镀膜镜片及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤：提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；对该基底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。另外，本发明专利技术还涉及一种镀膜镜片，其包括一个基底，该基底包括相对的一个第一侧及一个第二侧，该第一侧上形成一个光学膜层，该基底由第二侧向内蚀刻形成镀膜镜片的光学成像区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀膜镜片，以及一种制作该镀膜镜片的方法。
技术介绍
光学镜片作为相机模组，如数码相机、镜头模组中的成像元件，在摄像领域发挥着不可 或缺的作用。目前，制作光学镜片通常采用射出成型法进行批量生产，即使用射出成型机加热塑料， 使得塑料熔融后注射进多个模仁所形成的模腔中，经冷却后即可一次成型出多个光学镜片。 具体请参阅Yang等人在2006 IEEE系统、机械与自动化国际会议(International Conference on Mechatronics and Automation)上发表的题为Fabrication of Diffractive Optical Lens for Beam splitting Using LIGA Process的论文。利用上述射出成型法制造光学镜片虽然具有较高的生产率，可以一次性批量制造出多个 光学镜片，但随着摄像技术的发展，其越来越难以满足人们对高精密摄像器材的要求。且采 用射出成型法来制造光学镜片，其所配置的模仁只能用来生产某一型号大小的光学镜片，当 需要生产其它型号大小的光学镜片时，相关的生产设备，如模仁等需要被更换。另外，对于批量生产出来的光学镜片，其需再经过后续处理才能应用在摄像器件中，如 通过物理或化学方法，在光学镜片表面镀上单一或多层膜层，以利用入射、反射及透射光在 薄膜层界面产生的干涉作用实现聚焦、准直、滤光、反射及折射等效果。然而，在对光学镜片进行镀膜时，现有技术需要采用夹具对光学镜片的边缘进行夹持， 这使得光学镜片上邻近于被夹持的区域难以镀上膜层，这样就造成了膜层分布不均匀的现象 ，并导致光学镜片无法发挥应有的光学成像作用。针对膜层分布不均匀的问题，传统的解决方式是增大光学镜片的尺寸，以使膜层分布不 均的区域尽量局限在光学有效区域外，但是，在要求小型化镜片的今天，需要寻求其他的解 决方式。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种镀膜镜片的制作方法，其可根据光学镜片的尺寸需要来制作 光学镜片，并可对光学镜片进行镀膜以获得具较均匀膜层厚度的镀膜镜片。同样地，有必要 提供一种相对应的镀膜镜片。一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤提供一个基底，该基底包括相对的一个第 一表面及一个第二表面；对该基底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底 进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。一种镀膜镜片，其包括一个基底，该基底包括相对的一个第一侧及一个第二侧，该第一 侧上形成一个光学膜层，该基底由第二侧向内蚀刻形成镀膜镜片的光学成像区域。相对于现有技术，所述的，其首先在基底的第一表面上进行光学 镀膜，然后沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，再切割该基底，从而最终得到多个 镀膜镜片，其优点在于 一方面，可根据光学镜片的尺寸需要来制作光学镜片，从而减免了 由于生产不同尺寸光学镜片所需要的更换设备的成本；另一方面，可一次性对基底进行镀膜 ，从而无须在光学镜片制作完成后对每一光学镜片单独进行镀膜，既提高了制作镀膜镜片的 效率，又提高了制成后镀膜镜片的良品率。附图说明图l是本专利技术实施例提供的镀膜镜片制作方法的流程图。 图2至图11是本专利技术实施例提供的镀膜镜片制作方法的过程示意图。图12采用本专利技术实施例提供的镀膜镜片制作方法制作所得的红外截止滤光片的结构示意图。具体实施例方式下面将结合附图，以对本专利技术作进一步的详细说明。请参阅图l，为本专利技术实施例提供的镀膜镜片制作方法的流程图。该镀膜镜片的制作方 法包括以下步骤提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；对该基 底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片 的光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。