蒸镀机及其面板检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术有关于一种蒸镀机及其面板检测装置，蒸镀机包含一蒸镀室、一检测室、一定位装置、一面板检测装置、一分隔组件以及一移载组件。检测室邻接于蒸镀室，定位装置设置于检测室，用以将一面板予以定位。面板检测装置设置于检测室，并且包含一检测平台、至少一设置于该检测平台的电极模块、一光学特性检测组件以及一控制模块。光学特性检测组件设置于该检测平台。控制模块电性连结于电极模块，并控制电极模块与一面板之间产生一相对移动。分隔组件可移动地设置于蒸镀室与检测室之间。移载组件可移动地设置于蒸镀机内。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术关于一种蒸镀机及其面板检测装置，特别是指一种可利用面板检测装置检测有机发光二极管面板的蒸镀机及其面板检测装置。
技术介绍
有关于有机发光二极管面板的制作过程包含了蒸镀、测试与封装等制程，通常蒸镀过后的面板需要经过测试，并在通过测试之后进行封装。上述面板的蒸镀制程主要是在一蒸镀机内进行，首先是将ITO(铟锡氧化物)溅镀于玻璃基板上作为阳极，再以真空蒸镀的方式镀上有P型有机材料以及Π型有机材料等有机材料层，之后再镀上一层金属层作为阴极。待面板的蒸镀制程完成后，面板就会被移送至检测站进行测试程序，然后再将检测合格的面板进行封装。请参阅图1，图1为现有的蒸镀机的结构示意图。如图所示，一蒸镀机ΡΑ100包含一蒸镀室ΡΑ1，该蒸镀室PAl设有一面板固定装置ΡΑ11、一靶材架ΡΑ12以及一电子束发射器ΡΑ13。该面板固定装置PAll用以固定一面板ΡΑ200，该靶材架ΡΑ12供一镀膜材料ΡΑ300 设置；其中，在该蒸镀机ΡΑ100控制该蒸镀室PAl真空化时，该电子束发射器ΡΑ13利用电子束加热该镀膜材料ΡΑ300，藉以使该镀膜材料ΡΑ300受热蒸发，并附着于该面板ΡΑ200。在实务运用层面上，经过蒸镀的面板尚需经过光学特性的测试后，才能确保面板是否达到预定的规格。然而，现有的蒸镀程序与测试程序是在不同的设备下进行，因此经过蒸镀的面板往往需要另外移送至可进行测试程序的设备，而无法在蒸镀程序完成后立即得知面板蒸镀的情况是否符合预期，若经过蒸镀的面板为不良品，亦需等到测试过后才能得知，无法在第一时间内发现，使生产效率大打折扣。此外，由于蒸镀设备与测试设备是在不同的工作站，因此需要耗费工时在运送过程中，并且需要额外的人力进行测试程序。缘此，本案技术认为实有必要开发出一种新的蒸镀装置，使其在蒸镀程序完成后，可直接进行测试程序。
技术实现思路
本技术所欲解决的技术问题与目的综观以上所述，在现有技术中，普遍存在经过蒸镀后的面板往往需要另外移送至可进行测试程序的设备，而无法在蒸镀程序完成后立即得知面板蒸镀的情况是否符合预期；此外，由于蒸镀设备与测试设备是在不同的工作站，因此会耗费工时与人力在运送的过程以及测试的程序中。缘此，本技术的一主要目的在于提供一种蒸镀机，其利用面板检测装置，使面板在蒸镀过后直接进行检测，并依据检测而获得的光学特性数据，藉以判断面板是否符合规格。本技术的另一主要目的在于提供一种面板检测装置，其设置于一蒸镀机内， 藉以使面板在蒸镀过后直接进行检测，并依据检测而获得的光学特性数据，藉以判断面板是否符合规格。其中，上述的面板检测装置利用至少一电极模块电性连通于一有机发光二极管面板的一电极接点，进而形成一光学检测电路，藉以使面板投射一光束，并利用一光学特性检测组件检测该光束的光学特性，并据以产生光学特性数据。本技术解决问题的技术手段本技术为解决现有技术的问题所采用的技术手段提供一种蒸镀机，其包含一蒸镀室、一检测室、一分隔组件、一移载组件、一定位装置以及一面板检测装置。蒸镀室用以将一面板依据一蒸镀程序进行蒸镀，检测室邻接于蒸镀室。在本案较佳实施例中，上述的面板为一有机发光二极管面板，且该面板设有多个电极接点以及至少一定位标的。较佳者，定位标的至少可为定位记号、定位标线以及该面板的边缘其中之一。 在本案较佳实施例中，定位标的为一定位记号。分隔组件可开合地设置于蒸镀室与检测室之间，并在面板于蒸镀室内进行蒸镀程序时，闭合蒸镀室与检测室，且在蒸镀程序完成后开通蒸镀室与检测室。在本案较佳实施例中，分隔组件为一分隔阀门。移载组件可移动地设置于蒸镀机，并在分隔组件开通蒸镀室与检测室时，将蒸镀完成的面板自蒸镀室移至检测室。在本案较佳实施例中，移载组件设置于该检测室，且移载组件为牙叉。定位装置可移动地设置于检测室，并用以将面板予以定位。较佳者，定位装置还可以转动来校正面板的电极接点的位置。在本案较佳实施例中，上述的定位装置为一负压吸附装置。面板检测装置包含一检测平台、一电极模块、一控制模块以及一光学特性检测组件。检测平台设置于检测室，电极模块设置于检测平台。控制模块电性连结于检测平台与电极模块，并控制电极模块与面板之间产生一相对移动，藉以依据一检测条件，选择性地使电极模块电性连通于电极接点中的至少二者，据以构成一满足检测条件的光学检测电路，且在光学检测电路构成时，面板投射出一光束；光学特性检测组件设置于该检测平台，藉以检测光束，并获得一光学特性数据。较佳者，电极模块至少包含一供电探针以及一接地探针， 其依据该检测条件，选择性地电性连通于电极接点中至少二者。在本案较佳实施例中，检测平台可移动地设置于检测室，且电极模块包含三个供电探针以及一接地探针，供电探针与接地探针皆电性连结于控制模块。其中，上述的光学特性检测组件至少可为辉度计、色度计以及照度计其中之一；光学特性数据至少可为辉度、色度、亮度、饱和度以及对比度其中之一。在本案较佳实施例中， 上述的光学特性检测组件为一辉度计，上述的光学特性数据为一辉度值。较佳者，上述的定位装置与电极模块二者之间至少一者可三维移动地设置于检测室，藉以使电极模块与面板的电极接点相对应地移动并接触。其中，上述的电极模块亦可移动地设置于检测平台；且定位装置与检测平台二者之间至少一者可转动，藉以在面板的电极接点的排列方向与电极模块的探针排列方向不一致时，可转动面板或电极模块，使电极接点可对应于探针。在本案较佳实施例中，面板检测装置还包含一设置于检测平台的影像感测模块， 其电性连结于控制模块，用以感测一面板影像，并将面板影像传送至控制模块，使控制模块依据面板影像校正电极模块与面板间的相对移动的位置；较佳者，影像感测模块还包含一电荷耦合装置(Charge Coupled Device ；CCD)以及多个发光二极管。本技术对照现有技术的功效从以上叙述可知，相较于现有技术所述的蒸镀机，由于在本技术所提供的蒸镀机中，其在一邻接于一蒸镀室的检测室设置一面板检测装置，利用面板检测装置的至少一电极模块电性连通于一有机发光二极管面板的一电极接点，藉以形成一可投射一光束的光学检测电路，并利用一光学特性检测组件检测该光束的光学特性；因此，可以在有机发光二极管面板蒸镀完成后，直接进行光学特性的测试，增进生产效率并节省运送的工时。其中，面板检测装置还设有一影像感测模块，用以校正电极接点与电极模块的位置。此外，由于在本技术所提供的蒸镀机中，可通过面板检测装置检测有机发光二极管面板；因此，可在同一个工作站完成蒸镀程序与测试程序，而可节省另行测试程序所需要的空间与人力。综上所述，本技术相较于现有技术所述的蒸镀机，可节省工时、空间以及人力，进而有效精简制造成本。本技术所采用的具体实施例，将通过以下的实施例及图式作进一步的说明。附图说明图1为现有的蒸镀机的结构示意图；图2为显示本技术较佳实施例的蒸镀机的结构示意图；图3为显示本技术较佳实施例的蒸镀机的运作示意图；图4为显示本技术较佳实施例的蒸镀机的定位装置与面板检测装置的侧面示意图；图5为显示本技术较佳实施例的蒸镀机的控制系统方块图；图6为显示本技术较佳实施例的蒸镀机的测试状态示意图；图7为显示本技术较佳实施例的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种面板检测装置，设置于一蒸镀机的一检测室，该检测室设有一用以将一待测面板予以定位的定位装置，该待测面板设有多个电极接点，其特征在于，该面板检测装置包含：一检测平台；至少一电极模块，设置于该检测平台；一控制模块，电性连结于该电极模块，并控制该电极模块与该待测面板之间产生一相对移动，藉以依据一检测条件，选择性地使该电极模块电性连通于所述电极接点的至少二者，据以构成一满足该检测条件的光学检测电路；以及一光学特性检测组件，设置于该检测平台，藉以检测一在该光学检测电路构成时所投射的光束，并据以获得一光学特性数据。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周圣彬，
申请(专利权)人：宏濑科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71