【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种带有翻盖装置的槽。
技术介绍
随着电子工业的发展，对电子元件的需求数量越来越多。为了满足日益增长的电子元件生产需要，电子元件生产的各个阶段的自动化操作成为提高供应数量的关键。另外， 为节省人力成本，电子元件的自动化生产也成为重要因素之一。半导体生产过程中，需要使用各种不同功能的槽，电镀时使用电镀槽、冲洗时使用浸洗槽等。在有些槽的使用过程中，需要使用盖板将槽口盖住，以免液体溅出或造成其它的浪费。在槽体上设置盖板可将槽口盖住，但由操作工人手工推动盖板的方法，速度慢、工作效率低、劳动强度大，难以满足自动化大规模生产的需要。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供可快速开启或关闭槽口的带有翻盖装置的槽。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案实现带有翻盖装置的槽，包括槽体，槽体上端设置有盖板，其特征在于，盖板可转动地安装在槽体上端，还包括自动翻盖装置，所述的翻盖装置包括驱动装置和推杆，驱动装置设置有可伸缩的输出杆；推杆一端与输出杆可转动地连接；另一端与盖板可转动地连接。优选地是，盖板数目为两个，分别可转动地安装在槽体上端；输出杆端部安装有连杆，连杆两端分别可转动地连接有一根推杆，每根推杆与一个盖板可转动地连接。优选地是，所述的驱动装置为气缸。本技术中的带有翻盖装置的槽，利用气缸可驱动盖板快速运动，可快速开启或关闭槽口，操作时间短、自动化操作效率高、劳动强度低。而且本技术结构简单，操作、维修方便，且容易制造。附图说明图1为本技术第一使用状态时的正视示意图。图2为本技术第一使用状态时的右视图。图3为本技术第二使用状态时的右视图。具体实施方式...
【技术保护点】
１．带有翻盖装置的槽，包括槽体，槽体上端设置有盖板，其特征在于，盖板可转动地安装在槽体上端，还包括自动翻盖装置，所述的翻盖装置包括驱动装置和推杆，驱动装置设置有可伸缩的输出杆；推杆一端与输出杆可转动地连接；另一端与盖板可转动地连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，陈概礼，王洪，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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