本发明专利技术的压电振动器，其中包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，其具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极，通过该装配电极在空腔内装配在基底基板上；绝缘膜，以覆盖激振电极的方式成膜在压电振动片上；以及吸气材料，以配置在空腔内的方式形成在基底基板或盖基板的任一个基板，该吸气材料由通过加热提高空腔内的真空度的金属材料构成。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在接合的两个基板之间所形成的空腔内收容了压电振动片的表面安装型(SMD)的压电振动器、具有该压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟、以及制造该压电振动器的压电振动器的制造方法。
技术介绍
近年来，在便携电话或便携信息终端设备上，采用利用了水晶等作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的压电振动器。提供有各式各样的这种压电振动器，但作为其中之一，众所周知表面安装型的压电振动器。作为这种压电振动器，已知基底基板和盖基板直接接合并且在两基板之间所形成的空腔内收容有压电振动片的2层构造型的压电振动器。此外，压电振动片具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极，通过装配电极装配到基底基板上。可是，压电振动器一般要求抑制等效电阻值(有效电阻值，Re)为低值。等效电阻值低的压电振动器可以用低电力来使压电振动片振动，因此成为能量效率良好的压电振动ο作为抑制等效电阻值的一般的方法之一，众所周知使空腔内接近真空的方法。而且，作为使空腔内接近真空的方法，已知在空腔内收容金属膜的吸气材料(吸气部件)，并从外部照射激光等而加热吸气材料并加以激活的方法(吸气法)(例如，参照专利文献1)。依据该方法，成为激活状态的吸气材料，通过化学反应吸收主要由氧构成的空腔内的气体，因此能够使空腔内接近真空。此外，该吸气材料配置在压电振动片的表面或形成空腔的基板的内壁。专利文献1 日本特开2003-142976号公报
技术实现思路
但是，在上述现有的压电振动器中，在吸气之际，因配置吸气材料的位置而出现以下的问题。S卩，首先在吸气材料配置在压电振动片的表面的情况下，用激光来加热吸气材料时，也一并加热压电振动片，因此压电振动片会受到加热造成的负荷。此外，当吸气材料配置在基板的内壁的情况下，用激光加热吸气材料时蒸发并且飞散的吸气材料的一部分，附着到压电振动片的外表面的可能性很高。即，在压电振动片的外表面吸气材料有可能恰好会蒸镀。特别是越接近照射激光的位置就越容易附着蒸发的吸气材料。而且，如果附着吸气材料，就有可能形成在压电振动片的外表面的一对激振电极间导通而会短路。本专利技术考虑这些状况构思而成，其目的在于提供一种压电振动器，不会对压电振动片提供加热造成的负荷，而且抑制一对激振电极间会短路并能进行吸气。此外，提供制造该压电振动器的压电振动器的制造方法、具有该压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。本专利技术为了解决上述课题并达成相关目的而提供以下方案。(1)本专利技术的压电振动器的制造方法，制造在互相接合的基底基板与盖基板之间所形成的空腔内收容了具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极的压电振动片的压电振动器，其中包括绝缘膜成膜工序，在制作所述压电振动片之后，以覆盖所述激振电极的方式成膜绝缘膜；吸气材料形成工序，将由通过加热提高所述空腔内的真空度的金属材料构成的吸气材料，以配置在所述空腔内的方式形成在所述基底基板或所述盖基板中任一个基板；以及接合工序，通过所述装配电极将所述压电振动片装配在所述基底基板上之后，以使所述压电振动片及所述吸气材料收容于所述空腔内的方式互相接合所述基底基板和所述盖基板。依据上述压电振动器的制造方法，首先，在制作压电振动片之后，进行以覆盖激振电极的方式成膜绝缘膜的绝缘膜成膜工序。由此，能够用绝缘膜来保护激振电极，并能防止激振电极的露出而抑制从外部的直接接触。此外，在与绝缘膜成膜工序同时或前后的定时，进行在基底基板或盖基板的任一个基板形成吸气材料的吸气材料形成工序。这时，以在后面形成的空腔内配置的方式形成吸气材料。再者，在结束上述两个工序之后，进行接合工序。作为该工序，首先将压电振动片装配在基底基板上。这时，压电振动片被机械接合到基底基板上而被支撑，并且激振电极装配成通过装配电极而成为能与空腔的外部电连接的状态。而且，在装配压电振动片之后，以使压电振动片及吸气材料收容于空腔内的方式互相接合基底基板和盖基板。由此，能够得到在盖基板及基底基板之间所形成的空腔内收容有压电振动片的压电振动器。特别是，吸气材料不形成在压电振动片，而形成在基底基板或盖基板的任一个基板上。因而，在吸气之际，即便用激光等来加热吸气材料，也不会对压电振动片给予任何加热的影响。因而，不会对压电振动片给予加热造成的负荷。因此，不会对压电振动器的质量或特性产生任何影响，所以能谋求压电振动器的高质量化。而且，激振电极被绝缘膜所保护，因此在吸气之际，即便吸气材料因蒸发而向激振电极方向飞散，也能使之附着到绝缘膜。即，能够抑制如以往那样吸气材料会附着到激振电极的情况。因此，能够抑制一对激振电极间短路的同时进行吸气。