输送辊轮制造技术

一种用于输送物品的输送辊轮，它包括主轴(3)以及位于该主轴(3)上的线圈(5)。该线圈(5)包括柔性中心部(17)以及在该柔性中心部(17)的两个相对侧处固定到主轴(3)的第一端部(13)和第二端部(15)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及输送机构，具体地，涉及用于输送物品的辊轮。
技术介绍
直进式制程已得到广泛的工业应用，例如在太阳能电池生产中。在这些制程中，物 体沿相对线性的路径连续移动到不同的储槽或工作台，物品在该储槽或工作台中接受不同 的处理，包括湿化学处理。作为示例，诸如基板或晶圆的物品能够通过直进式制程的不同湿 储槽中的碱性溶液(例如，NaOH)和酸性溶液(例如，HF)进行化学处理。基板或晶圆可在 该过程的不同储槽或工作台中进行蚀刻、清洗、干燥或电镀。在湿储槽中输送期间，基板或晶圆可能会在偏离输送方向上下浮动或左右移动。 此移动可能由于通过化学反应引起的紊流、或由于基板或晶圆与其周围物体之间的相互作 用而发生。基板也可能例如由于吹干而产生振动。要减少和控制直进式制程中的非预期运 动，可通过例如包括上输送辊轮和下输送辊轮的辊轮对来导向基板或晶圆。上输送辊轮和 下输送辊轮可一起作用，以使基板在直进式过程中被输送时保持在适当的位置。通常，辊轮 具有固状的圆柱形表面。随着许多新技术的出现，基板已变得更薄。例如，在光伏太阳能电池组件工业中， 基板或晶圆可具有200 μ m以下的厚度，并且在现有技术下可能易碎且容易破裂。类似地， 诸如软质印刷电路板的软基板和晶圆在现有技术下容易损坏。例如，如果与上输送辊轮接 触得太紧，则较薄的刚性基板或晶圆可能破裂。另一方面，如果与上输送辊轮接触得太轻或 不接触，则基板或晶圆可能不会被准确地移动。同样，对于软基板或晶圆，来自上输送辊轮 的强压力能产生痕迹或表面损伤。在涉及电镀的直进式过程中，输送辊轮有时用作电接触点。由于上输送辊轮和基 板或晶圆的运动，上辊轮与基板或晶圆之间的电接触可能是不连续或间断的。在一些情形 中，辊轮可使用舵杆，所述舵杆旨在保持基板上的恒定压力。然而，上辊轮与下辊轮的舵杆 之间的对位不准可导致对基板的损坏。另外，在电镀应用中，舵杆通常不能提供良好的电触点ο此部分中描述的方法是能够实施的方法，但不一定是先前已构思或实施的方法。 因此，除非另外指明，否则不应假定此部分中描述的任何方法仅由于其包括在此部分中就 能作为现有技术。
技术实现思路
本专利技术公开提供了与输送辊轮有关的技术，所述输送辊轮使用柔性线圈或弹簧来 用于物品的输送。通过改变弹簧的特性，能对由输送辊轮施加在物品上的压力进行调节。线 圈可以是柔性的并且线圈绕组提供多个接触点，使得压力能均勻分布在晶圆或基板的整个 上表面或下表面上。弹簧可提供多个电接触点，用于对晶圆或基板进行电镀；接触点的数量 是可调节的。在很多应用中，这些接触提供与晶圆或基板的上表面和下表面中的一个或两个的可靠、均勻且持续的电连接。在一实施例中，输送辊轮包括主轴和位于该主轴上的线圈；该线圈包括柔性中心 部；该线圈包括位于柔性中心部的两个相对侧处固定到主轴的第一端部和第二端部。在一 些实施例中，仅线圈的柔性中心部而非其它部分用来与用于输送的物品物理接合或接触。第一端部和第二端部可通过能够纵向调节的固定装置固定到主轴。另外或替代 地，第一端部和第二端部可通过具有环绕第一端部和第二端部的环形轴环的固定装置固定 到主轴。在一些实施例中，线圈包括线簧。在各种实施例中，可使用各种类型的材料，包括 电导体和电绝缘体来构造线圈。在一些实施例中，线圈还包括位于柔性中心部的相对侧处的第一锥形部和第二锥 形部。第一锥形部和第二锥形部将柔性中心部结合到第一端部和第二端部。在主轴和柔性 中心部具有圆形形状的一些实施例中，柔性中心部具有比主轴的外径更大的内径。结果，柔 性中心部可处于相对主轴同心对准的位置。在此同心位置中，由于柔性中心部的内径与主 轴外径的差，所以柔性中心部不接触主轴。柔性中心部和主轴之间的空间可以是同心环的 形状。当柔性中心部与被输送的物品接触时，由线圈以外的源引起的浮力和干扰可引起施 加到物品上的力的变化。施加到物品上的力的变化又引起施加在柔性中心部上的净外力的 变化。柔性中心部可对该净外力的变化作出反应而从相对于主轴同心对准的位置上移离。 当柔性中心部离开该同心位置时，柔性中心部与主轴之间的空间可以是不同于之前提及的 同心环形状的不规则形状。在一些实施例中，柔性中心部具有比第一端部的第一外径和第二端部的第二外径 都大的外径。在一些实施例中，线圈是导电的。例如线圈可由这样的材料制成，即在物品输送所 在的环境中，该材料是导电的。在各种应用中，线圈可与电流源或电流宿电性耦合。一种应 用可以是在直进式过程中当物品浸没在溶液中时对其进行电镀的工作站。电流源或电流宿 可以是直流(DC)或交流(AC)电流并且可包括DC偏流源。在一些实施例中，线圈是不导电的。例如，线圈可由这样的材料制成，即在物品输 送所在的环境中，该材料是不导电的。取决于具体应用，线圈可与任何电流源或电流宿电绝 缘。一种应用可以是在直进式过程中在两个其它工作站之间对物品进行输送的工作站，在 所述两个其它工作站中，物品要接受除电镀以外的不同处理。在各种实施例中，柔性中心部可具有与要使用辊轮进行输送的物品的表面宽度不 同的宽度尺寸。在一些实施例中，柔性中心部中的每个绕组均可构成柔性中心部与待输送物品之 间的多个不连续接触区之中的一个不连续接触区。在一实施例中，柔性中心部包括三个或 更多个不连续接触区。在特定实施例中，能够纵向调节的固定装置也可构造用于调节柔性 中心部的不连续接触区的数量。在一些实施例中，同一输送辊轮还可包括各位于主轴上的一个或多个第二线圈。 在一实施例中，所述一个或多个第二线圈中的至少一个包括第二柔性中心部。该线圈与所 述一个或多个第二线圈中的至少一个之间的纵向距离是可调节的。在一些实施例中，线圈 固定到主轴，但可从主轴上移除。6各种实施例包括一种提供或实施如上所述的实施例的方法、系统、组件或设备。例 如，在一些实施例中，输送设备可包括框架以及多个隔开且可旋转地安装在该框架中的输 送辊轮。所述多个输送辊轮中的至少一个输送辊轮是如上所述的输送辊轮。在一些实施例中，一种方法包括提供如上所述的输送设备，以及使用输送辊轮来 输送物品。在一些实施例中，此处所述的方法、系统、组件或设备可在直进式过程中使用，在 该直进式过程中，物品在输送的同时接受一种或多种处理。在一些实施例中，此处所述的方 法、系统、组件或设备可用于对基板或晶圆进行电镀。各种实施例还包括使用所述方法中的一些实施例生产的产品。基板可以是刚性的 或柔软的，可以是陶瓷、塑料或金属的。示例产品包括太阳电池、太阳电池板和太阳电池组 件。附图说明在附图中图1示出了一种示例输送辊轮；图2A、图2B和图2C示出了示例输送辊轮相对于主轴的非位移和位移状态；图3示出了一种示例构造，其中示例输送辊轮电连接到电流源或电流宿；图4A和图4B示出了两个示例线圈位于一示例主轴上的示例构造；图5A和图5B示出了使用上辊轮组和下辊轮组来输送物品的示例构造；图6示出了一种示例构造，其中上辊轮组和下辊轮组将物品输送到储槽中并从该 储槽中输送出去，物品在该储槽中接受处理。具体实施例方式在下文的描述中，为了说明的目的，阐述了许多具体细节以便提供对本专利技术的全 面理解。然而，将显而易见的是，实施例可以在没有这些具体细节的情况下作出。在其它情 形中，为了避免使实施例不必要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于输送物品的输送辊轮，包括：　　主轴；以及　　位于所述主轴上的线圈，其中所述线圈包括柔性中心部，并且其中所述线圈包括在所述柔性中心部的两个相对侧处固定到所述主轴的第一端部和第二端部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于输送物品的输送辊轮，包括 主轴；以及位于所述主轴上的线圈，其中所述线圈包括柔性中心部，并且其中所述线圈包括在所 述柔性中心部的两个相对侧处固定到所述主轴的第一端部和第二端部。