转而重叠或错开。本实用新型专利技术实施例的MEMS光阀及显示装置的摩擦力小，灵敏度高，体积更加轻巧。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术的实施例涉及显示
，尤其涉及一种MEMS光阀、显示装置。
技术介绍
由于液晶显示装置具有轻、薄、占地小、耗电小和辐射小等优点，被广泛应用于各种电子产品中，例如电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字助理等。然而由于液晶显示装置采用白光作为背光源，只有白光中的偏振光通过液晶显示装置中的液晶层，并且在通过彩色滤光板时又会损失一部分偏振光，光的利用率低。此外，液晶显示装置还具有视觉范围小、结构复杂、成本高等缺陷。随着MEMS技术的发展，MEMS技术也广泛应用于显示装置中。利用高速高效的MEMS 光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制背光源发出的光的透过率，不再需要偏光片、彩色滤光板以及ITO电极，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制造成本。请参考图1，现有技术的具有MEMS光阀的显示装置包括背光源10 ；用于反射背光源10发射的光线的反光镜20 ；固定光栅30，所述固定光栅30具有开口 31 ；与所述固定光栅30相对设置的可动光栅40，所述可动光栅40设置于卡口(未图示)内；与所述可动光栅40相连的感应电极50;以及与所述感应电极50相对的驱动电极60 ；与所述驱动电极60相连的TFT开关70。所述驱动电极60和所述感应电极50 在TFT开关70的驱动下，带动可动光栅40水平方向移动，当固定光栅30的开口 31被可动光栅40挡住时，从背光源10中发射的光线不能透过开口 31，当固定光栅30的开口 31未被可动光栅40挡住时，从背光源10中发射的光线可以透过开口 31。由于现有技术的可动光栅在驱动电极和感应电极的带动下水平移动，受重力的影响，可动光栅水平运动时与卡口之间产生的摩擦力较大，驱动所述可动光栅需要更大的驱动力，现有技术的显示装置灵敏度较低。公开号为US7271945B2的美国专利公开了一种MEMS显示装置，在此专利申请文件中，MEMS显示装置的结构较复杂，且不能很好的解决灵敏度低的问题。
技术实现思路
本技术的实施例解决的问题是提供一种灵敏度高的MEMS光阀、显示装置。为解决上述问题，本技术的实施例提供了一种MEMS光阀，包括固定光栅，所述固定光栅具有第一透光部；与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅具有第二透光部；中心轴，所述可动光栅以所述中心轴为中心旋转，所述第二透光部与所述第一透光部随所述可动光栅的旋转而重叠或错开。可选地，本技术的实施例的具有MEMS光阀还包括与所述可动光栅相连的感应电极；与所述感应电极相对的驱动电极，所述感应电极和所述驱动电极构成电容，其相对运动，以带动所述可动光栅旋转。可选地，所述感应电极的厚度为20nm IOym;所述驱动电极的厚度为20nm 10 μ m。可选地，所述感应电极和驱动电极之间的距离为0. 5 μ m 50 μ m。可选地，所述中心轴的形状为圆柱、圆台、圆锥中的一种。 可选地，所述固定光栅、可动光栅和中心轴的中心在同一直线上。可选地，所述第一透光部的形状为扇形，所述第二透光部的形状为扇形，所述可动光栅的形状为圆形，所述固定光栅的形状为圆形。可选地，所述可动光栅的厚度为20nm 10 μ m。本技术的实施例提供了一种包括上述MEMS光阀的显示装置。可选地，本技术的实施例的显示装置还包括TFT开关，所述感应电极和驱动电极中的一种电极与TFT开关相连，另一种电极接地；或者所述感应电极与第一TFT开关电连接，所述驱动电极与第二 TFT开关相连，所述第一 TFT开关和第二 TFT开关提供的电压不同。可选地，本技术的实施例的显示装置还包括位于基底表面的固定光栅；覆盖所述可动光栅、固定光栅、中心轴、感应电极、驱动电极和TFT开关的封盖层，所述封盖层具有开口 ；密封所述开口的密封盖。本技术的实施例的显示装置还包括覆盖所述可动光栅、中心轴、感应电极、 驱动电极和TFT开关的封盖层，所述封盖层具有开口 ；密封所述开口的密封盖；所述固定光栅形成在所述密封盖表面。本技术的实施例的显示装置还包括位于固定光栅不透光区域的固定件，所述固定件与驱动电极相连，所述固定件与TFT开关相连或者接地。可选地，所述中心轴与TFT开关相连或者接地。与现有技术相比，本技术的实施例具有以下优点本技术实施例的MEMS光阀设置有中心轴，可动光栅可绕所述中心轴旋转，所述第二透光部与所述第一透光部随所述可动光栅的旋转而重叠或错开。本技术的实施例的MEMS光阀，可动光栅绕中心轴旋转的摩擦力小，灵敏度高。本技术的实施例的MEMS光阀的固定光栅和可动光栅为圆形，第一透光部和第二透光部为扇形，可以有效的节省空间、材料，从而使得MEMS显示装置的体积更加轻巧。本技术的实施例的具有MEMS光阀的显示装置的摩擦力小，灵敏度高，体积轻巧。附图说明图1为现有技术的具有MEMS光阀的显示装置的剖面结构示意图；图2是本技术一实施例的具有MEMS光阀的显示装置的平面结构示意图；图3是图2所示一实施例的具有MEMS光阀的显示装置沿A-A方向的剖面结构示意图；图4是本技术另一实施例的具有MEMS光阀的显示装置的剖面结构示意图。具体实施方式针对现有技术中MEMS光阀、显示装置的灵敏度低，摩擦力较大的情况，本技术实施例的专利技术人经研究发现，如果将现有技术中可平移的可动光栅改为可旋转的可动光栅，可以解决MEMS光阀、显示装置的灵敏度低、摩擦力较大的问题。本技术实施例的专利技术人经过进一步研究发现，设计绕中心轴旋转的可动光栅可以解决上述问题。为了使本领域的技术人员可以更好的理解本技术，下面结合具体实施例详细说明本技术具体实施方式的MEMS光阀、显示装置的结构。在本技术实施例的具有 MEMS光阀的显示装置中，所述固定光栅以及可动光栅均为多个，呈阵列排布。为方便起见， 本技术实施例的图中仅示出了一个固定光栅和一个可动光栅，本技术的实施例也仅对一个固定光栅和一个可动光栅为例进行说明。图2是本技术一实施例的具有MEMS光阀的显示装置的平面结构示意图；图3 是图2所示一实施例的具有MEMS光阀的显示装置沿A-A方向的剖面结构示意图，为便于理解，图3中还示出了图2中未显示的TFT开关。请结合参考图2和图3，本技术一实施例的MEMS光阀，包括固定光栅103，所述固定光栅103具有第一透光部104 ；与所述固定光栅103相对的可动光栅109，所述可动光栅109具有第二透光部117 ；中心轴113，所述可动光栅109以所述中心轴113为中心旋转，所述第二透光部117与所述第一透光部104随所述可动光栅109的旋转而重叠或错开。其中，所述固定光栅103为导电材料，所述固定光栅103具有第一透光部104，用于与可动光栅109的第二透光部117结合控制光线的通过量。在本实施例中，所述固定光栅 103的开口率为2% 50%。所述固定光栅103的开口率与所述第一透光部104的大小和数量有关，所述第一透光部104可以为一个或多个。在本实施例中，为节省空间并最大限度的利用材料，使得MEMS光阀的体积更加轻巧。所述固定光栅103可选为圆形，所述第一透光部104为扇形。需要说明的是，在其他实施例中，所述固定光栅103可以为其他形状，例如方形、 椭圆形等；所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种ＭＥＭＳ光阀，其特征在于，包括：固定光栅，所述固定光栅具有第一透光部；与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅具有第二透光部；中心轴，所述可动光栅以所述中心轴为中心旋转，所述第二透光部与所述第一透光部随所述可动光栅的旋转而重叠或错开。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛剑宏，唐德明，
申请(专利权)人：上海丽恒光微电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31