(2)此外，在进行所述吸气材料形成工序之际，形成两个所述吸气材料，以在装配了所述压电振动片时夹着该压电振动片而在两侧对置配置，并且将各个所述吸气材料形成为在对所述绝缘膜而言相邻的位置以与所述振动腕部平行地延伸也可。这时，吸气材料形成在与绝缘膜相邻的位置。因此，在吸气之际，能够使因蒸发而飞散的吸气材料积极地附着到绝缘膜，并且能够抑制吸气材料附着到没有被绝缘膜覆盖的压电振动片的其它区域(例如装配电极)。即，能够将附着吸气材料的部位汇集到保护激振电极的绝缘膜。假设吸气材料会附着到绝缘膜以外的部分时，压电振动片有可能多少受到影响。但是，由于能够将吸气材料的附着汇集到绝缘膜，所以不用担心这些。因而，能够谋求更进一步的高质量化。(3)此外，在进行所述绝缘膜成膜工序之际，将所述绝缘膜分别成膜在与所述盖基板及所述基底基板分别对置的所述压电振动片的上表面侧及下表面侧也可。在此，在用本专利技术的压电振动器的制造方法来制造的压电振动器中，吸气材料形成在基底基板或盖基板的任一个基板，因此在吸气之际，因蒸发而飞散的吸气材料更加积极地附着到与这些基板对置的压电振动片的上表面侧及下表面侧。这时，由于这些压电振动片的上表面侧及下表面侧被绝缘膜覆盖，所以在吸气之际，能够使因蒸发而飞散的吸气材料切实地附着到绝缘膜。由此，能够进一步抑制吸气材料附着到激振电极，并且能够更加可靠地抑制一对激振电极间短路的同时能进行吸气。此外，由于绝缘膜成膜在压电振动片的上下两面侧，所以能够将因绝缘膜而产生的膜应力在上下表面间的差抑制为较小。因此，特别是在该绝缘膜成膜在振动腕部的情况下，能够使压电振动片振动时的频率稳定。(4)此外，在进行所述绝缘膜成膜工序之际，将所述绝缘膜遍及所述压电振动片的侧面侧地成膜也可。这时，绝缘膜成膜在压电振动片的上下两面侧，并且遍及侧面侧地成膜。S卩，遍及压电振动片的全周地成膜。由此，能够进一步抑制所蒸发的吸气材料附着到激振电极。(5)此外，在制作所述压电振动片之际，将所述装配电极及所述激振电极与铬的基底层和金的精装层形成为一体，并在进行所述绝缘膜成膜工序之际，除去所述激振电极上的所述精装层之后，利用二氧化硅来在所述基底层上成膜所述绝缘膜也可。这时，由于将装配电极及激振电极形成为一体，所以能够使两电极间切实导电。此外，在装配电极中，使用硬度较高的铬作为基底层，因此能够使装配电极牢固。 而且，使用金作为精装层，因此能够稳定地确保装配电极的导电性及在装配之际的装配性。 由此，能够谋求压本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种压电振动器的制造方法，制造在互相接合的基底基板与盖基板之间所形成的空腔内收容了具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极的压电振动片的压电振动器，其特征在于，包括：绝缘膜成膜工序，在制作所述压电振动片之后，以覆盖所述激振电极的方式成膜绝缘膜；吸气材料形成工序，将由通过加热提高所述空腔内的真空度的金属材料构成的吸气材料，以配置在所述空腔内的方式形成在所述基底基板或所述盖基板中任一个基板；以及接合工序，通过所述装配电极将所述压电振动片装配在所述基底基板上之后，以使所述压电振动片及所述吸气材料收容于所述空腔内的方式互相接合所述基底基板和所述盖基板。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电振动器的制造方法，制造在互相接合的基底基板与盖基板之间所形成的空腔内收容了具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极的压电振动片的压电振动器，其特征在于，包括绝缘膜成膜工序，在制作所述压电振动片之后，以覆盖所述激振电极的方式成膜绝缘膜；吸气材料形成工序，将由通过加热提高所述空腔内的真空度的金属材料构成的吸气材料，以配置在所述空腔内的方式形成在所述基底基板或所述盖基板中任一个基板；以及接合工序，通过所述装配电极将所述压电振动片装配在所述基底基板上之后，以使所述压电振动片及所述吸气材料收容于所述空腔内的方式互相接合所述基底基板和所述盖基板。2.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其中，在进行所述吸气材料形成工序之际，形成两个所述吸气材料，以在装配了所述压电振动片时夹着该压电振动片而在两侧对置配置，并且将各个所述吸气材料形成为在对所述绝缘膜而言相邻的位置以与所述振动腕部平行地延伸。3.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其中，在进行所述绝缘膜成膜工序之际，将所述绝缘膜分别成膜在与所述盖基板及所述基底基板分别对置的所述压电振动片的上表面侧及下表面侧。4.如权利要求3所述的压电振动器的制造方法，其中，在进行所述绝缘膜成膜工序之际，将所述绝缘膜遍及所述压电振动片的侧面侧地成膜。5.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其中，在制作所述压电振动片之际，将所述装配电极及所述激振电极与铬的基底层和金的精装层形成为一体，在进行所...
【专利技术属性】
技术研发人员：福田纯也，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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