请参阅图2至图11，为本专利技术实施例提供的镀膜镜片制作方法的过程示意图，其用来制 作一个具有红外截止膜的镜片，如红外截止滤光片(IR Cut Filter)。如图2所示，首先提供一个具有一定厚度的基底20，包括相对的一个第一表面200及一个 第二表面202。该基底20的材料可为玻璃，其具体厚度根据镀膜镜片光学设计时所需的厚度 来决定。当然，该基底20的材料也可以为塑料，例如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)，聚碳酸脂 (Poly Carbonate, PC)等。将基底20放置在蒸镀机(图未示)中，利用吸嘴由第二表面202吸取基底20，开启蒸镀 机即可在基底20的第一表面200上镀上光学膜层210，如红外截止滤光膜(IR Cut FilterCoating)。不限于本实施例，该光学膜层210也可以为其他类型的膜层。当然，本专利技术还可 以采用其它镀膜方法，如溅镀(Sputtering)法来对基底20的第一表面200进行镀膜。如图3所示，接着，将基底20由蒸镀机中取出，并在基底20的第二表面202上涂布上一个 第一光阻层2020。然后，对该第一光阻层2020进行曝光显影。如图4所示，该第一光阻层 2020经曝光显影后成为多个彼此分离，且形状为圆周形的第一光阻区220(图4示出三个，具 体数量根据所要制作的红外截止滤光片的数量来设定)。此时，即可使用处理液，如HF腐蚀 液将未被第一光阻区220遮挡的区域腐蚀去除，以形成多个对应于第一光阻区220的第一蚀刻 层230，如图5所示。进一步地，如图6所示，在被蚀刻掉的表面2300上再涂布上一个第二光阻层(未标示)。 该第二光阻层经曝光显影后成为多个彼此分离，且形状为圆环形的第二光阻区240。该多个 第二光阻区240分别环绕该多个第一蚀刻层230。可以理解的是，当使用处理液将该表面 2300上未被第一、第二光阻区220、 240遮挡的区域腐蚀去除时，可形成多个圆周形的第二蚀 刻层250，如图7所示，该多个第二蚀刻层250分别位于多个第一蚀刻层230的下方，并与该多 个第一蚀刻层230呈阶梯状层叠。当第二蚀刻层250形成之后，相类似地，在被蚀刻掉的表面2500上再涂布一个第三光阻 层(未标示)，以经曝光显影后形成多个圆环形的第三光阻区260，且该第三光阻区260分别环 绕该多个第二蚀刻层250，如图8所示。进一步地，当使用处理液将该表面2500上未被第一、 第二、第三光阻区220、 240、 260遮挡的区域腐蚀去除时，可形成多个圆周形的第三蚀刻层 270，如图9所示。以上蚀刻步骤可被多次实施，以形成如图10所示的基底20，该基底20具有多个蚀刻层( 包括上述第一、第二、第三蚀刻层230、 250、 270)，且该多个蚀刻层成阶梯状相互重叠在一 起。可以理解的是，该每一蚀刻层均为圆周形，且当后蚀刻所形成的蚀刻层较先蚀刻所形成 的蚀刻层的半径呈正弦波形逐渐增大时(如图10所示，第三蚀刻层270的半径大于第二蚀刻层 250的半径，而第二蚀刻层250的半径大于第一蚀刻层230的半径)，该多个蚀刻层可近似形成 一个球面，也即该多个蚀刻层形成对应于各红外截止滤光片的光学成像区域300。本领域技术人员还可以理解，为了使该多个蚀刻层所形成的球面较为平滑，每个蚀刻层 的厚度应尽可能制作得较小。当蚀刻所形成的多个蚀刻层的总厚度满足光学成像要求时，即可采用光阻去除液将制作 该多个蚀刻层时所涂布的多个光阻层(包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤：　提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；　对该基底的第一表面进行光学镀膜；　沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；　切割该基 底以得到多个镀膜镜片。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；对该基底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。2 如权利要求l所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，该基底 的材料为玻璃。3 如权利要求l所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，对基底 的第一表面进行光学镀膜采用蒸镀或溅镀的方法。4 如权利要求l所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，切割该 基底时使用晶圆切割机进行作业。5 如权利要求l所述的镀膜镜片的制作方法，其特征在于，沿基底 的第二表面对基底进行多...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁崐益，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]