本实用新型专利技术公开一种扩散炉有害气体监测装置，所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄漏量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄漏量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。本实用新型专利技术扩散炉有害气体监测装置用于扩散工艺场所的有害气体监测。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及用于半导体工艺的扩散炉，尤其是涉及扩散炉有害气体监护装置。
技术介绍
扩散炉是半导体工艺的一种重要设备，主要用于掺杂工艺，特别在晶体硅太阳能电池生产中，扩散炉是唯一的掺杂设备，是制造工艺中对PN结的生成、转换效率的提高起决定性的关键设备。现在的扩散炉大多做磷扩散，把N2通入到源瓶中，鼓泡携带源瓶中的POCl3 (三氯氧磷)进入工艺管中，高温状态裂变产生磷。为了很好地控制队携带POCl3W量，通常把装载POCl3的源瓶置放在恒温水槽中，源瓶一般由石英、PTFE或PDF材料制作。在搬运过程中， 石英源瓶若有碰撞，磕碰等易产生隐裂等损伤而使POCl3泄漏。即使是PTFE或PDF材料制作的源瓶也有可能因为人员操作不当等原因而造成POCl3外泄。液态的POCl3遇水蒸气分解成磷酸与氯化氢，氯化氢对皮肤粘膜有刺激和烧灼作用，磷酸可致磷中毒。短期内吸入大量蒸气，可引起上呼吸道刺激症状，严重者可发生肺水肿，心力衰竭等。此外，在工艺结束卸载硅片时，硅片及承载硅片的石英舟上会残留有扩散工艺气体、产生的废气等。这些残留气体(P2O5)和废气(Cl2)若遇到温度较低的冷空气，其中的水就会与P2O5结合生成偏磷酸、与 Cl2结合生成盐酸，偏磷酸为有毒物品，盐酸具有腐蚀性。而扩散炉一般装在密封厂房中，一旦发生POCl3泄漏或者工艺废气未能集中收集起来及时排出，将严重危害操作人员，损伤设备、仪器和厂房等。
技术实现思路
本技术为了解决扩散炉有害气体泄露对人员、设备等造成损害的技术问题， 提供了一种扩散炉有害气体监测装置。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为设计一种扩散炉有害气体监测装置，所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄露量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。所述监测器为三氯氧磷监测器、偏磷酸监测器或盐酸监测器。所述报警器包括一报警灯和蜂鸣器。所述气管由PFA材料制成。本技术扩散炉有害气体监测装置通过设置一探头收集有害气体，并通过气管将有害气体送到监测器，当监测器监测到有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送报警信号驱动报警器报警。从而使有害气体泄漏事故能得到及时控制，保护了操作人员以及设备和厂房设施的安全，可以有效地预防由于有害气体泄漏而造成安全事故的发生，大大地消除了危害隐患。附图说明下面结合实施例和附图对本技术进行详细说明，其中图1是本技术扩散炉有害气体监测装置的构成示意图。具体实施方式请参见图1。本技术扩散炉有害气体监测装置包括一探头1、气管2、监测器3 和报警器4。其中探头1用于收集有害气体，其置于有害气体可能泄露的场所，以在有害气体泄露时即将有害气体收集起来通过气管传送到监测器3。气管2 —端连接探头，另一端与监测器3相连，以将探头1收集的气体传送到监测器3。由于需要置于有腐蚀性的场所，所以，气管的材料应具有很好的防腐蚀性能。由于 PFA(Polyfluoroalkoxy,可溶性聚四氟乙烯)具有卓越的耐化学腐蚀性，对所有化学品都耐腐蚀。因此本具体实施例优选使用PFA制作气管。监测器3监测气管传送过来的由探头收集的有害气体，当监测到有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号。报警器4与监测器3连接并接收从报警器信号传送过来的报警信号后报警。报警器可以为一报警灯、一蜂鸣器或两者的组合。本技术工作原理如下探头安装在有害气体可能泄露的场所5的周围，并且时刻收集该处的气体。一旦发生有害气体泄露，探头便能及时收集有害气体并通过气管送到监测器监测有害气体的泄露量，当监测器监测到有害气体的泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，报警器根据接收到的报警信号报警，以通知操作人员疏散并进行应急处理。在实际使用时，可以在扩散炉所在的封闭厂房中设置若干有害气体监测装置以监测不同的有害气体。如在装载POCI3的源瓶附近安装探头以收集泄露的POCI3S后通过 POCl3监测器监测POCl3的泄露量；而在工艺废弃回收装置可能发生偏磷酸和盐酸泄漏的位置处则使用偏磷酸和盐酸监测器来监测偏磷酸和盐酸的泄露量。本扩散炉有害气体监测装置对有害气体保持时刻的监测，且可以自由设定监测器的报警点，一旦发生有害气体泄漏，报警器及时发出警报。从而使有害气体泄漏事故能得到及时控制，保护了操作人员以及设备和厂房设施的安全，从而可以有效地预防由于有害气体泄漏而造成安全事故的发生，大大地消除了危害隐患。权利要求1.一种扩散炉有害气体监测装置，其特征在于所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄露量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。2.根据权利要求1所述的扩散炉有害气体监测装置，其特征在于所述监测器为三氯氧磷监测器、偏磷酸监测器或盐酸监测器。3.根据权利要求1所述的扩散炉有害气体监测装置，其特征在于所述报警器包括一报警灯和蜂鸣器。4.根据权利要求1所述的扩散炉有害气体监测装置，其特征在于所述气管由PFA材料制成。专利摘要本技术公开一种扩散炉有害气体监测装置，所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄漏量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄漏量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。本技术扩散炉有害气体监测装置用于扩散工艺场所的有害气体监测。文档编号G08B21/14GK201946090SQ201020605670公开日2011年8月24日 申请日期2010年11月12日 优先权日2010年11月12日专利技术者伍波, 张勇, 李果山 申请人:深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种扩散炉有害气体监测装置，其特征在于：所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄露量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：伍波，张勇，李果山，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94
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