用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的方面涉及一种包括第一分离掩模和第二分离掩模的用于蒸发的掩模以 及一种用于制造该掩模的方法和装置。
技术介绍
通常，有机发光二极管(OLED)包括设置在第一电极(即，阳极)和第二电极(即， 阴极)之间的有机层。第一电极是由例如氧化铟锡(ITO)形成的透明电极，第二电极由具 有低逸出功的金属(例如，Ca、Li或Al)形成。当向OLED施加正向电压时，从阳极发射的 空穴与从阴极发射的电子组合，以形成激子，在激子从激发态跃迁至基态的同时，发射光。第二电极通常形成为反射光的反射电极，而第一电极通常形成为透射光的透射电 极。因此，可以制造出将从有机层发射的光发射到第二电极的0LED。这里，有机层可以通过各种方法来形成。方法之一是蒸发方法。为了通过蒸发方 法制造OLED显示装置，将具有与要形成的薄膜相同的图案的掩模附着到其上将形成有薄 膜的表面，将用于薄膜的材料蒸发，以形成具有预定图案的薄膜。同时，随着平板显示器变得更大，这样的掩模也变得更大。例如，在掩模的当前制 造中，不能制造出与5. 5G基底(1320mmX 1500mm)的尺寸对应的掩模，因此，应当使用分离 掩模。通常，这样的分离掩模如下形成将掩模框架四等分成格子类型的子框架；并通 过焊接来结合被设置为与分离的开口对应的掩模。然而，将掩模框架等分为子框架并通过焊接将掩模结合到分离的开口的方法由于 子框架而导致阴影效应。因此，难以执行均勻的蒸发。
技术实现思路
本专利技术的各方面提供了一种用于蒸发的掩模，该掩模不会由于子框架而具有阴影 效应，从而可以制造更大的掩模。根据本专利技术的一方面，一种用于蒸发的掩模包括第一分离掩模、第二分离掩模以 及形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间的焊接部分。所述第一分离掩模和所 述第二分离掩模通过所述焊接部分彼此结合。所述焊接部分可以在所述焊接部分与所述第一分离掩模之间的界面周围以及在 所述焊接部分与第二分离掩模之间的界面周围具有毛刺。所述毛刺的高度可以为大约 10 μ m或更小。所述第一分离掩模与所述第二分离掩模之间的间隙可以为掩模的厚度的大约 10%或更小。根据本专利技术的另一方面，一种制造用于蒸发的掩模的方法包括将第一分离掩模 和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上；使用夹具将所述第一分离掩模和所述第二分离 掩模固定到所述工作台；将压板设置在将被焊接的所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；使用激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。设置第一分离掩模和第二分离掩模的步骤可以包括将主基底设置在所述工作台 的所述顶表面上；将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模与所述主基底对准。可以在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成间隙，所述间隙可以为所 述第一分离掩模的厚度的大约10%或更小。所述方法还可以包括在朝向焊接方向移动的同时，利用第一辊将所述第一分离 掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。所述第一辊可以弓I导所述激光焊接部分。在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模之后，可以在所述第一分离掩模 和所述第二分离掩模之间形成焊接部分。所述方法还可以包括在朝向焊接方向移动的同 时，利用第二辊使所述焊接部分的顶表面平坦化。所述第二辊可以跟随所述激光焊接部分。从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓可以具有多个最大峰。根据本专利技术的又一方面，一种用于制造用于蒸发的掩模的装置包括工作台；夹 具，设置在所述工作台上；压板，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域 上；激光焊接部分，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上方。所述夹具将第一分 离掩模和第二分离掩模固定到所述工作台的顶表面。所述压板将所述第一分离掩模和所述 第二分离掩模压到所述工作台上。所述激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二 分离掩模。所述装置还可以包括设置在所述工作台与所述第一分离掩模及所述第二分离掩 模之间的主基底。从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓可以具有多个最大峰。没有一个最大峰会 处于所述激光束轮廓的中心周围。所述装置还可以包括定位在所述激光焊接部分的前面的第一辊和定位在所述激 光焊接部分的后面的第二辊。所述第一辊和所述第二辊设置在所述第一分离掩模和所述第 二分离掩模上。所述装置还可以包括支撑件。所述激光焊接部分以及所述第一辊和所述第二辊可 以安装在所述支撑件中。在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模的同时，所述支 撑件可以沿焊接方向移动。所述第一辊可以引导所述激光焊接部分，并可以将所述第一分 离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分 离掩模期间，所述第二辊可以跟随所述激光焊接部分，并可以将形成在所述第一分离掩模 和所述第二分离掩模之间的焊接部分的表面平坦化。本专利技术的附加方面和/或优点将部分地在下面的描述中进行说明，并部分地根据 描述将是明显的，或者可以由本专利技术的实施而明了。附图说明因为通过参考结合附图考虑的以下详细描述，本专利技术变得更益于理解，所以本发 明的更充分的认识和本专利技术的许多伴随的优点将更加显而易见，在附图中相同的标号指示 相同的或类似的组件，其中图IA是根据实施例的用于制造用于蒸发的掩模的装置的示意性透视图；图IB是沿图IA的剖视线A-A截取的剖视图2是支撑件的示意性透视图，其中安装了根据实施例的用于制造用于蒸发的掩 模的装置的激光焊接部分；图3A示出传统的激光束轮廓；图;3B是示出通过图3A的激光束焊接的部分的照片；图3C是沿图;3B的剖视线B-B截取的剖视图；图4A示出根据实施例的激光束轮廓；图4B是示出通过图4A的激光束焊接的部分的照片；图4C是沿图4B的剖视线C-C截取的剖视图；图5A是根据实施例的用于蒸发的掩模的示意性平面图；图5B是沿图5A的剖视线D-D截取的剖视图；图5C是图5A的区域E的放大照片；图6是包括用于蒸发的掩模的蒸发装置的示意性剖视图。具体实施例方式通常，有机发光二极管(OLED)包括设置在第一电极(即，阳极)和第二电极(即， 阴极)之间的有机层。第一电极是由例如氧化铟锡(ITO)形成的透明电极，第二电极由具有 低逸出功的金属(例如，Ca、Li或Al)形成。当向OLED施加正向电压时，从阳极发射的空 穴与从阴极发射的电子组合，以形成激子，在激子从激发态跃迁至基态的同时，发射光。第 一电极通常形成为反射光的反射电极，而第二电极通常形成为透射光的透射电极。因此，可 以制造出将从有机层发射的光发射到第二电极的0LED。这里，有机层可以通过各种方法来 形成。方法之一是蒸发方法。为了通过使用蒸发方法制造OLED显示装置，将具有与要形成 的薄膜相同的图案的掩模附着到其上将形成有薄膜的表面，并将用于薄膜的材料蒸发，以 形成具有预定图案的薄膜。现在，在下文中将参照附图更充分地描述本专利技术，在附图中示出了本专利技术的示例 性实施例。相同的标号贯穿说明书指示相同的元件，当一个部件与另一个部件连接时，这些 部件可以彼此“直接连接”，或者在它们之间具有第三装置的情况下彼此“电连接”。此外， 在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。图6是示意性地示出在蒸发方法中使用的包括掩模的蒸发装置2的剖视图。蒸发 装置2设置在真空室内部。参照图6，为了蒸发，为了使用掩模1蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蒸发的掩模，所述掩模包括：　　第一分离掩模；　　第二分离掩模；　　焊接部分，形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间，所述第一分离掩模和所述第二分离掩模通过所述焊接部分彼此结合。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金俊亨，曹永根，申义信，金钟宪，崔丞镐，卢喆来，曹昌睦，朴宰奭，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR