一种RFID高频芯片四通道测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种RFID高频芯片四通道测试装置，至少包括：一探针台，包括一运动平台与一探针卡，运动平台承载待测晶圆，提供X-Y-Z三轴方向的定向移动，晶圆上规则分布有多片待测RFID高频芯片，探针卡上的探针在测试时和RFID高频芯片接触；一上位机，与探针台连接；其中，还设有一个RFID阅读器，用于和RFID高频芯片通讯；探针卡设有八根探针，每两根为一组且相互平行排列，每个待测芯片对应一组探针；上位机和RFID阅读器连接。本实用新型专利技术减少了相邻芯片之间的信号干扰，提高了测试良率和产品的测试速度，节省了测试成本。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种测试装置，尤其涉及一种RFID高频芯片四通道测试装置。
技术介绍
RFID (Radio Frequency Identification，射频识别)是一种利用射频通信实现的 非接触式自动识别技术，RFID标签具有体积小、容量大、寿命长、可重复使用等特点，可支持 快速读写、非可视识别、移动识别、多目标识别、定位及长期跟踪管理，一个典型的基于RFID 技术的应用系统由RFID读卡器和RFID电子标签、RFID应用软件三部分组成，利用RFID 射频技术在读卡器和电子标签之间进行非接触的数据传输，达到目标识别和数据交换的目 的。在半导体产业的制造流程上，主要可分成IC设计、晶圆制造、晶圆测试及晶圆封 装几大步骤，其中所谓的晶圆测试步骤，就是对晶圆上的每颗晶粒进行电性特性检测，以检 测和淘汰晶圆上的不合格晶粒。进行晶圆测试时，利用晶圆探针卡的探针刺入晶粒上的接 点垫(pad)而构成电性接触，再将经由探针所测得的测试讯号送往自动测试设备(ATE)做 分析与判断，藉此可取得晶圆上每颗晶粒的电性特性测试结果，所用到的设备有测试机、 探针卡、探针台等。目前普遍采用测试机控制的多路测试技术，它是以探针台作为精密定 位单元，由测试机控制内部继电器切换至不同的待测半导体芯片进行测试，比如中国专利 CN101738573A公开的一种晶圆测试装置及其测试方法，中国专利CN101261306A公开的全 自动晶圆测试方法及实现该测试方法的设备等，上述技术方案中涉及的探针台或晶圆测试 平台每运动一次仅完成一个芯片的测试，因此存在速度慢、效率低的缺点。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可同时完成多片芯片测试的RFID高频芯片四通道 测试装置，测试速度快，效率高，测试成本低廉。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种RFID高频芯片四通道测试装置，其包括—探针台，包括一运动平台与一探针卡，所述运动平台承载待测晶圆，所述晶圆上 规则分布有多片待测RFID高频芯片，所述探针卡上设置有探针，用于在测试时和所述RFID 高频芯片接触；一上位机，与所述探针台连接，用于控制所述运动平台的移动；一 RFID阅读器，用于和所述RFID高频芯片通讯；所述上位机和所述RFID阅读器连接。 上述RFID高频芯片四通道测试装置，其中，所述上位机通过GPIB与所述探针台连接。 上述RFID高频芯片四通道测试装置，其中，所述上位机通过RS-232与所述RFID 阅读器连接。上述RFID高频芯片四通道测试装置，其中，所述探针卡设有八根探针，每两根为 一组且相互平行排列。上述RFID高频芯片四通道测试装置，其中，所述每片RFID高频芯片上设有两个接点垫。上述RFID高频芯片四通道测试装置，其中，所述每组探针与RFID天线相连，所述 RFID天线置于所述RFID阅读器的有效磁场范围内。本技术具有以下优点和效果1、减少了相邻芯片之间的信号干扰，提高了测试良率；2、测试时间大量缩短，提高产品的测试速度，节省测试成本；3、可以覆盖所有RFID高频芯片的测试指令，测试方便、可控、效率高；4、整个测试系统成本低。附图说明图1是本技术RFID高频芯片四通道测试装置中运动平台承载待测晶圆的俯 视图；图2是本技术RFID高频芯片四通道测试装置部分结构的侧视图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的 限定。请参阅图1和图2，本技术RFID高频芯片四通道测试装置主要包括一个探针 台和一个上位机7，其中探针台包括运动平台1和探针卡6，运动平台1承载着待测晶圆2， 用于提供X-Y-Z三轴方向的定向移动，X-Y-Z三轴方向参看箭头标识，上位机7通过GPIB 接口与探针台连接，控制运动平台1的移动。待测晶圆2上规则分布有多片待测RFID高频 芯片3，芯片每四片为一组并两两排列，探针卡6上有八根探针4，每两根为一组且相互平行 排列，在测试时和待测芯片3接触，每个待测芯片使用一组探针进行测试。一个芯片3的两 个接点垫(PAD) 5分别扎上两根探针传输信号，由于物理位置是相互平行，信号传输方向正 好相反，这样可以抵消针上传输信号由于电磁效应而产生的磁场干扰。本装置还设有一个 RFID阅读器，用于和RFID高频芯片通讯，具体位置可以设在探针台上或者别处，只要保证 待测芯片3处在阅读器的磁场范围之内。相应地，每个待测芯片上设有匹配天线，可以发送 和接收信号，天线未在图中标出。上位机7通过RS-232接口与RFID阅读器连接并控制其 发出测试信号，根据待测芯片3返回的信号判断测试结果，保存到数据库。待测晶圆上四片芯片为一组，分别通过四个频率通道与RFID阅读器进行信号交 换。根据标准协议规定，高频RFID芯片工作的谐振频率在13. 56MHz士7KHz，为了防止相 邻芯片之间由于同频率下传输信号有很大的干扰，设置信号发生器的四个通道的信号频率 为第一频道为14. 2MHz、第二频道为13. 8MHz、第三频道为14MHz、第四频道为12. 8MHz。本技术装置在使用时，主要包括以下步骤加载一 RFID高频半导体晶圆片2至探针台；上位机7控制运动平台1沿X-Y轴定向运动，X-Y轴如图1中箭头所示，使得运动4平台1带动第一组待测RFID高频芯片3移动到探针4下面；上位机7控制运动平台1沿Z轴定向运动，Z轴如图2中箭头所示，使得运动平台 1向上抬升，探针4与待测芯片3接触；上位机7打开四个测试频道，控制RFID阅读器发出所需测试的信号，根据待测芯 片3返回的信号判断测试结果，并把测试时间、通道号、芯片位置、发送及接收的信号和测 试结果保存到数据库中；上位机7根据测试结果对不合格芯片作标记；上位机7控制运动平台1沿X-Y轴定向运动，使得运动平台1带动第二组待测RFID 高频芯片移动到探针4下面；重复上述步骤直到待测晶圆2上所有的RFID高频芯片组被测试完毕为止。综上所述，本技术RFID高频芯片四通道测试装置减少了相邻芯片之间的信 号干扰，提高了测试良率和产品的测试速度，节省了测试成本。权利要求1.一种RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，包括一探针台，包括一运动平台与一探针卡，所述运动平台承载待测晶圆，所述晶圆上规则 分布有多片待测RFID高频芯片，所述探针卡上设置有探针，用于在测试时和所述RFID高频 芯片接触；一上位机，与所述探针台连接，用于控制所述运动平台的移动；一 RFID阅读器，用于和所述RFID高频芯片通讯；所述上位机和所述RFID阅读器连接。2.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述上位机通 过GPIB与所述探针台连接。3.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述上位机通 过RS-232与所述RFID阅读器连接。4.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述探针卡设 有八根探针，每两根为一组且相互平行排列。5.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述每片RFID 高频芯片上设有两个接点垫。6.根据权利要求1所述的RFID高频芯片四通道测试装置，其特征在于，所述每组探针 与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＲＦＩＤ高频芯片四通道测试装置，其特征在于，包括：　　一探针台，包括一运动平台与一探针卡，所述运动平台承载待测晶圆，所述晶圆上规则分布有多片待测ＲＦＩＤ高频芯片，所述探针卡上设置有探针，用于在测试时和所述ＲＦＩＤ高频芯片接触；　　一上位机，与所述探针台连接，用于控制所述运动平台的移动；　　一ＲＦＩＤ阅读器，用于和所述ＲＦＩＤ高频芯片通讯；　　所述上位机和所述ＲＦＩＤ阅读器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：庄雪亚，王林忠，杨光，
申请(专利权)人：江苏凯路威电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32