【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种微电子机械系统传声器，包括：硅基板，形成有背腔；支撑板，蒸镀在所述硅基板，形成有多个音孔；膜，以与所述支撑板隔开而形成空隙的方式蒸镀在所述硅基板；以及应力缓冲部，蒸镀在所述膜和硅基板的接触部位。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：金容国，
申请(专利权)人：宝星电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR
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