一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法，属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及一种柔性电热驱动微夹钳及其制作工艺方法。微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由SU-8胶结构层和上、下电极金属层组成，并且左右结构完全对称。驱动部分采用Λ形梁阵列，钳体柔性机构部分为10杆柔性机构。本发明专利技术制作工艺方法的步骤包括氧化、涂胶、曝光、显影、腐蚀、溅射金属。该微夹钳夹持端温度较低，采用三层对称结构，夹持过程中不会发生法向弯曲。微夹钳中的柔性机构结构新颖，运动放大倍数大，夹持物体尺寸范围大，并且为整体结构，无需装配，制作简单，有助于实现生物微操作技术的实用化。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性电热驱动微夹钳，其特征是，微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由ＳＵ－８胶结构层（１）和位于驱动部分上、下表面的上、下电极金属层（２、２’）组成，并且左右结构完全对称；驱动部分中，驱动位移杆（４）和Λ形梁阵列（３）连接，并固定在固定杆（５）上，左、右电极（６、６’）固接在固定杆（５）上；钳体柔性机构部分为１０杆柔性机构，其中：左、右钳臂摇杆（１６、１６’）的上端为左、右夹持端（１７、１７’），中下部通过左、右第５柔性铰链（１５、１５’）与左、右第２摇杆（１１、１１’）的上部铰接；左、右钳臂摇杆（１６、１６’）的下部通过左、右第６柔性铰链（１４、１４’）与左、右第３摇杆（１３、１３’）的上部铰接；左、右第２摇杆（１１、１１’）的中下部通过左、右第３柔性铰链（１０、１０’）与固定杆（５）的上部铰接；左、右第２摇杆（１１、１１’）的下部通过左、右第２柔性铰链（９、９’）与左、右第１摇杆（８、８’）的中部铰接；左、右第３摇杆（１３、１３’）的下部通过左、右第４柔性铰链（１２、１２’）与左、右第１摇杆（８、８’）的上部铰接；左、右第１摇杆（８、８’）的下部通过左、右第１柔性铰链（７、７’）与驱动位移杆（４）的上部铰接。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：褚金奎，张然，陈兆鹏，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91