一种柔性定位控制传感器制造技术

技术编号：6742049 阅读：208 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

一种柔性定位控制传感器，其中，所述柔性定位控制传感器主要由测头、测量力微调器、簧片轴承、挡片、微型光电开关、测杆、外套筒、立体棱镜组成，其中，测杆置于外套筒内，且有一端置于外套筒外，测杆置于外套筒外的一端与测头连接，测杆置于外套筒内的一端连接立体棱镜，立体棱镜上设置有挡片，置于外套筒内的测杆与簧片轴承连接；测量力微调器置于外套筒内，且与簧片轴承连接；微型光电开关置于外套筒内，设置在与挡片同一轴线上，且不接触；本实用新型专利技术提供的柔性定位控制传感器，定位准确度高，可供高准确度位移测量设计中选用，其定位不确定度优于0.01μm，适用于高准确度位移测量设计中使用。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及高准确度传感器的设计，特别提供一种柔性定位控制传感器。
技术介绍
当今世界测量技术不断发展，光栅莫尔条纹、激光干涉条纹的高倍率细分技术不断完善，使得高准确度的定位技术成为该领域关键。目前国内主要采用电感式传感器和电容式传感器，上述传感器均存在非线性和漂移问题，本技术特别提供一种柔性定位控制传感器，可实现高准确度定位，克服了上述传感器的不足和缺点。
技术实现思路
本技术特别提供一种柔性定位控制传感器，定位准确度高，可供高准确度位移测量设计中选用，其定位不确定度优于0. 01 μ m，适用于高准确度位移测量设计中使用，该传感器安装在刚性良好的支架上，随运动部件沿精密导轨移动，光干涉条纹可选高达0. 001 μ m的细分状态，测量力选择稳定度在0. 05N内，实验室经过严格测试其标准差 S=O. 003 μ m (3S 彡 Ο.ΟΟΙμπι)。传感器定位准确度决定着测长系统的准确度，因此，在测量系统的设计中，传感器的选择至关重要，本技术解决了高准确度的量块激光干涉仪、测长机、测长仪、计量型坐标测量机等长度测量仪的定位问题。本技术所述柔性定位控制传感器的柔性定位过程，就是弹簧轴承的变形过程，即弹簧轴承的稳定变形、稳定测力、稳定放大、稳定触发，最后产生稳定的定位信号。本技术所述柔性定位控制传感器，其中，所述柔性定位控制传感器主要由测头(1)、测量力微调器(2)、簧片轴承(3)、挡片(4)、微型光电开关(5)、测杆(6)、外套筒、立体棱镜(8)组成，其中，测杆(6)置于外套筒(7)内，且有一端置于外套筒(7)外，测杆(6)置于外套筒(7)外的一端与测头(1...

【技术保护点】
１．一种柔性定位控制传感器，其特征在于：所述柔性定位控制传感器主要由测头（１）、测量力微调器（２）、簧片轴承（３）、挡片（４）、微型光电开关（５）、测杆（６）、外套筒（７）、立体棱镜（８）组成，其中，测杆（６）置于外套筒（７）内，且有一端置，且与簧片轴承（３）连接；微型光电开关（５）置于外套筒（７）内，设置在与挡片同一轴线上，且不接触。于外套筒（７）外，测杆（６）置于外套筒（７）外的一端与测头（１）连接，测杆（６）置于外套筒（７）内的一端连接立体棱镜（８），立体棱镜（８）上设置有挡片（４），置于外套筒（７）内的测杆与簧片轴承（３）连接；测量力微调器（２）置于外套筒（７）内

【技术特征摘要】
1.一种柔性定位控制传感器，其特征在于所述柔性定位控制传感器主要由测头(1)、测量力微调器(2)、簧片轴承(3)、挡片(4)、微型光电开关(5)、测杆(6)、外套筒(7)、立体棱镜(8)组成，其中，测杆(6)置于外套筒(7)内，且有一端置于外套筒(7)外，测杆(6)置于外套筒(7)外的一端与测头(1)连接，测杆(6)置于外套筒(7)内的一端连接立体棱镜(8)，立体棱镜(8)上设置有挡片(4)，置于外套筒(7)内的测杆与簧片轴承(3)连接；测量力微调器(2)置于外套筒(7)内，且与簧片轴承(3)连接；微型光电开关(5)置...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨玉洁，姜国雁，刘涛，
申请(专利权)人：沈阳黎明航空发动机集团有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：89

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