掩模组件制造技术

本发明专利技术公开了一种能够提高有机材料淀积效率的掩模组件。该掩模组件包括：多个淀积掩模；框架，其与连续布置的所述多个淀积掩模连接；以及接合部，其用于连接相邻的淀积掩模。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及掩模组件，更具体而言，涉及在形成有机发光显示设备的有机层的过程中，能够提高有机材料淀积效率和制成的有机发光显示设备的特性均勻性 (characteristic uniformity)白勺掩模组件0
技术介绍
近来，信息技术的日益重要导致了用于可视地显示电信息信号的显示技术的进展。因而，已经开发出具有包括轻薄设计、低重量和低功耗的优异性能的多种平板显示器， 并快速地取代了常规的阴极射线管(CRT)。平板显示器的代表性例子可以包括液晶显示器(LCD)、等离子体显示板(PDP)、 场致发射显示器(FED)、电致发光显示器(ELD)、电润湿显示器(EWD)和有机发光二极管 (OLED)显示器。在上述显示器中，有机发光二极管(以下称为“0LED”)使用有机发光二极管显示图像。OLED被设计成借助于通过重新组合电子和空穴而产生的激子(exciton)能量来产生特定波长的光。这种OLED的优点是显示特性优异(例如高对比度和快速响应时间)和容易实现灵活显示，并且其可以被分类为理想的下一代显示器。在常规的OLED中，限定了多个子像素排列成矩阵的有源区和被称为无源区的剩余区。每个子像素包括薄膜晶体管和有机发光二极管。该有机发光二极管包括第一电极、 有机层和第二电极。该有机层包括空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。具有上述构造的OLED通过向第一电极和第二电极施加几伏电压而显示图像。由此， 穿过有机层的电流引起发光。亦即，OLED利用如下的原理显示图像，该原理使用由回落到基态的激子而产生的剩余能量来发光。激子是通过重新组合从第一电极和第二电极注入的空穴和电子而产生。同时，在有机层形成过程中，使用掩模组件来形成与子像素相对应的发光区。在该情况下，掩模组件包括框架和淀积掩模，其中，该框架与该淀积掩模连接，该淀积掩模由金属或塑料薄膜形成并包括与有源区相对应的孔径区和位于该孔径区以外的拦截区 (intercepting area)。在该掩模组件中，淀积掩模在非折叠状态下是平的并且例如通过焊接而与框架连接。该框架被配置为维持该淀积掩模的平坦状态。为了通过同时制造多个有机发光显示器以实现产量的提高，或者为了增大有机发光显示器的尺寸，需要逐渐增大衬底的尺寸。这使得必须与衬底相对应地增大掩模组件的尺寸。如上所述，当单个淀积掩模构成了大的掩模组件时，淀积掩模应当具有大的尺寸。 因此，即使淀积掩模在伸展状态下与框架连接，淀积掩模也可能在重量的作用下发生凹陷。 该凹陷的淀积掩模可能不会与衬底紧密接触，由此难以根据设计的图案执行有机物质的淀积。此外，如果向淀积掩模施加过大的张力，该张力可能使淀积掩模的图案发生变形，使得难以根据设计的图案执行有机材料的淀积。为了解决上述问题，已经尝试使用多个淀积掩模(以下称为“分离(split)淀积掩模”)来构成与大的衬底相对应的大的掩模组件。图1例示了现有技术的掩模组件的平面图。 参照图1，现有技术的掩模组件10具有多个分离(divisional)淀积掩模11以及与该多个分离淀积掩模11相连接的矩形框架12。在该示例中，这些分离淀积掩模11中的每一个在借助于对该分离淀积掩模11的上端和下端施加预定张力而使其展平的状态下连接至框架12。由于该多个分离淀积掩模11的尺寸相对较小，因此能够防止淀积掩模11在重量作用下的凹陷现象。然而，在该多个分离淀积掩模11的情况下，淀积掩模11的整个外周没有固定至框架12，而是仅有其上端和下端固定至框架12，从而导致该多个分离淀积掩模11连接至框架 12的问题。亦即，即使分离淀积掩模11在由于对该分离淀积掩模11施加了足够的张力而使其展平的状态下连接至框架12，分离淀积掩模11的中部也会变松动，或者由于衬底的移动、以及制造过程中的冲击或移动而导致相邻的分离淀积掩模11之间的间隙变大。由于分离淀积掩模11松动或者相邻分离淀积掩模11之间的间隙使得淀积与设计不同，因此，在淀积有机材料时的有机材料淀积效率和OLED特性的均勻性变差。
