本发明专利技术涉及一种无极准分子灯及其采用可产生207nm紫外光的无极灯管时的应用，该种无极准分子灯采用微波激励发光，无极方式。本发明专利技术主要改进谐振腔系统的设计，使谐振腔与工作腔合二为一，提高工作效率，整套产品光照效率大为提高。当该无极准分子灯采用可产生207nm紫外光的无极灯管时，可有效杀灭细菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生动物及线虫卵、藻类等常见微生物。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属电光学领域，涉及一种通过微波激励放电发光的准分子灯，具体涉及准 分子灯的谐振腔系统及采用可产生波长为207nm紫外光的无极灯管时的应用。
技术介绍
受激准分子灯目前广泛应用于半导体集成电路、液晶显示面板和印刷线路板等 电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等中，但是现在进入实用状态的大都是高压 电场激发光的准分子灯，例如专利公开号CN1494105A的(受激准分子灯)，专利公开号 CN101164136A的(准分子灯)等。现在国内外也有不少院校及科研机构、企业在研究新型准分子发光系统，如复旦 大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)；电子科技 大学专利申请号为03117882.0的(一种微波紫外光源)；以及本人的专利号为ZL 2008102 1 6783. 1的(无极准分子灯)等。其中复旦大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm 准分子微波无极放电灯及应用)的技术在废水废气的降解方面作了深入研究，已经可进入 实用阶段，其它方面的应用则未见于报导。目前紫外线用于杀菌的都是波长为253. 7nm的紫外光，由于该波长的紫外灯均为 汞灯，众所周知，汞是重污染金属，所以如果能有一种绿色环保的光源替代，将是紫外灯行 业的一次革命。在本人的专利产品实际应用过程中，发现可以通过将谐振腔与工作腔合二为一来 提高灯的光照效率，并且通过实验发现了 207nm波长的紫外光可有效杀灭微生物。
技术实现思路
因此，本专利技术是为了解决实际使用中的的问题，本专利技术的目的在于提供一种光照 效率更高的微波激励的无极准分子灯，及其采用可产生207nm紫外光的无极灯管时的应用。本专利技术的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管 等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于谐振腔系统是封闭的，两 端有通气网，一端有进气口，一端有排气口。本专利技术的无极准分子灯，其特征在于所说的谐振腔系统内面采用镜面设计。本专利技术的无极准分子灯，其特征在于所说的排气口有压力调节装置。本专利技术的无极准分子灯，其特征在于所说的谐振腔系统，内部可以串联或并联多 支灯管。本专利技术的无极准分子灯，其特征在于所说的谐振腔系统可有多套微波发生源。本专利技术的无极准分子灯，采用可产生207nm紫外光的无极灯管时，可有效杀灭细 菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生动物及线虫卵、藻类等常见微生物。我们常见的DNA和RNA的吸收光谱，都是只绘到^Onm部分的一个峰值，其实在紫外C波段，还有一个吸收峰值在205nm，该峰值比^Onm的还要高，也就意味着更强的杀菌 效果。因此我们用207nm的准分子紫外灯做了实验来验证，实验结果证实了这一点，在IOM3 空间对白色葡萄球菌的15分钟灭杀率检测，灭杀效果达到99. 9%，详细数据见附图4。附图说明图1为本专利技术的结构图。图2为本专利技术的A向视图。图3为DNA的吸收光谱。1图4为本专利技术的空气消毒效果检测报告。2符号说明10 谐振腔兼工作腔；11 无极灯管的固定架；12 耦合口的密封板；13 耦合口 ； 14 波导腔；15 压力调节装置；16 排气口 ；17 谐振腔两端的通气网；18 无极灯管；19 谐振腔外壳；20 进气口。具体实施案例参照附图，其中图1为本专利技术的结构图，图2为本专利技术的A向视图，本专利技术是通过 如下方式进行实施的，微波源产生微波后，微波通过波导14的耦合口 13进入谐振腔10，激 励准分子灯管18内的放电用气体受激发生准分子紫外光，需要杀灭微生物的空气从进气 口 20进入，经过准分子紫外光杀灭微生物后从排气口 16排出。谐振腔系统是由谐振腔外 壳19、波导腔14的底板共同构成，波导14的耦合口 13有密封板12密封。如图1所示，谐振腔两端有可防止微波泄漏的通气网17，通气网分别连接排气口 16及进气口 20，排气口 16有压力调节装置15来调节气体在工作腔内的停留时间。无极灯 管系统则由无极灯管18、无极灯管的固定架11构成，固定板的材质可以是TEFI0N、PE或其 它不吸收微波的材料。见附图4，这是该款样品的测试报告，报告中的数据结果证实，207匪波段的准分 子紫外光对微生物的灭杀效果是确实的，是完全具有实用价值的，一种新的波段的、环保 的、绿色的、低碳的紫外光源将发挥巨大的作用。虽然仅对本专利技术的一个实施例作了说明，但是，在不背离本专利技术的精神和范围的 前提下，本专利技术显然还具有许多变化和改变的形式，例如谐振腔的形状也可以是方箱型，灯 管也可以是任意长度和直径的灯管甚至灯泡。参考文献1.张智渊。光谱法研究苯甲酸钠与DNA的体外作用。北京大学政学者论文集(2001 年)2.广州工业微生物检测中心检测报告。权利要求1.一种无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过 微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于谐振腔系统是封闭的，两端有通气 网，一端有进气口，一端有排气口。2.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于所说的谐振腔系统内面采用镜 面设计。3.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于所说的排气口有压力调节装置。4.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于所说的谐振腔系统，内部可以串 联或并联多支灯管。5.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于所说的谐振腔系统可有多套微 波发生源。6.一种如权利要求1-5之一所述无极准分子灯，采用可产生207nm紫外光的无极灯管 时，在灭杀微生物中的应用。全文摘要本专利技术涉及一种无极准分子灯及其采用可产生207nm紫外光的无极灯管时的应用，该种无极准分子灯采用微波激励发光，无极方式。本专利技术主要改进谐振腔系统的设计，使谐振腔与工作腔合二为一，提高工作效率，整套产品光照效率大为提高。当该无极准分子灯采用可产生207nm紫外光的无极灯管时，可有效杀灭细菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生动物及线虫卵、藻类等常见微生物。文档编号A61L9/20GK102097282SQ201010566990公开日2011年6月15日 申请日期2010年11月30日 优先权日2010年11月30日专利技术者王颂 申请人:王颂本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：谐振腔系统是封闭的，两端有通气网，一端有进气口，一端有排气口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王颂，
申请(专利权)人：王颂，
类型：发明
国别省市：44
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