半导体晶块自动清扫装置制造方法及图纸

技术编号:6681912 阅读:149 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域,具体地说是涉及一种半导体晶块自动清扫装置,半导体晶块自动清扫装置,包括装置本体,其特征是:所述的装置本体下部具有滚轮带动的滑道,装置本体上部具有电机带动的滚刷,装置本体两侧具有护板。这样的半导体晶块自动清扫装置具有结构简单、省时省力、清扫效果好的优点。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.半导体晶块自动清扫装置,包括装置本体,其特征是:所述的装置本体下部具有滚轮带动的滑道,装置本体上部具有电机带动的滚刷,装置本体两侧具有护板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张志辉宋暖欧阳进民
申请(专利权)人:河南久大电子电器有限公司
类型:实用新型
国别省市:41

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