一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机制造技术

技术编号:6721217 阅读:260 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开的磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,包括磨头部分和定心夹紧机构;所述磨头部分的行星系统包括小齿轮、大齿轮(13)和轴筒(12),所述大齿轮与安装板(14)固联,所述小齿轮分别与大齿轮啮合,所述轴筒通过轴承(1)与轴座(9)连接,所述轴筒两端设置小齿轮和磨轮;所述定心夹紧机构的夹紧部件包括固联在机架上的摇臂支撑(26),与摇臂支撑铰接的左右摇臂,连接左右摇臂的拉簧(29)和固联在左右摇臂上的V型块(27),所述左右摇臂相向设置;所述楔形块(23)设置在左右摇臂之间,楔形块左右侧面分别与左右摇臂内侧面相互滑动接触;该磨机可以实现孔式搭接技术中对硅芯端头的磨削要求,且实现硅芯的自动夹紧定位及自动磨削。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磨机
,具体涉及一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机
技术介绍
目前,在西门子法生产多晶硅的过程中硅芯搭接是一项非常重要的技术,传统的硅芯搭接技术采用“U”形口搭接或“V”形口搭接,即在竖硅芯上端开“U”形坡口或“V”形坡口,横硅芯端部搭接在坡口处。此搭接技术存在着以下两种缺陷第一,横硅芯端部与坡口搭接处形成线接触,接触面太小,造成搭接处接触不好电阻相应较大,在还原反应时此处得到的多晶硅质量较差,也就是行话叫法的“拐弯料”;第二,横硅芯在前后方向可以由U形或 V形槽定位,但在左右方向却无法定位;这样,在还原过程中容易造成硅芯倒伏。因此需改进为一种可有效提高接触面积和减小电阻的硅芯搭接方法,孔式硅芯搭接方法应用而生, 即在横硅芯上钻孔,将端部磨削好的竖硅芯穿入横硅芯两端的钻孔中。
技术实现思路
为了解决与钻孔硅芯配合的硅芯端头的磨削问题,从而更好的实施孔式搭接技术;本专利技术公开了一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,该磨机可以实现孔式搭接技术中对硅芯端头的磨削要求,且磨削过程中实现硅芯的自动夹紧定位及自动磨削,工作效率高。本专利技术是通过以下技术方案实现的一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,包括磨头部分和定心夹紧机构;所述磨头部分包括安装板、轴座、电机、传动机构、行星系统和磨轮;所述传动机构包括小带轮、皮带和大带轮,所述电机输出端固联小带轮,所述小带轮与大带轮通过皮带连接,所述大带轮固连在轴筒上;所述行星系统包括小齿轮、大齿轮和轴筒,所述大齿轮与安装板固联,所述小齿轮分别与大齿轮啮合,所述轴筒通过轴承与轴座连接,所述轴筒一端设置小齿轮,所述轴筒另一端设置磨轮;所述定心夹紧机构包括机架、驱动部件和夹紧部件;所述驱动部件包括固联在机架上的气缸,滑配在气缸内的气缸推杆,所述气缸推杆上固联楔形块;所述夹紧部件包括固联在机架上的摇臂支撑、与摇臂支撑铰接的左右摇臂,连接左右摇臂的拉簧和固联在左右摇臂上的V型块,所述左右摇臂相向设置,且左右摇臂通过拉簧连接;所述楔形块设置在左右摇臂之间,且所述楔形块左右侧面与左右摇臂内侧面相互滑动接触,根据楔形块进入左右摇臂间的深度和与左右摇臂接触面积的大小决定左右摇臂的张开和夹紧。为更好的实施本专利技术创造,所述磨轮设置为锥体结构或阶梯结构。为更好的实施本专利技术创造,所述气缸上设有快插接头。为更好的实施本专利技术创造,所述左右摇臂分别通过销轴铰接在摇臂支撑上。为更好的实施本专利技术创造,左右摇臂两侧均设有拉簧,左右摇臂上分别设有通孔, 拉簧销轴设置在通孔内,拉簧的两端分别连接在左右摇臂同侧的拉簧销轴上。为更好的实施本专利技术创造,所述楔形块横截面为等腰梯形或三角形。本专利技术磨机的磨头作用时,电机带动小带轮转动,小带轮通过皮带带动大带轮转动,从而带动轴筒转动,即带动两个小齿轮公转;小齿轮在公转的同时,通过与大齿轮的啮合作用,引起小齿轮的自转,并通过轴筒将此运动方式传递给磨轮,实现磨轮公转的同时自转,从而磨削硅芯端头。在磨头作用时,定心夹紧机构的气缸通过快插接头充气,汽缸推杆推动楔形块上下运动,摇臂在楔形块的推动作用下绕销轴旋转对硅芯进行夹紧;放气时,汽缸推杆带动楔形块向下运动,固定在拉簧销轴上的拉簧对摇臂进行拉紧,使得摇臂自动张开放开硅芯;即配合磨头实现自动夹紧和放开硅芯。定心夹紧机构的V型块固定在摇臂上,保护硅芯表面不受损伤;在楔形块与摇臂接触面积变动的过程中,摇臂随销轴转动,即摇臂夹紧部分的V型块设计及摇臂上下一体的设置实现上下左右方向上自动定心硅芯的功能。由于磨头本身的自转加公转运动的设计,实现自动、均勻磨削硅芯的效果,且定心夹紧机构代替传统的人工扶持作业,实现了在整个硅芯磨削的过程中无需人工盯点,避免了人工操作过程中经验、注意力、疲劳程度等因素对硅芯磨削质量和磨削效率的影响,使硅芯磨削均勻,不仅大幅度提高工作效率,提高磨削表面质量,而且节约了成本。附图说明图1为本专利技术磨机的结构示意图。图2为本专利技术磨头部分的结构示意图。图3为本专利技术磨轮部分运动轨迹图。图4为本专利技术定心夹紧机构的结构示意图。图5为本专利技术定心夹紧机构楔形块与摇臂的连接示意图。在图中磨头部分18、磨头部分A ;19、磨头部分B ;1、轴承;2、磨轮A ;3、磨轮B ;4、硅芯;5、磨轮A自转轨迹;6、磨轮B自转轨迹;7、磨轮A、B公转轨迹;8、大带轮;9、轴座;10、小齿轮A ;11、小齿轮B ;12、轴筒;13、大齿轮;14、安装板;15、皮带;16、小带轮,17、电机。定心夹紧机构20、机架;21、气缸;22、气缸推杆;23、楔形块;24、右摇臂;25、左摇臂;26、摇臂支撑;27、V型块;28、销轴,29、拉簧;30、快插接头;31、拉簧销轴;具体实施例方式参考下面的实施例,可以更详细解释本专利技术,但是本专利技术并不限于这些实施例的组合方式。结合图1,本实施例的磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,包括定心夹紧机构和配置在定心夹紧机构两端的磨头部分A18和磨头部分B19。其中,磨头部分B可以根据硅芯另一端的加工要求设计成和磨头部分A相同的设计或者不同的设计。如果只需磨削硅芯的一端,可只配置磨头部分A或磨头部分B ;或者使用联动设计,启动联动按钮可以实现磨头部分A、B同时开始工作,不启动联动按钮可以使磨头部分A、B分别工作。结合图2,本实施例的磨削硅芯或其它晶体材料的磨机的磨头,包括安装板14、轴座9、电机17、传动机构、行星系统和磨轮;传动系统包括小带轮16、大带轮8和皮带15,电机17输出端固联小带轮16,小带轮与大带轮通过皮带15连接,大带轮固连在轴筒12上; 行星系统包括小齿轮A10、小齿轮Bll、大齿轮13和轴筒12,大齿轮13与安装板14固联,小齿轮分别与大齿轮8啮合;所述轴筒12通过轴承1与轴座连接,轴筒一端设置小齿轮,轴筒另一端设置磨轮A2和磨轮B3。结合图4、图5,本实施例磨机的定心夹紧装置包括通过螺钉固联在机架20下部的气缸21,气缸21上设有快插接头30,气缸21内滑配气缸推杆22组成驱动部件;气缸推杆 22上固连楔形块23。机架20上部两侧通过螺钉固联摇臂支撑沈,摇臂支撑沈上部两端分别通过销轴观铰接左摇臂25、右摇臂M,两臂相向设置;左摇臂25、右摇臂M上端固联 V型块27 ;左摇臂25、右摇臂M两侧分别通过拉簧四连接。