一种硅片切割冷却装置制造方法及图纸

技术编号:6795034 阅读:297 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种硅片切割冷却装置,所述硅片切割冷却装置主要由砂浆管、用于注入悬浮液的注液部、用于固定冷却装置于硅片切割工作面附近的固持部以及用于冷却液喷出的喷嘴组成;所述砂浆管是中空的具有狭长腔室的柱体结构,所述腔室由顶板、两侧板以及底板围挡而成;所述注液部设置为多组并固定设置在所述顶板上,所述喷嘴由设置分离的所述一侧板和所述一底板形成;所述固持部位置可调的设置在所述砂浆管相对的两端部。采用本发明专利技术实施例的硅片切割冷却装置,冷却液能够直接作用在切割块附近,不但能够保证冷却效果,而且节省流量,结构合理,使用便捷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片切割领域,尤其涉及一种硅片切割冷却装置
技术介绍
金钢线切割是一种新型的硅片切割技术,为了使钢线获得最佳的冷却效果,在切割工序中需要一种特殊的冷却装置对钢线进行冷却以保证切割的质量。现有的硅片切割冷却装置均采用冷却液直接作用在钢线上的做法,其是由线网将冷却水带到硅块上的一种技术方案。实现上述技术方案的硅片切割冷却装置因结构设计不合理,存在一定的缺陷例如,喷嘴不能够引流冷却水,无法获得较为稳定均勻的冷却液,导致切割线的带液能力不足;冷却的可控区域比较小,在不同的工况下无法获得较好的冷却效果;此外,不可以调节冷却液与硅块之间的距离。
技术实现思路
本专利技术实施例所要解决的技术问题在于,提供一种硅片切割冷却装置,冷却液能够直接作用在切割块附近,不但能够保证冷却效果,而且节省流量,结构合理,使用便捷。为了解决上述技术问题,本专利技术实施例提供了一种硅片切割冷却装置,所述硅片切割冷却装置主要由砂浆管、用于注入悬浮液的注液部、用于固定冷却装置于硅片切割工作面附近的固持部以及用于冷却液喷出的喷嘴组成;所述砂浆管是中空的具有狭长腔室的柱体结构,所述腔室由顶板、两侧板以及底板围挡而成;所述注液部设置为多组并固定设置在所述顶板上,所述喷嘴由设置分离的所述一侧板和所述一底板形成;所述固持部位置可调的设置在所述砂浆管相对的两端部。在所述一侧板和所述一底板间设置分离形成一缺口,所述缺口沿所述砂浆管侧表面的底部的一端部延伸至相对的另一端部;所述喷嘴位于所述缺口处。形成所述缺口的所述一侧板和所述一底板间互成锐角。所述固持部为两个大小不同的支撑架,其进一步包括支撑架本体和延展设置在所述支撑架本体端部边缘的夹持臂,所述夹持臂夹持固定在所述砂浆管相对的两端部,所述支撑架本体上开设腰型孔;所述砂浆管通过一螺栓与所述腰型孔的螺固连接固定在硅片切割工作面的附近。在所述腔室中分别设置上下排列的第一过滤板和第二过滤板;所述第一过滤板位于所述顶板的邻侧横跨设置在所述腔室中,呈狭长条状,其两端分别固定在所述砂浆管相对的两端,其表面间隔贯通开设过滤孔;所述第二过滤板位于所述底板的邻侧所述第一过滤板的下方,其横跨设置在所述腔室中,其两端亦分别固定在所述砂浆管相对的两端,所述第二过滤板表面间隔贯通开设过滤孔。所述第一过滤板的所述过滤孔设置为单排,所述第二过滤板的所述过滤孔设置为双排,所述单排过滤孔的孔径大于所述双排过滤孔的孔径。所述砂浆管的侧体表面上间隔设置呈环状的加强筋。所述注液部为固定在所述顶板上的两端具有开孔的中空圆柱管,所述圆柱管设置为两个并分别与所述腔室设置连通。实施本专利技术实施例的硅片切割冷却装置,具有如下有益效果,喷嘴是由一侧板和一底板间设置分离形成,由于喷嘴的底板为一斜面,使得冷却装置能够引流冷却水,获得较为稳定均勻的冷却液,不但能降低切割液流量的负荷,而且能增加切割线的带液能力;由于砂浆管是中空的具有狭长腔室的柱体结构,使得硅片切割冷却装置的可控区域大,在不同的工况下都可以获得较好的冷却效果;同时通过固定部的两个大小不同的支撑架调整砂浆管特别是喷嘴相对于硅片切割工作面的位置,使得冷却液能够直接作用在切割块附近,不但能够保证冷却效果,而且节省流量,结构合理,使用便捷。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,根据这些附图获得其他的附图仍属于本专利技术的范畴。