2.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述第一端部和所述第二端部通过能够纵向调节 的固定装置固定到所述主轴。3.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述第一端部和所述第二端部通过具有环绕所述 第一端部和所述第二端部的环形轴环的固定装置固定到所述主轴。4.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述线圈包括线弹簧。5.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述线圈还包括位于所述柔性中心部的两个相对 侧处的第一锥形部和第二锥形部，其中所述第一锥形部和所述第二锥形部将所述柔性中心 部结合到所述第一端部和所述第二端部，其中所述柔性中心部具有比所述主轴的外径更大 的内径，并且其中所述柔性中心部具有比所述第一端部的第一外径和所述第二端部的第二 外径都大的外径。6.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述线圈是导电的。7.根据权利要求6所述的辊轮，其中所述线圈电联接到电流源和电流宿中的一个。8.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述线圈是不导电的。9.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述柔性中心部具有比要使用所述辊轮进行输送 的物品更小的宽度尺寸。10.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述柔性中心部包括三个或更多个不连续接触 区，并且还包括能够纵向调节的固定装置以调节所述柔性中心部的不连续接触区的数量。11.根据权利要求1所述的辊轮，还包括各位于所述主轴上的一个或多个第二线圈，其 中所述一个或多个第二线圈中的至少一个包括第二柔性中心部。12.根据权利要求11所述的辊轮，其中所述线圈与所述一个或多个第二线圈中的至少 一个之间的纵向距离是能够调节的。13.根据权利要求1所述的辊轮，其中所述线圈以能够拆装的方式固定到所述主轴。14.一种输送设备，包括框架、间隔且能够旋转地安装在所述框架中的多个输送辊轮， 所述多个输送辊轮中的至少一个输送辊轮包括主轴；以及位于所述主轴上的线圈，其中所述线圈包括柔性中心部，并且其中所述线圈包括在所 述柔性中心部的两个相对侧处固定到所述主轴的第一端部和第二端部。15.根据权利要求14所述的输送设备，其中所述线圈是导电的。16.根据权利要求15所述的输送设备，其中所述线圈电联接到电流源和电流宿中的一个。17.根据权利要求14所述的输送设备，其中所述线圈是不导电的。18.根据权利要求14所述的输送设备，其中所述柔性中心部包括三个或更多个不连续 接触区，并且还包括能够纵向调节的固定装置以调节所述柔性中心部的不连续接触区的数量。19.根据权利要求14所述的输送设备，还包括各位于所述主轴上的一个或多个第二线圈，其中所述一个或多个第二线圈中的至少一个包括第二柔性中心部。20.根据权利要求14所述的输送设备，还包括各位于第二主轴上的一个或多个第二线 圈，其中所述一个或多个第二线圈中的至少一个包括第二柔性中心部。21.一种方法，包括提供输送设备，所述输送设备包括框架以及多个间隔且能够旋转地安装在所述框架中 的输送辊轮，所述输送辊轮中的至少一个包括主轴；以及位于所述主轴上的线圈，其中所述线圈包括柔性中心部，并且其中所述线圈包括在所 述柔性中心部的两个相对侧处固定到所述主轴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：季静佳，陈丽萍，钱洪强，施正荣，
申请(专利权)人：无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：32