楔形块23设置在左右摇臂之间,且其左右侧面分别与左右摇臂内侧面相互滑动接触。左摇臂、右摇臂上分别设有通孔, 拉簧销轴31设置在通孔内,拉簧四的两端分别连接在两臂同侧的拉簧销轴31上。摇臂支撑沈、左摇臂25、右摇臂24、V型块27和拉簧四组成夹紧部件。结合图4,磨削硅芯时,磨机的定心夹紧装置工作,将硅芯4放置在张开的V型块 27中,电磁阀通过快插接头30与气缸21相连。开启电磁阀,气缸充气,推动气缸推杆22向上运动,楔形块23在气缸推杆的作用下向上运动,楔形块左右侧面与左右摇臂内侧面相互滑动接触,左右摇臂随销轴相向转动,根据楔形块进入摇臂内的深度和接触面积的大小决定左右摇臂的夹紧程度。在楔形块23与左右摇臂接触面积变动的过程中,固连在摇臂上的 V型块相向运动实现上下左右方向自动定心硅芯的功能。硅芯夹紧定位后,磨轮部分快速进给至硅芯4,将要接触时,以工进速度进给磨削。结合图2、图3,电机17带动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,包括磨头部分和定心夹紧机构;其特征在于:所述磨头部分包括安装板(14)、轴座(9)、电机(17)、传动机构、行星系统和磨轮;所述传动机构包括小带轮(16)、皮带(15)和大带轮(8),所述电机(17)输出端固联小带轮(16),所述小带轮(16)与大带轮(8)通过皮带(15)连接,所述大带轮(8)固连在轴筒(12)上;所述行星系统包括小齿轮、大齿轮(13)和轴筒(12),所述大齿轮(13)与安装板(14)固联,所述小齿轮分别与大齿轮(13)啮合,所述轴筒(12)通过轴承(1)与轴座(9)连接,所述轴筒(12)一端设置小齿轮,所述轴筒(12)另一端设置磨轮;所述定心夹紧机构包括机架(20)、驱动部件和夹紧部件;所述驱动部件包括固联在机架(20)上的气缸(21),滑配在气缸(21)内的气缸推杆(22);所述气缸推杆(22)上固联楔形块(23);所述夹紧部件包括固联在机架(20)上的摇臂支撑(26),与摇臂支撑(26)铰接的左摇臂(25)、右摇臂(24),连接左右摇臂的拉簧(29)和固联在左摇臂(25)、右摇臂(24)上的V型块(27),所述左摇臂(25)和右摇臂(24)相向设置,且所述左摇臂(25)和右摇臂(24)通过拉簧(29)连接;所述楔形块(23)设置在左摇臂(25)和右摇臂(24)之间,楔形块(23)左右侧面分别与左摇臂(25)和右摇臂(24)内侧面相互滑动接触。...

【技术特征摘要】
1.一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,包括磨头部分和定心夹紧机构;其特征在于所述磨头部分包括安装板(14)、轴座(9)、电机(17)、传动机构、行星系统和磨轮;所述传动机构包括小带轮(16)、皮带(15)和大带轮(8),所述电机(17)输出端固联小带轮 (16),所述小带轮(16)与大带轮(8)通过皮带(15)连接,所述大带轮(8)固连在轴筒(12) 上;所述行星系统包括小齿轮、大齿轮(13)和轴筒(12),所述大齿轮(13)与安装板(14)固联,所述小齿轮分别与大齿轮(13)啮合,所述轴筒(12)通过轴承⑴与轴座(9)连接,所述轴筒(12) —端设置小齿轮,所述轴筒(12)另一端设置磨轮;所述定心夹紧机构包括机架(20)、驱动部件和夹紧部件;所述驱动部件包括固联在机架(20)上的气缸(21),滑配在气缸(21)内的气缸推杆(22);所述气缸推杆(22)上固联楔形块(23);所述夹紧部件包括固联在机架(20)上的摇臂支...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘朝轩王晨光
申请(专利权)人:洛阳金诺机械工程有限公司
类型:发明
国别省市:41

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