图1是本专利技术实施例硅片切割冷却装置的结构示意图; 图2是本专利技术实施例硅片切割冷却装置的侧面结构示意图3是本专利技术实施例硅片切割冷却装置的沿图2所示A-A方向的结构示意图; 图4是本专利技术实施例硅片切割冷却装置的过滤板的结构示意图; 图5是本专利技术实施例硅片切割冷却装置的小支撑架的结构示意图; 图6是本专利技术实施例硅片切割冷却装置的大支撑架的结构示意图。具体实施例方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述。结合参照图1、图2所示,本专利技术实施例公开的一种硅片切割冷却装置,主要由砂浆管1、用于注入悬浮液的注液部2,用于固定冷却装置于硅片切割工作面附近的固持部3 以及用于冷却液喷出的喷嘴4组成,所述砂浆管1是中空的具有狭长腔室10的柱体结构, 所述腔室10由顶板101、两侧板102以及底板103围挡而成,所述注液部2设置为多组并固定设置在所述顶板101上,所述喷嘴4由所述一侧板102和所述一底板103间设置分离形成;所述固持部3位置可调的设置在所述砂浆管1相对的两端部。参见图3,砂浆管1是中空的具有狭长腔室10的柱体结构,其是硅片切割冷却装置的主要载体。本实施例中,砂浆管1由四块板体依次围挡连接围挡而成,分别是顶板101、两侧板102以及底板103 ;—侧板102依次连接顶板101、相对的另一侧板102以及底板103 形成中空柱状腔室10,在所述一侧板102和所述一底板103间设置分离形成一缺口(未图示),该缺口沿砂浆管1侧表面的底部的一端部延伸至相对的另一端部,也就是说,该缺口的长度与砂浆管1的长度大致相同。优选的,砂浆管1侧体表面上间隔设置呈环状的加强筋11,其作用是用以加强砂浆管1的强度。腔室10是由上述顶板101、两侧板102以及底板103相围挡但未完全封闭围挡的结构,进一步说,腔室10在一侧板102和所述一底板103间设置分离形成缺口的位置并未封闭。参见图4,在腔室10中分别设置上下排列的多组过滤板,本实施例中,过滤板设置为两组,亦即上下排列在腔室10中的第一过滤板108和第二过滤板109,其中,第一过滤板 108位于顶板101的邻侧横跨设置在腔室10中,呈狭长条状,其两端分别固定在砂浆管1相对的两端,其表面间隔贯通开设过滤孔1081,第二过滤板109位于底板103的邻侧所述第一过滤板108的下方,其横跨设置在腔室10中,其形状与第一过滤板108的形状相似,两端亦分别固定在砂浆管1相对的两端,其表面间隔贯通开设多组过滤孔1091,其中,过滤孔1081 设置为单排,而过滤孔1091设置为双排,过滤孔1081的孔径略大于过滤孔1091的孔径,其作用是第一过滤板108的过滤孔1081可以先过滤颗粒较大的杂质,而第二过滤板109的过滤孔1091可以起到进一步过滤的作用。注液部2是用于注入冷却液的接口构件,本实施例中,注入的冷却液为悬浮液。注液部2设置为多组并固定在顶板101上,其为两端具有开孔的中空圆柱管,本实施例中的圆柱管设置为两个并与腔室10连通,由注液部2注入的液体将流入腔室10中并顺序经过上述多组过滤板。如图5、图6所示,固持部3用于固定冷却装置在硅片切割工作面的附近,固持部3 位置可调的设置在所述砂浆管1相对的两端部。本实施例中,固持部3为两个大小不同的支撑架,其进一步包括支撑架本体31和延展设置在所述支撑架本体31端部边缘的夹持臂 32,所述夹持臂32夹持固定在所述砂浆管1相对的两端部,所述支撑架本体31上开设用于连接固定所述固持部3的腰型孔312,所述腰型孔312呈倒角矩状,其长度远大于固定在其上的螺栓(图未示)的孔径,当螺栓固定在腰型孔3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片切割冷却装置,其特征在于,所述硅片切割冷却装置主要由砂浆管、用于注入悬浮液的注液部、用于固定冷却装置于硅片切割工作面附近的固持部以及用于冷却液喷出的喷嘴组成;所述砂浆管是中空的具有狭长腔室的柱体结构,所述腔室由顶板、两侧板以及底板围挡而成;所述注液部设置为多组并固定设置在所述顶板上,所述喷嘴由设置分离的所述一侧板和所述一底板形成;所述固持部位置可调的设置在所述砂浆管相对的两端部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡青梅梅守志李建敏刘之文
申请(专利权)人:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
类型:发明
国别省市:36

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