技术实现思路
因而，本专利技术旨在提供一种掩模组件。本专利技术的目的是提高一种能够使得多个淀积掩模之间的连接牢固的掩模组件，其防止了该多个淀积掩模的松动，并防止在相邻淀积掩模之间形成空隙。本专利技术的其他优点、目的和特征将在以下说明书中部分地进行阐述，并且在本领域技术人员研究了以下说明书后将部分地变得清楚，或者可以通过实施本专利技术而获知。本专利技术的目的和其他优点可以通过在书面描述、权利要求书及附图中具体指出的结构来实现并获得。为了实现这些目的和其他优点并根据本专利技术的目的，如此处具体实施和广泛描述的，本专利技术提供了一种掩模组件，其包括多个淀积掩模，各个淀积掩模由用于使有机材料通过的孔径区和作为该孔径区外围的掩蔽区而限定；框架，其与连续布置的所述多个淀积掩模连接；以及接合部，其用于连接该多个淀积掩模中的相邻淀积掩模。应理解的是，对本专利技术的前面的概述和下面的详述都是示例性和解释性的，旨在提供对要求保护的专利技术的进一步解释。附图说明附图被包括进来以提供对本公开的进一步理解，并且被并入而构成了本申请的一部分，附图例示了本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。在附图中，图1例示了现有技术的掩模组件的平面图。图2例示了根据本专利技术的一个优选实施方式的用于淀积有机材料的示例性装置的截面。图3例示了根据本专利技术的第一优选实施方式的掩模组件的平面图。图4例示了图3中的A区域的放大图。图5例示了沿图4中的直线B-B截取的截面。图6A-6C分别例示了对上述结构拍摄的根据本专利技术的第一优选实施方式的接合部的照片。图7例示了据本专利技术的第一优选实施方式的对掩模组件的淀积掩模孔径区进行分离的掩模组件的平面图。图8例示了根据本专利技术的第二优选实施方式的掩模组件的平面图。图9例示了图8中的C区域的截面。图10例示了据本专利技术的第二优选实施方式的对掩模组件的淀积掩模孔径区进行了分离的掩模组件的平面图。图11例示了根据本专利技术的第三优选实施方式的掩模组件的平面图。图12例示了图11中的D区域的截面。具体实施例方式下面将详细说明本专利技术的具体实施方式，在附图中例示了本专利技术的实施例。在附图中尽可能用相同的附图标记指代相同或相似的部分。首先，将说明掩模组件所应用的有机材料淀积过程。图2例示了根据本专利技术的一个优选实施方式的用于淀积有机材料的示例性装置的截面。参照图2，用于淀积有机材料的装置包括内部维持真空态的腔室10 ；用于释放有机材料的淀积源20 ；布置在淀积源20上方的掩模组件100 ；布置在掩模组件100上方的衬底30 ；以及布置成与掩模组件100相对的磁单元40，衬底30设置在该磁单元40与掩模组件100之间。 在有机材料淀积到衬底30上的过程中，腔室10的内部维持高真空和高温。在该示例中，虽然未示出，但为了维持高真空，可以在腔室10中布置类似TMP(Turbo Molecular Pump，涡轮分子泵)的真空泵。并且虽然未示出，但有机材料淀积装置可以另外包括用于对有机材料的淀积厚度进行测量的厚度监控传感器、用于根据测得的有机材料的厚度对淀积源20的操作进行控制的厚度控制器、以及用于屏蔽从淀积源发出的有机材料的挡板 (shutter)。淀积源20是布置在腔室10下侧的坩埚，用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种掩模组件，其包括：多个淀积掩模；框架，其与连续布置的所述多个淀积掩模连接；以及接合部，其用于连接所述多个淀积掩模中的相邻淀积掩模。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李一铉，金泰亨，朴钟贤，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR