电光装置以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及电光装置，其具备：在基板上对每个像素设置的像素电极；在基板和像素电极之间与像素电极对应设置的晶体管；以及在像素电极和晶体管之间设置的保持电容，其包括第1电极、在第1电极的下层一侧经由下侧电容绝缘膜相对配置的第2电极以及在第1电极的上层一侧经由上侧电容绝缘膜相对配置的第3电极。下侧电容绝缘膜和上侧电容绝缘膜分别具有多个层，下侧电容绝缘膜和第2电极与上侧电容绝缘膜和第3电极被形成为从第1电极看具有对称性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如液晶装置等的电光装置以及具备该电光装置的例如液晶投影机等的电子设备的

技术介绍
作为这种电光装置，例如，在基板上具备像素电极、用于对该像素电极进行选择性驱动的扫描线、数据线和像素开关用的TFT(薄膜晶体管)，并进行有源矩阵驱动。TFT等开关元件和各种布线在基板上形成层叠构造。在上述的电光装置中，通过在层叠构造中形成保持电容，可实现显示图像的对比度的提高和闪烁的降低。例如，在专利文献1中，提出了通过将多个保持电容并联而实现电容增大的技术。专利文献1特开2000-284722号公报但是，在如上所述形成多个保持电容的情况下，通过本专利技术者的研究发现由于各个保持电容的构成(具体是材质和层叠构造)的差异，向保持电容提供的固定电位的经时变化变大。固定电位的经时变化成为例如显示图像的闪烁、余像的原因。因此，在上述的技术中，存在可能使显示图像的品质降低的技术问题。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于例如上述的问题而提出的，其目的在于提供能够显示高品质的图像的电光装置以及电子设备。为了解决上述课题，本专利技术的电光装置具备在基板上对每个像素设置的像素电极；在上述基板和上述像素电极之间与上述像素电极对应设置的晶体管；以及在上述像素电极和上述晶体管之间设置的保持电容，其包括第1电极、在上述第1电极的下层一侧经由下侧电容绝缘膜相对配置的第2电极和在上述第1电极的上层一侧经由上侧电容绝缘膜相对配置的第3电极；上述下侧电容绝缘膜和上述上侧电容绝缘膜分别具有多个层，上述下侧电容绝缘膜和上述第2电极与上述上侧电容绝缘膜和上述第3电极被形成为从上述第1 电极看具有对称性。本专利技术的电光装置例如在设置了像素电极和与该像素电极电气连接的作为像素开关用TFT等的晶体管的元件基板和设置了与像素电极对置的对置电极的对置基板之间夹持液晶等电光物质。当该电光装置工作时，通过将图像信号选择性地提供给像素电极，进行排列了多个像素电极的像素区域(或者图像显示区域)的图像显示。另外，图像信号例如通过在数据线和像素电极之间电气连接的晶体管被导通截止而在规定的定时从数据线向像素电极提供。在本专利技术中，在像素电极和晶体管之间设置有保持电容。保持电容在第1电极、第 2电极和第3电极三个电极之间夹持电容绝缘膜。具体地，在第1电极和第1电极的下层一侧的第2电极之间，设置有下侧电容绝缘膜。此外，在第1电极和第1电极的上层一侧的第3电极之间，设置有上侧电容绝缘膜。即，保持电容通过从下层一侧开始顺序地层叠第2电极、下侧电容绝缘膜、第1电极、上侧电容绝缘膜、第3电极而构成。下侧电容绝缘膜和上侧电容绝缘膜被设置为分别具有多个层。即，下侧电容绝缘膜和上侧电容绝缘膜分别通过层叠不同的层而构成。更具体地，下侧电容绝缘膜和上侧电容绝缘膜通过包含Si02、SiN等的层而构成。在此，在本专利技术中，特别地，上述的保持电容被形成为从第1电极看，其它的部件具有对称性。即，下侧电容绝缘膜和第2电极与上侧电容绝缘膜和第3电极被形成为从第1 电极看具有对称性。具体地，下侧电容绝缘膜和上侧电容绝缘膜中的多个层被形成为从第 1电极看，相同材质的层按相同的顺序排列。更具体地，当下侧电容绝缘膜从下层一侧开始按Si02、SiN的顺序层叠时，上侧电容绝缘膜从下层一侧开始按SiN、SiO2的顺序层叠。进一步地，第2电极和第3电极由相同的材料构成。另外，本专利技术所涉及的“对称性”，如上所述，是与构成各部件的材质有关的对称性，关于各部件的形状和大小也可以不具有对称性。即，第2电极和第3电极的形状和大小、 下侧电容绝缘膜和上侧电容绝缘膜的膜厚度等也可以彼此不同。根据本专利技术者的研究发现，通过以具有对称性的方式构成保持电容，可以减小向保持电容提供的固定电位的经时变化。该固定电位的经时变化成为显示图像的闪烁、余像的原因。因此，根据本专利技术的保持电容，能够防止这样的显示上的缺陷。如上所述，根据本专利技术的电光装置，通过以具有对称性的方式构成保持电容，能够显示高品质的图像。在本专利技术的电光装置的一种形态中，向上述第1电极提供规定的恒定电位，上述第2电极和上述第3电极分别与上述像素电极和上述晶体管电气连接。根据该形态，第1电极例如通过接触孔与电容线电气连接，向对置电极提供的共通电位作为规定的恒定电位被提供。另一方面，第2电极和第3电极例如经由接触孔与像素电极和中继晶体管和像素电极的电气连接的中继层电气连接。因此，第2电极和第3电极被设为与像素电极同电位。根据上述的构成，可以在第1电极和第2电极之间以及在第1电极和第3电极之间分别形成保持电容，成为这些保持电容被并联连接的构成。因此，可以比较小的面积形成高密度的保持电容。在本专利技术的电光装置的其它形态中，上述第1电极与上述像素电极和上述晶体管电气连接，分别向上述第2电极和上述第3电极提供规定的恒定电位。根据该形态，第1电极例如经由接触孔与像素电极和中继晶体管和像素电极的电气连接的中继层电气连接。因此，第1电极被设为与像素电极同电位。另一方面，第2电极和第3电极例如通过接触孔与电容线电气连接，向对置电极提供的共通电位作为规定的恒定电位被提供。根据上述的构成，可在第1电极和第2电极之间以及在第1电极和第3电极之间分别形成保持电容，并成为这些保持电容并联连接的构成。因此，可以比较小的面积形成高密度的保持电容。为了解决上述课题，本专利技术的电子设备具备上述的本专利技术的电光装置(也包含其各种形态)。根据本专利技术的电子设备，由于具备上述的本专利技术所涉及的电光装置，因此，可实现能够进行高品质的显示的投影型显示装置、电视、便携电话、电子笔记本、字处理器、取景器型或监视器直视型的录像机、工作站、电视电话、POS终端、触摸面板等各种电子设备。此外， 作为本专利技术的电子设备，也可以实现例如电子纸等电泳装置等。本专利技术的作用及其它优点可通过以下说明的实施专利技术的形态而变得清楚。附图说明图1是涉及第1实施方式的电光装置的整体构成的俯视图。图2是图1的H-H'线截面图。图3是涉及第1实施方式的电光装置的图像显示区域的各种元件、布线等的等价电路图。图4是表示涉及第1实施方式的电光装置的层叠构造的截面图。图5是表示涉及第1实施方式的电光装置的保持电容的具体构成的概念图。图6是表示涉及第2实施方式的电光装置的层叠构造的截面图。图7是表示涉及第2实施方式的电光装置的保持电容的具体构成的概念图。图8是表示适用电光装置的电子设备的一个例子的投影机的构成的俯视图。符号说明6a 数据线；9a 像素电极；10 =TFT阵列基板；IOa 图像显示区域；11 扫描线； 20 对置基板；30 =TFT ；50 液晶层；70 存储电容；71 第1电极；72 第2电极；73 第3电极；75 下侧电容绝缘膜；7 第1电容绝缘层；7 第2电容绝缘层；76 上侧电容绝缘膜；76a 第3电容绝缘层；76b 第4电容绝缘层；300 电容线。具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。电光装置参照图1至图8说明涉及本实施方式的电光装置。另外，在以下的实施方式中，作为本专利技术的电光装置的一个例子，说明驱动电路内置型的TFT有源矩阵驱动方式的液晶装置。第1实施方式首先，参照图1和图2说明涉及第1实施方式的电光装置的整体构成。在此，图1 是表示涉及第1实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种电光装置，其特征在于，具备：在基板上对每个像素设置的像素电极；在上述基板和上述像素电极之间与上述像素电极对应设置的晶体管；以及在上述像素电极和上述晶体管之间设置的保持电容；上述保持电容具有：第１电极；经由包含第１电容绝缘层和第２电容绝缘层的下侧电容绝缘膜与上述第１电极相对配置的第２电极；以及经由包含第３电容绝缘层和第４电容绝缘层的上侧电容绝缘膜与上述第１电极相对配置的第３电极；上述第１电容绝缘层是比上述第２电容绝缘层更靠近上述第１电极的一侧的层，上述第３电容绝缘层是比上述第４电容绝缘层更靠近上述第１电极的一侧的层，上述第１电容绝缘层和上述第３电容绝缘层用相同的材料构成，上述第２电容绝缘层和上述第４电容绝缘层用相同的材料构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森胁稔，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP